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1、MaterialMaterial :材 料接頭型式: 1.VCR 2.SWG 3.WELD 4.FLANGE接頭型式: 1.VCRVCR-MVCR-F接頭型式: 2.SWG接頭型式: 3.WELD接頭型式: 4.FLANGE一.Tube &Pipe (管子)1. TUBE & PIPE選取:習慣上3/4”以下的管稱為TUBE, 1”以上稱為PIPE(請參 閱附表).其選取分為管徑/材料及表面處理程度.材料主要區分為SUS 304/SUS 304L及SUS 316/SUS 316L, 其差異在於SUS 316增加鉬(Mo)金屬,改善其機械性質, L則 表示材料降低含碳(C)量,增加含鎳(Ni)量
2、.表面處理等級常用可分兩種, BA (Bright Anneal)是經過表 面研磨處理其Rmax4.5m, EP (Electro Polish)除了表面研 磨外,再加以電解研磨其Rmax0.7m.另外管材(含 FITTING)又因原始製程不同而區分為VOD/VIM-VAR,其 中V+V為真空二重溶解超清淨鋼(美國航太工業發展之技 術),其組織較為優良.二.Valve (閥件)VALVE 一般分為 BALL-VALVE(球閥) BELLOWS-VALVE(風箱閥) DIAPHRAGM-VALVE(膜片閥) 另外又因作動方式區分為 MANUAL-VALVE & AIR-VALVE.REGULAT
3、OR之用途為調整出口端之壓力值, 一般分高壓與低壓選取,但尚有高流量型式可供選取, 另外可依錶頭 (Gauge)需求加以搭配成單錶或雙錶. 目前大部份之調壓閥其材質均為EP以上.三.Regulator (調壓閥)四.Check Valve (逆止閥)CHECK VALVE為逆止閥,其功用為防止氣體回流, 選取主要依據其尺寸及兩端接頭型式決定 (若是洩壓閥則須考慮其洩壓之Range).五.Filter (過濾器)FILTER之功能是過濾氣體中之Particle (與Purifier之純化氣體功能不同), 選取要注意其操作壓力/接頭型式/材質/過濾等級及流 量大小,壓力一般區分高壓及低壓, 接頭分
4、VCR/SWG/WELD,材質主要有SUS/NI及PTFE, 過濾等級可選擇0.01um/ 0.03um/ 0.003um等, 流量則有一般流量及大流量之區別.六.Gauge (壓力計)Gauge之功能是利用指針,偵測管路中的壓力七.Fitting (配件)FITTING主要可區分為 TEE/ELBOW/GLAND/NUT/CAP/REDUCER Female NutGland-(S)GasketGland-(L)Male Nut七.Fitting (配件)FITTING主要可區分為 TEE/ELBOW/GLAND/NUT/CAP/REDUCER Female NutElbowCapPlugTeeReducerReducer Tee七.Fitting (配件)FITTING主要可區分為 TEE/ELBOW/GLAND/NUT/CAP/REDUCER Union TeeUnionReducing Union TeeUnion ElbowReducing Union八.Other (其他)Flow MeterCylinder ConnectorVacuum GeneratorEFSPressure TransducerPressure Transducer
