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如何控制洁净棚的风速风机从 FFU 顶部将空气吸入，经初效过滤器，高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以 0.45m/s20%的风速匀速送出到洁净棚内。形成均流层，使洁净空气气流呈垂直单向流，从而保证了洁净棚内所要求的洁净度。洁净棚内的气流是左右洁净室洁净度的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.250.5m/s 之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而 0.5m/s 之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在 0.250.5m/s之间。以上文字来自于专注无尘室改造工程的南京鸿发有色金属制造股份有限公司（），转载请注明出处。
