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1、多晶硅原材料分析第一章 硅粉分析 第二章 液氯分析 第三章 其它原料分析第一章 硅粉分析第一章 硅粉分析一、概述硅粉是多晶硅厂的主要原料之一， 其质量的好与坏直接影响三氯氢硅的合 成及纯度。硅粉分析的目的是检测所购进硅粉 的各项指标是否满足工艺生产的要求。 这些指标有：硅粉粒度，铁、铝、钙、 钛、磷、硼元素的含量。分析方法有传统的化学分析方法， 也有越来越普及的仪器分析法。v仪器分析：-射线荧光光谱法，优点是能同时 检测多个元素、速度快，不破坏样品， 操作简便；ICP-AES法，能同时检测多个元素 ，分析速度快，取样量少，操作简便；法，灵敏度高，取样量少， 低浓度下分析准确度高，操作较简便；各
2、种仪器均有其他仪器无法比拟的 优点，各种仪器在检测时有一定的互补 性。v化学分析与仪器分析比较化学分析一般是半微量(0.01-0.1g)、常量 (0.1g)组分的分析。特点：准确度高；成本低廉。操作复杂， 过程时间长，受人员因素影响大。仪器分析的分析对象一般是半微量(0.01- 0.1g)、微量(0.1-10mg)、超微量(30300.250.25MgOMgO10100.250.2510100.200.20酸不溶物酸不溶物0.150.15游离水游离水0.250.25二、氢氧化钠（酸碱滴定法） 原理1 氢氧化钠含量的测定原理:试样溶液中先加 入氯化钡，则碳酸钠转化为碳酸钡沉淀,然后 以酚酞为指示剂，用盐酸标准溶液滴定至终点 。反应如下。 Na2CO3+BaCl2=BaCO3+2NaCl NaOH+HCl=NaCl+H2O2 碳酸钠含量的测定原理:试样溶液以甲基橙 为指示剂，用盐酸标准溶液滴定至终点，测得 氢氧化钠和碳酸钠的总和，再减去氢氧化钠的 含量，则可测得碳酸钠的含量。 三、氢氧化钾（酸碱滴定） 四、氯化钙 五、盐酸
