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1、各种硅片不良的解决方案1.断线：如何让预防断线；断线后如何处理（M&B。NTC HCT）把 损失降低到最少。 2.硅片崩边。线式崩边 点式崩边 倒角崩边 3.厚薄不均：一个角偏薄，厚薄不均 4.线痕：密集线痕 亮线线痕 5.花污片：脱胶造成的花污片 清洗造成的花污片一。断线 具体是什么参数比如0.10钢线要求瞬间破断 力多少？1200# 1500# 2000#碳化硅的颗粒 圆形度 粒径大小要求 黏度 张力要求多少 等 我在这里就不提供了 大家去按照这个 方向去找对策做计划（P），做好可量化的 点检表（D），主管亲自抓班长去督导（C ），总结检查的结果进行处理，成功的经 验加以肯定并适当推广、标
2、准化；失败的 教训加以总结，以免重现，未解决的问题 放到下一个PDCA循环（A）。断线善后处理首先做好断线记录 （断线时间 、机台号、部位、切深）留好线头 1. 查明断线原因及断线情况. 2. 急时上报，未经同意，不得私自处理。 3. 处理流程：1.在出线端断线,宽度不超过10毫米的直接拉线切割. 2.切深60mm中部或进线端断线，以30mm/min直接升起，迅速布线，8000流量砂浆冲洗，冲片时在线网上铺上无 尘纸， 冲开粘在一起的片子后，迅速把晶棒降到距线网2mm处，然后 以10mm/min的进给认 真仔细的“认刀”。3.中部或进线端断线，切深在50mm-80mm之间的，以10mm/min
3、的速度升 料到距进刀处30-40毫米,，停止。线速调到2m/s，以2%走线1cm，以调平线网，停止。打开砂浆8000流量均匀冲 片子。把晶棒两侧的线网小心的剪掉（剪时要用手捏着）,留出3-4厘米的线头,另一端不剪.(进线端有线网的一定要保 留该部分线网,以便重新布线.剪两侧线网时一定要用手或其他夹紧物,夹紧预 留的线网头.)布线网,重新切割。4进线 端或中部断线切深超过80mm的视情况能认刀的就认刀否则就反切或直接拉线正向切割。 4.进线端断线，第一次断线，切深在80mm.1换掉放线轮，用一个空的收线轮来代替。以低于原2N（左19和右21） 的张力，切割线方向改为:右，其他参数不变,手动2m/
4、s的线速走1m,不要开砂浆。2把晶棒提升至30-40mm处，重 新对接焊线，焊线时 要焊接均匀，焊接点的点径要和线径相同。经15N的线速走线300400米，改张力为自动 切割的张力，每秒1米，不开沙浆，走到出线端5米时，把张力改为15N，待线头在收线轮上绕23圈，改回原来 的张力。把晶棒压到断线位置误差在0.05mm，打开砂浆。以1m/s速度的20%，走上1m，经班长确认无误后进行切 割。 5.经上环节中必须处理好线网（其中包括，碎片、胶条、沙浆颗粒）在升晶棒前，把胶条去掉，上升速度为每分钟 10mm,上升过程中如夹线，不可用手去摸，只能用手动轻微探摁一下，把线网走平。 6.认线前5m/s的速
5、度走线100m，在不松开张力的情况下，停止走线，然后以10mm/min认刀，要一次性认进。 7.反向切割设置修改：进给降低1个百分点，线速降低1M/S，流量增加300KG/H。 8.线头编 号方法:年+月+日+机台号+第几次断线数.例如:080501-20-01 9.请工序稽查人员按照此标准做巡检二。崩边问题 问题点：粘胶面崩边 异常现象：脱胶后，在方棒两头的硅片粘 胶面呈现边沿发亮， 硅层呈线式脱落崩边, 及距粘胶面0.1mm处 线式崩边。脱胶和清洗 时观察不到崩边，检验时能发现崩边。原因分析 一.开方进给不稳，外圆刀锯转速不稳，刀锯金刚砂层 质量不好，造成刀痕过重，方棒表面刀纹不平，凹凸起
