激光多普勒干涉仪介绍

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3、601860年年MICHELSONMICHELSON干涉仪干涉仪白光白光参考镜参考镜反射镜反射镜分光镜分光镜探测器探测器产生干涉产生干涉测量光束测量光束参考光束参考光束5Laser measurements are Optodyne business单频激光单频激光干涉仪干涉仪19601960年年单频激光单频激光干涉仪干涉仪激光激光角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜分光镜分光镜探测器探测器测量光束测量光束参考光束参考光束产生干涉产生干涉6Laser measurements are Optodyne business线偏振光线偏振光线偏振光线偏振光双双频激光频激光干涉仪干涉仪197019

4、70年年双双频激光频激光干涉仪干涉仪激光激光角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜偏振分光镜偏振分光镜探测器探测器测量光束测量光束参考光束参考光束产生干涉产生干涉7Laser measurements are Optodyne business激光多普勒激光多普勒干涉仪干涉仪19851985年年LDDMLDDM电电光光调调制制、外外差式差式激光激光角锥反射镜角锥反射镜探探 测测 器器光电调制光电调制8Laser measurements are Optodyne business位移测量安装比较位移测量安装比较9Laser measurements are Optodyne business

5、对光方便对光方便10Laser measurements are Optodyne businessMCV-500MCV-500主要技术指标主要技术指标序号序号 技术指标名称技术指标名称 指指 标标 1 1激光稳定性激光稳定性 0.10.1ppmppm ( (特殊订货可小于特殊订货可小于0.05ppm)0.05ppm)2 2分辨率分辨率 0.010.01微米微米 3 3测量精度测量精度( (不确定度不确定度) ) 1ppm 1ppm ( (特殊订货可小于特殊订货可小于0.5ppm)0.5ppm)4 4测量范围测量范围 1515米米 ( (特殊订货可加长到特殊订货可加长到100100米米) )5

6、 5光靶最大移动速度光靶最大移动速度 3.63.6米米/ /秒秒 6 6电源电压电源电压 9090265VAC 265VAC 7 7电源频率电源频率 50506060赫赫 8 8操作环境温度操作环境温度 5 538389 9高度高度 0 030003000米米 1010相对湿度相对湿度 0 095%95% 11Laser measurements are Optodyne businessMCV-500MCV-500选购附件的测量功能选购附件的测量功能振动振动 测量测量角偏角偏 测量测量滚珠丝杠滚珠丝杠 动态测量动态测量圆形圆形 轨迹轨迹主轴主轴 精度精度分轴步进分轴步进 对角线对角线 位移位

7、移 测量测量12Laser measurements are Optodyne business直线位移测量直线位移测量靶标反射镜靶标反射镜MCV-500MCV-500反射镜移动方向反射镜移动方向13Laser measurements are Optodyne business非接触主轴精度测量非接触主轴精度测量MCV-500MCV-500主轴主轴聚光镜聚光镜MCV-500+DI-500MCV-500+DI-50014Laser measurements are Optodyne business陀罗径向跳动曲线陀罗径向跳动曲线l l采样：采样：20002000点点/ /秒秒15Laser

8、measurements are Optodyne business低频振动测量低频振动测量l l适用于最高为适用于最高为100Hz100Hz的低频振动测量的低频振动测量16Laser measurements are Optodyne business中频振动测量中频振动测量l l适用于最高为适用于最高为100KHz100KHz的中频振动测量的中频振动测量17Laser measurements are Optodyne business高频振动测量高频振动测量l l适用于极高频率的振动测量适用于极高频率的振动测量18Laser measurements are Optodyne businessMCV-5000系列激光干涉仪19Laser measurements are Optodyne businessX X轴上下同步测量实例轴上下同步测量实例20Laser measurements are Optodyne businessY Y轴左右同步测量实例轴左右同步测量实例21