《光电制程、半导体制程设备供应链 与 技术研发地图》由会员分享，可在线阅读，更多相关《光电制程、半导体制程设备供应链 与 技术研发地图（44页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、光電製程、半導體製程 設備供應鏈 與 技術研發地圖1一、光電製程 : 1.TFT-Array段(1)基板受入前洗淨線 PEP1 Dense Cleaner廣運洗淨設備、 成膜前洗線 Pre-Depo Cleaner帆宣 亞智 勤友濺鍍機零件防著板 Sputter parts漢泰 世禾 技鼎Photo展研AI蝕刻機、鋁蝕刻線 Al Etcher帆宣 亞智Total Pitch旭東CD Overlay量測機 CD Overlay / CDOL Measurement晶彩去光阻機、剝離線 Stripper帆宣 勤友乾式蝕刻機 Dry Etcher帆宣 帆宣(擬開發) 資騰列陣測試 Array Tes
2、teParticle Counter旭東 勤友 技鼎回火機 Anneal Oven帆宣 志聖 能麒 資騰紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口21.TFT-Array段(2)CVD雷射修補機 Laser Repair均豪、沛鑫 晶彩、大銀 旭東、揚朋雷射CVD修補機 Laser CVD沛鑫傳輸機/取片/ 排片/排序機 Changer / Exchanger七憶、帆宣 均豪、盟立 旭東反射率量測機 Reflectometer晶彩EllipsometerSurface Profiler面板阻抗量測機 Sheet Resist / Sheet Resistance晶彩TEG檢測機 Vision In
3、spection旭東 大銀 揚朋 政美巨量檢測機 / 巨觀檢查機 Macro / Micro均豪、高僑 大銀、宏瀨 廣運、資騰光學檢測機 / 視覺檢測 / 自動檢查機 AOI晶彩、由田 大銀、資騰紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口31.TFT-Array段(3)-周邊設備或其他BC/EAP羽冠堆疊式解包設備 Dense Unpack陽程巨觀自動光學 檢測系統 Digital Macro AOI System由田MES羽冠(擬開發)顯影設備 Developer亞智(擬開發)常壓電漿清潔設備 AP Plasma Cleaner馗鼎輸送帶 Conveyor帆宣良率管理系統 SUNS System
4、晶彩拍照機 Review晶彩自動傳送系統 Automatic TransferSystem盟立真空chamber銲接 Welding漢泰(擬開發)濺鍍機零件, 乾蝕刻 機零件,化學層積 零件表面處理 Parts cleaning surface treatment漢泰紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口離子雲植入機 Ion Shower Doping System帆宣41.TFT-Array段(4)-零組件供應滾珠螺桿 Ball Screw上銀 大銀防著板，銅背板 Mask, Backing Plate (Copper)千附鋁背板 Backing Plate (for CVD)千附加熱器 S
5、usceptor千附電極板及網板 Electrode & Grid千附線性馬達 Linear Motor大銀線性滑軌 Linear Guideway大銀擴散板 Diffuser千附EUV 172光源 EUV Excimer Lamp資騰Brushless Motor & Servo Motor &G. Motor宙揚紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口52.TFT-Cell-FEOL段(1)PI前洗淨設備 Pre-PI Cleaner亞智 億尚 勤友PI轉寫機PI預烤爐 / PI烤爐 Pi Pre-Cure / Pi Post Bake志聖 能麒PI轉寫後檢查機 PI Inspection
6、System宏瀨PI烤爐 PI MAIN CURE OVEN能麒液晶脫泡機 L.C.緯瑩 億尚框膠脫泡機Rubbing MachineRubbing後人工檢查機 Rubbing Inspection陽程 迅得(擬開發)Rubbing後洗淨設備亞智 億尚 勤友C/F Anneal Oven志聖 能麒框膠塗佈機 Seal Dispenser帆宣 帆宣(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口62.TFT-Cell-FEOL段(2)液晶注入機 / 液晶滴入機 Liquid Crystal Dispenser帆宣、帆宣(擬開發) 晶彩(擬開發)Spacer ScatterBall spacer
7、光學檢測機 Spacer Counter Inspector /Cell Spacer AOI晶彩Spacer Prebake Oven能麒Common Paste Dispenser框膠硬烤爐 Seal Main Cure oven志聖 能麒 霖豐大基板貼合後 人工檢查機 LC Inspection陽程真空貼合機 Vacuum Panel Aligner帆宣(擬開發)UV Cure志聖基板貼合精度檢查機旭東 帆宣(擬開發)Photo Spacer 高度檢查機 Photo Spacer Level Mete沛鑫、旭東、勤友 帆宣、陽程(擬開發)框膠塗佈機 Seal Dispenser帆宣 帆宣
8、(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口72.TFT-Cell-FEOL段(3)薄膜光阻塗佈曝光顯影機 Developer亞智 廣運 帆宣紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口82.TFT-Cell-FEOL段(4)-周邊設備或其他IRCP志聖HPCP志聖異物計算機 Cell Particle Counter晶彩Seal光學檢測機 Cell Seal AOI晶彩PI光學檢測機 Cell PI AOI晶彩切裂光學檢測機 Cell Burr Check AOI晶彩自動傳送系統 Automatic Transfer System盟立 三橋常壓電漿清潔設備 AP Plasma Cleaner馗
