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1、exactShenzhen S.C Exact Equipment Co.,LtdShenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd www.C www.C DS-300A 扩散炉技术手册 服务热线：0755-81449726 1DS-300A 扩散炉扩散炉 使用说明书使用说明书 用户名称：泰州德通电气有限公司用户名称：泰州德通电气有限公司 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：075581449726 传真：075581449925 邮编：518104 Http：www.C E-mail：weich
2、uangC 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（技术资料）exactShenzhen S.C Exact Equipment Co.,LtdShenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd www.C www.C DS-300A 扩散炉技术手册 服务热线：0755-81449726 2致泰州德通电气有限公司：致泰州德通电气有限公司： 感谢贵司选择深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（www.C）的产品，我司成立于 2007 年 6 月，是深圳市捷佳创精密设备有限公司与国内一流的太阳能设备研发专家联合成立的一家高新技术企业。 公司专业从事太阳能
3、电池片关键工艺设备的研发、生产、销售与技术推广，致力于开发出具备最新技术性能与最优价格的管式高温扩散炉、等离子体刻蚀机、管式 PECVD 和烧结炉，以满足市场需求。 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司自成立以来，不断引进、消化、吸收国内外先进技术，锐意创新，不断提高设备工艺技术，现已成功为晶澳太阳能晶澳太阳能、保定天威英利、保定天威英利、常州天合、常州天合光能光能、苏州阿特斯、苏州阿特斯、中芯国际、中芯国际、比亚迪、比亚迪、无锡鑫特尔、无锡鑫特尔、浙江索日、浙江索日、浙江弘晨、浙江弘晨、浙江尖山、浙江尖山、格、格林保尔林保尔、上海索朗、上海索朗、乐山新天源、乐山新天源、上海交大、上海交大、云南天
4、达、云南天达、江阴浚鑫、江阴浚鑫、上海欧贝黎上海欧贝黎等多家太阳能电池生产企业制造了近 3000MW 的太阳能电池加工设备，设备工艺技术遥遥领先、国内市场占有率飞速扩大。 再次感谢贵司选择我公司的太阳能电池生产专用设备，我们将以优质的服务与贵司共同发展！ 服务热线：0755-81449726 传真号码：0755-81449925 电子邮箱：weichuangC 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 2010 年 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（技术资料）exactShenzhen S.C Exact Equipment Co.,LtdShenzhen S.C Exact Equipment Co
5、.,Ltd www.C www.C DS-300A 扩散炉技术手册 服务热线：0755-81449726 3出出厂厂合合格格证证明明 我公司生产的我公司生产的 DS-300A 扩散炉扩散炉设备经检验合格，设备经检验合格， 准准准准予予予予出出出出厂厂厂厂，特特特特发发发发此此此此证证证证。 检检检检验验验验人人人人员员员员签签签签名名名名： 检检检检验验验验日日日日期期期期：2 20 01 10 0 年年年年 月月月月 日日日日 设备制造商：深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司设备制造商：深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 设备交货期：设备交货期：2010 年年 服务热线：服务热线：0755-814
6、49726 传真号码：传真号码：0755-81449925 电子邮箱：电子邮箱：WeichuangC 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（技术资料）exactShenzhen S.C Exact Equipment Co.,LtdShenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd www.C www.C DS-300A 扩散炉技术手册 服务热线：0755-81449726 4DS-300A 扩散炉扩散炉 技术手册目录技术手册目录 1. 设备使用说明书设备使用说明书5 2. 安装说明书安装说明书6 3. 技术图册技术图册 . . 7 技术图册目录一 8 技术图册目录二 9 3
7、.配件清单配件清单 10 配件清单一 11 4.外购件说明书外购件说明书 12 外购件说明书目录 .13 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（技术资料）exactShenzhen S.C Exact Equipment Co.,LtdShenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd www.C www.C DS-300A 扩散炉技术手册 服务热线：0755-81449726 5DS-300A 扩散炉扩散炉 1、设备使用说明书、设备使用说明书 地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：075581449726 传真：075581449925
8、 邮编：518104 Http：www.C 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（技术资料）exactShenzhen S.C Exact Equipment Co.,LtdShenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd www.C www.C DS-300A 扩散炉技术手册 服务热线：0755-81449726 6DS-300A 扩散炉扩散炉 2、安装说明书、安装说明书 地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：075581449726 传真：075581449925 邮编：518104 Http: www.C 深圳市捷佳伟创微电子设备
9、有限公司（技术资料）exactShenzhen S.C Exact Equipment Co.,LtdShenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd www.C www.C DS-300A 扩散炉技术手册 服务热线：0755-81449726 7DS-300A 扩散炉扩散炉 3、技术图册、技术图册 地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：075581449726 传真：075581449925 邮编：518104 Http: www.C 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（技术资料）exactShenzhen S.C Exact Eq
10、uipment Co.,LtdShenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd www.C www.C DS-300A 扩散炉技术手册 服务热线：0755-81449726 8DS-300A 扩散炉扩散炉 技术图册目录一技术图册目录一 1、总电源进出线接线图 PC22.6.2-1JL 2、气源电磁阀与流量计接线图 PC22.6.2-2JL 3、气源柜电气板接线图 PC22.6.2-3JL 4、炉体柜加热电气接线图 PC22.6.2-4JL 5、前面板控制按钮接线图 PC22.6.2-5JL 6、电控转接板接线图 PC22.6.2-6JL 7、PLC I/O 表电控部分转
11、接板线图 PC22.6.2-7JL 8、PLC 与继电器接线图 PC22.6.2-8JL 9、电控转接板接线图 PC22.6.2-9JL 10、炉门电磁阀与检测开关接线图 PC22.6.2-10JL 11、驱动器与行程/光电开关接线图 PC22.6.2-11JL 12、温控表接线图 PC22.6.2-12JL 13、工控机接线图 PC22.6.2-13JL 14、元器件接地线图 PC22.6.2-14JL 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（技术资料）exactShenzhen S.C Exact Equipment Co.,LtdShenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd www.C www.C DS-300A 扩散炉技术手册
