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设计题目：1、精密工作台的光栅定位测量系统设计（一维运动范围：100mm，分辨率：0.1m）2、电磁驱动器的精密测量与控制系统的设计（一维运动范围：10mm，分辨率：1m）3、柔性铰链微动工作台的精密测量系统设计 （一维运动范围：100 m，分辨率：0.1nm）4、激光干涉测量系统的设计 （测量范围：100 m，分辨率：0.1nm）以上题目4 选 1 ！精密仪器设计课程设计课程设计报告要求：1、国内外现状概述。 （3页） 2、总体方案设计：方案构思、确定、说明。 （2-3页） 3、测量方法设计：画出测量方案框图、详细描述测量原理、硬件 电路实现、软件实现。（9-12页）或（5-7页） 4、控制方法设计：详细描述控制方案、控制原理、硬件电路实现 、软件实现 。（5-7页） 5、测控电路总体设计：画出电路方案框图、原理图，软件程序框 图。（2-3页） 6、总结：对课程设计的总结与展望。（2页） 7、参考文献。 （1-2页） 设计报告要求独立完成，篇幅为A4纸20页，突出自己的设计。精密仪器设计课程设计进程安排：测量方法设计、控制方法设计。 第一周：文献检索、文献阅读，方案构思、确定， 第二周：测控系统的软硬件设计，绘制原理图，撰写课程设计报告。精密仪器设计课程设计示 例：精密仪器设计课程设计