9、鼎紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口光罩檢測系統 Photomask inspection帆宣BC/EAP羽冠MES羽冠(擬開發)ARC Oven志聖92.TFT-Cell-FEOL段(5)-周邊設備或其他Spacer乾式洗淨設備元捷整廠無塵室 風扇過濾裝置 FFU UNIT元捷P.P. Box 乾式洗淨設備元捷(擬開發)自動複檢儀器 Auto Review Machine由田框膠自動光學 檢測系統 Seal AOI System G5, G6, G7.5由田配向膜自動光學 檢測系統 PI AOI System G5, G6, G7.5由田雷射修補機 Open / Short Laser
10、Repair揚朋紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口玻璃再生機(PI去除) PI rework帆宣PI灰化機 Dry Asher資騰Cell段轉寫機 搭配之恆溫機元捷Cell段磨刷機 搭配之加溼器元捷PP- Box包裝機 PP- Box Packer三橋102.TFT-Cell-FEOL段(6)-零組件供應線性馬達 Linear Motor大銀線性滑軌 Linear Guideway大銀紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口線性滑軌 Linear Guideway上銀 大銀非接觸ITO模組值 測量器 Non-contact Resistivitymeasurement資騰偏向膜零件表面處理
11、Surface treatment漢泰Brushless Motor & Servo Motor &G. Motor宙揚113.TFT-Cell-BEOL段(1)玻璃切割機 Glass Cutting均豪、緯瑩 漢泰、億尚 資騰玻璃裂片檢測機 (切割後檢查機) Burr Checker (AOI)均豪 沛鑫 旭東磨邊倒角機 Grinding均豪玻璃表面清潔機 Tape Cleaner均豪 陽程濕製程洗淨機 Wet Cleaner亞智 億尚 廣運 霖豐點燈檢查機 CT Prober沛鑫 旭東 晉速偏光板貼附機 P/A (Polarizer attacher)七憶 陽程 帆宣、帆宣(擬開發)包裝機
12、 Dense Packer均豪、迅得 旭東、陽程 基丞、帆宣紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口123.TFT-Cell-BEOL段(2)-周邊設備或其他、零組件PP-Box包裝/ 解包裝機 PP-Box Packer / Unpacker迅得Brushless Motor & Servo Motor &G. Motor宙揚面板薄形化研磨設備陽程(擬開發)面板自動檢測 光學系統 Automated Panel Inspection System由田線性馬達 Linear Motor大銀滾珠螺桿 Ball Screw大銀線性滑軌 Linear Guideway大銀紅字代表該設備、零組件自國外代
13、理或進口134.TFT-Module/LCM段-小尺寸(1)裝/拆自動化系統， 收/放板機 Loader/Unloader帆宣、盟立、高僑 緯瑩、旭東、晉速 億尚、廣運、勤友磨邊倒角機/磨邊機 Grinding均豪 緯瑩Cullet Remover旭東清潔機/測洗設備 Cleaner均豪、亞智 旭東、駐龍 廣運Ionizer Blow偏光板貼附機 P/A, Polarizer Attach M/C七憶 易發對位貼合機 / 對位壓著機 COG Bonder均豪、緯瑩 易發、旭東Brush亞智 旭東乾蝕刻清潔機 Plasma Cleaner均豪 志聖 馗鼎 旭東自動檢測 / 視覺檢測 AOI均豪
14、旭東 晉速分片機/點膠機 Dispenser盟立 緯瑩 易發 旭東AMT紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口144.TFT-Module/LCM段-小尺寸(2)老化測試設備/ 面板熟化設備系統 Aging Oven志聖、盟立 高僑、晉速 帆宣、廣運紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口MES/BC/EAP羽冠Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor宙揚雷射修補機 Module Laser Repair揚朋面板測試 Panel test旺矽線性馬達 Linear Motor大銀滾珠螺桿 Ball Screw大銀線性滑軌 Linear Guideway大銀
15、周邊設備或其他零組件供應155.TFT-Module/LCM段-中尺寸(1)磨邊倒角機 Grinding均豪 沛鑫Cullet Remover清潔機 Cleaner均豪、馗鼎 旭東、駐龍 廣運偏光板貼附機 P/A, PolarizerAttach M/C七憶 易發裝/拆自動化系統 Loader/Unloader盟立、高僑 旭東、晉速 億尚、廣運分片機 Dispenser盟立 易發 旭東PCB對位壓著機 PCB Bonder易發 億尚EPCCOG對位壓合機 / 貼合機 COG Bonder均豪、沛鑫 盟立、易發 億尚FPC對位壓合機 / 貼合機 FPC Bonder七憶、沛鑫 盟立、易發 億尚P
16、CB Test高僑 旭東 晉速老化測試設備/ 面板熟化 Aging Oven志聖、盟立 高僑、晉速、廣運 帆宣(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口165.TFT-Module/LCM段-中尺寸(2)AFTACF貼附 ACF Attachment七億Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor宙揚MES/BC/EAP羽冠自動傳送系統 Automatic Transfer System盟立 三橋雷射修補機 Module Laser Repair揚朋紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口周邊設備或其他線性馬達 Linear Motor大銀滾珠螺桿 Ball Screw大銀線性滑軌 Linear Guideway大銀零組件供應176.TFT-Module/LCM段-大尺寸(1)磨邊倒角機 Grinding均豪Cullet Remover清潔機 Cleaner均豪 亞智 駐龍 廣運偏光板貼附機 P/A, PolarizerAttach M/C易發 七憶(擬開發)裝/拆自動化系統 Loader/Unloa
