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1、 无尘车间培训才和ER ww 一、湛净室基础知识 三、洁净室管控手段1清净室定义 工监测采样2.相关术话 2 .制定监测表3 .清净等级标准 二 、 洁净党设计傍介e四 |请淮室人 生生玫1 、清净宝分类【形式)类 1 洁冯最主杰NS 8有 22、清兆室设计基础 发尘源及基 | 气流组纳型式及换气次数 人的污染-发凋苇 合 全 直网过小这和 2、洁净室人员管则是送风共及FFU数基计算滤网寿命温湿度控制正厅已洁净室之定义洁净室(Clean Room),也称为无尘室。洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等影响生章蔚环境因素
2、控制在基站设计需求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论失而空扎系件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所需环境因素性能的特性。因此，清净室是保证诸如医药半导体、太阳能电池板等对环境机求较高之行业进行批量生产所必备之条件要求。 相关术证 一般指是溯于空气中的周态和液态激粒，其粒答尺寸范围约在(人25um之间-洁净度 : 用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区分空间洁净程度的标准。气闸室: 设署在洁净宣风淋宣: 气阅宣的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。清净工作服 :为把工作人员产生的粒
3、子限制在最小程度所使用的发侍县少的洁净服装。高效空气过滤器 HEPA : 在颁定风量下，对粒低大于等于0.3u m 粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤岩。超高效空气过滤器 ，在疾定风量下，对粒径0.1一0.2x m 粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过尖回。 口，典陋室外或邻室污染气流和压差控制而设置的组洁净度等疲标准 国家标准GB50073-2001空气洁净 大于或等于表中柱径的最大浓度限值pehm3谋竺弛 全工共 mm .23 可 人3 .SR 王 1O王 10 22 100 24 103 1600 | 237 上 102
4、 35 各了 lo LpatoLlLLieol LS TI 8S 100000 23700 0200 3S20 832 29在 1000000 237000 102000 3S5200 8320 293区 352000 | 53200 | 29308 3S20000 832000 293009 35200000 8320000 | 2930000. 下 式中 : Cn一大于或等寺要求六径的六子县大多许浓度(pcim3)。C, -1 0xx(C- )2m Cn 是以四侣者入至相近的整数，有效位数不亡过三位数，村一洁净度等级，数字不超出9，滞净度等级整数之间的中间数可以按0.1 为最小允许递诸重.
5、D一要求的数笃( m)。 “0.1一常数，其重纲为hm。 富也美国联邦标准USA Federal Standard) 209E 尘净度执划 校 径(um)0 0.2 0.3 0.5 51 35 7.5 3 |: 310 350 75 30 ”| NA100 NA 750 300 |1o0 MA1000 贿 本 Jipoo 呈10000 NA NA NM |ioooo 70.3100000 NA NA MA_ |1oooo0 700 单位; 尘埃数量PC/f31m3=35.3ft3.对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标准相当。从而可以看出随着半导体行业从um其级癌nm基级
6、发展的过程中，滞净宝等级要求也越来越高。但日前半导体行业中普这采用的均为千级6级 或万级7级) ，只有同部区域的高自动化作业才要求百级5级) 甚至更高。闪闪态直志和直全全全页委从直个人他相思对检03m微侍粒径 人类头发肉眼可视 6Am) (5352感性认知 取一般自然界气体等级 外大气层由 洁净梨之分类(按形式)1.乱流式 空气由空调箱经风管与清净室内之窑气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由清净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状本优点: 构造简单、系统建造成本低，滞净室扩充比较容易缺点，乱流造成的微侍粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外关系统停止运转再激活，欲需达到设定要求之清净度，往往须耗时相当长一段时间。 适用清共等级1,000-100,000级 乱流式典型结构形式
