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1、电子行业水处理现行标准 美国半导体工业用纯水指标 项 目级 级 级 级 TOC，mg/L0.020.050.100.40颗粒，粒/L500100025005000电阻率 Mcm 18.3 17.917.517.0细菌数，个 100mL061050 我国电子工业部高纯水水质试行标准说明：一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。本表按1980年电子工业部标准摘录。 水质项目一级高纯水指标 二级高纯水指标 细菌总数，个/mL39微粒（直径0.5m，粒/mL ）150300电阻率（25）Mcm 15 10
2、电导率，s/cm 0.050.1有机物（以COD计） 0.3 0.5高纯水设备 高纯水水处理技术的发展史： 第一阶段：预处理阳床阴床 混合床 第二阶段：预处理反渗透混合床 第三阶段：预处理反渗透EDI装置 反渗透（RO）技术是一种利用膜分离去除水中离子的方法，尽管 反渗透系统将水中95%-98%的离子去除，但还不能满足工业生产 的要求，其后续工艺必须使用离子交换设备。 近几十年以来，混合床离子交换技术一直作为纯水制备的标准工 艺。由于其需要周期性的再生且再生过程中使用大量的化学药品 （酸碱）和纯水，因此已很难满足于无酸碱纯水系统。 正因为传统的离子交换已经越来越无法满足现代工业和环保的需 要，
3、于是将膜和树脂结合EDI技术成为水处理技术的一场革命。 其离子交换树脂的的再生使用的是电，而不再需要酸碱，因而更 满足于当今世界的环保要求。 自从1986年EDI 技术工业化以来，全世界已安装了近2000套EDI 系统，尤其在制药、半导体、电力和表面冲洗等工业中得到了大 力的发展，同时在废水处理、饮料及微生物等领域也得到广泛使 用。 EDI 装置是应用在反渗透系统之后，取代离子交换树脂，具有水 质稳定、运行费用低、操作管理方便、占地面积小等优点。典型工艺流程(水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18M*cm，15M*cm， 2M*cm和0.5M*cm四级） 预处理反渗透 水箱阳床阴
4、床混合床纯化水箱 纯水泵紫外线杀菌器精制混床精密过滤器用水对 象 预处理一级反渗透加药机（PH调节）中间水箱第二 级反渗透（正电荷反渗膜）纯化水箱纯水泵紫外线杀 菌器0.2或0.5m精密过滤器用水对象 预处理反渗透中间水箱水泵EDI装置纯化水箱 纯水泵紫外线杀菌器0.2或0.5m精密过滤器用水对象 预处理反渗透中间水箱水泵EDI装置纯化水箱 纯水泵紫外线杀菌器精制混床0.2或0.5m精密过滤器 用水对象 应用场合 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路； 超纯材料和超纯化学试剂； 实验室和中试车间 汽车、家电表面抛光处理； 其他高科技精微产品。 实验室用高纯水机适用范围 分析试剂及药品配置稀释
5、用水 微生物、生物发酵培养用水 生物工程培养基用水 总有机碳（TOC分析用水 微电子行业各种部件的清洗用水 医用注射用水 生理、病理、毒理学实验用 原子发射、吸收光谱用水 各种高效液相色谱、离子色 PCR应用及分析用水 精密电镀用水 大专院校、工矿企业实验室实验用水 生物学、电化学及介面研究用水 动、植物细胞培养用水 有机物分析用水 高精密光学镜片冲洗用水 各种医疗用生化仪、 分析仪用水 医学制剂用水 试管婴儿用水 环境、环保实验分析用水 谱、气象色谱用水 高分子实验用水 胶片冲洗用水工业用高纯水设备 反渗透+离子交换器组成的高纯水系统典型的工艺流程 原水加压泵多介质过滤器活性炭过滤器 软水器
6、保安过滤器（一级或二级）反渗透 机阳离子交换器阴离子交换器混床离子 交换器不锈钢储水罐纯水加压泵紫外线 杀菌器精密过滤器用水点 反渗透+EDI装置组成的高纯水系统工艺流程 自来水加压泵多介质过滤器活性炭过滤 器软水器保安过滤器二级反渗透机 1m3不锈钢储水罐纯水加压泵EDI装置 不锈钢储水罐纯水输送泵紫外线杀菌器 精密过滤器用水点 YRRO-ET系列电子超纯水设备 功能 脱盐率高，运行压力低的进口超低卷式复合反渗透 膜，产水水质优良，运行成本低廉，使用寿命长。 高效率，低噪音，品质优越的进口高压泵，减少能 耗，降低运行噪声。 进口在线原水及产品水电导仪，PH表可随时监测水 质情况。 进口在线产品水，浓水流量计可随时监测产品水量 及系统回收率。 配置自动循环冲洗系统，以备膜污染后清洗之用。 快冲阀定时冲洗膜表面，降低膜污染速度，延长使 用寿命。 降TOC紫外线装置可有效降低TOC90%。 膜脱气装置可使脱气后水中溶解的氧DO小于5ppb。 谢谢！
