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1、天马洁净室系统试题姓名：得分：一、选择题（每题2 分）1、下面哪项不是洁净室需要控制的参数（C ）A、微粒子B、气流C、采光D、压力2、F1 洁净室需要控制的温、湿度是（B ）A、22 1 55%10%B、231 50%5% C、232 55%5%D、222 60% 10%3、F1 洁净室最高洁净等级（ A ）A、10 B、100 C、1000 D、1 4、通过下列调节不能改变洁净室压力的是（D）A、MAU B、排气C、FFU D、CDA 5、F1 MAU 单台风量是（ B ）A、90000CMH B、100000CMH C、120000CMH D、130000CMH 6、关于洁净室下列说法错
2、误的是（CD）A、洁净度要求等级越高，分布的FFU 越多B、温度和湿度控制不当都会影响生产C、MAU 主要是控制洁净室的温度D、干盘管在任何情况下是不会产生冷凝水的7、模组洁净室 2 楼内的热负荷主要是靠（C ）承担A、MAU B、RCU C、DCC D、FFU 8、F2 洁净室最高洁净等级（ C ）A、10 B、100 C、1000 D、1 万9、F2 无尘室的正压应比F1（C ）A、相等B、大C、小D、可大可小10、1000 级洁净室控制微粒的粒径是（C ）A、0.1m以上B、0.3m以上C、0.5m以上D、5m以上二、问答题（每题20 分）1请描述 MAU 空调箱的各个组成部分及功能。预
3、冷（降低焓值） -预热（提高焓值） -初中效（过滤大颗粒） -加湿段-风机段-均流孔板段-高效过滤器。2、简述洁净室的气密性不好会有哪些危害？（两条即可）外气带来尘埃，温湿度失控3简述面板厂无尘室温湿度及洁净度控制设备有哪些？MAU: 控制湿度， DCC 控制温度， FFU 控制洁净度。三、故障分析题（每题10分）1、CVD 工程师致电FMCS，指出在洁净度测试的时候洁净度超标，请给出应急措施及解决方案。马上联系无尘室责任工程师，并且安排复测， 同时通知 CVD 对该区域进行清洁， 如果复测仍然不合格，则对区域的FFU 进行测试更换。2、XRD 工程师致电 FMCS， 指出 XRD 区域湿度低于 50%， 请给出应急措施及解决方案。立即查看 MAU 空调箱运行状态，然后观察出风露点，如果偏低则确认热水系统是否正常，如果热水系统正常，则需要对温湿度探头进行校正。