6、 伏，隐型损伤（指的是锯开方）线开方损伤可忽略 二.方棒温度低，胶在凝固时的高温反应热，破坏了粘 胶面的硅层结构 三.硅片预冲洗水温低于XX度，脱胶水温低于XX度，胶 层未完全软化时员工就用手把硅片用力作倒。 四.由于采用的是小槽距大线径，不可避免会在出刀时 造成硅片向阻力小的一方的倾斜，方棒两头的硅片受到 的阻力最 小，造成两个棒 子四个头部近32毫米长度内的硅片出现崩边。 五.粘接剂太硬（不便说出硬度系数），在钢线出硅棒 粘胶面的瞬间，破坏了硅层。预防措施一.脱胶，经过控制脱胶的规范操作，即使前道工序已经对方棒表面产生不良 影响，经过优化粘胶方式和手法，也要把损失降低到最 低点。在目前的设
7、备配置前提下，严格要求脱胶工“4550 度温水，浸泡25 分钟” 联系设备部，做硅片隔条，降低硅片倒伏时的倾度。 二.严格控制方棒超声池的水温在40度，超声到粘胶的时间间隔控制在2小时 内，粘胶房的温度控制在25度，湿度不超过50%。 三.对开方机进行一次进给和转速校正，开方后的方棒经打磨后再滚圆。并请 设备部做出设备三级维护计划书。做定期维护保养 四.“分线网”硅片切割：方棒两头各留出2mm不切割，减少切割过程中硅片 向两侧“分叉” 另外一种办法：做一个可调试挡板系统，挡住 方棒两头，防止硅片“分叉”崩边。 五，采用线开方和磨面机，有条件的最好腐蚀一下。更换粘接力强但硬度适 中的粘接剂善后处
8、理：磨砂玻璃和1700#碳化硅 按一定的水分比例 选择某种手势，力度 ，角度磨掉在边长要求范围内的崩边（标准作业指导书）硅片厚薄不均预防措施一.TV偏大或偏小：根据客户要求片厚，计算出最佳成本/质量 的槽距，钢线，碳化硅，砂浆密度。 二.TTV15um的硅片占比超过0.62%，属于异常。对于一次切 割的单位，应增加导向条（部位不提供），两次切割的单位最好把导轮（主辊）槽距改一下或第二次切割时砂浆流量增大500 公斤/小时（5l/min）或多更换20公斤砂浆。 三.硅片的进刀处的进线端（角）偏薄或偏厚，应修改进刀时的 砂浆流量 四：同一个硅片的厚度呈大-小-大-小分布的，应调整切割工艺 程序。进
9、给，线速，流量应均匀同步变化。 五，跳线引起的某刀硅片厚度异常，同一个片的厚度异常，不同片子的厚度偏差等，因通过加过滤网/过滤袋 /振荡过滤器和切割前仔细过滤，没有跳线来消除。线痕5M1E分析花污片一.切割液掺有次氯酸,特别是回收液.对硅片腐蚀特别严重.(请 品管部门分析切割液的成分) 2.预冲洗的水压,水质,流量,角度,冲洗时间等,总之预冲洗要硅 片表面无明显赃污,才能进入脱胶3.脱胶时尽量全泡,水温50-60,加3%的草酸或柠檬酸或乳酸,自 然倒伏.4.脱胶完毕后,2530纯水中超声10分钟,超声功率在2000w左 右水要循环.5.清洗剂(不同厂家)大部们都是重量比为5%的比例,温度设为
10、60,超声5分钟. 6.关键是员工有没有执行和我们提供的设备工具能否满足需要. 7.如果是个老厂,突然出现花污片了一般要在辅料上找问题(切割 液 清洗剂 回收砂 等.) 8.更换时一定要用标准容器，更换量视故硅片规格和数量而定花污成因 对于，污片的研究，因为我刚刚碰到一个案子 ，也借贵地与大家分享，如果将污片上的花污作提取后作EDS分析，可以得出相对准确地结 论。 我们这次碰到的结果发现花污提取物中含有超过3%Fe，由于在线切过程中大量带进Fe的只会 是刚线本身的磨损，所以可以看出，硅片经过脱胶清洗之后，仍然残留Fe,就是残余砂浆在作 祟。Fe本身在切割液环境中是出于还原气氛， 所以相对稳定，但是在脱胶的时候，接触的是60度左右的水，这是一个氧化的环境，金属氧 化物非常容易与残余的碳氢键形成共价物粘附 于硅表面，难以清洗。
