配管标准程序

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1、配管標準程序目目 錄錄I. I.材料接收之程序材料接收之程序-2II.II.材料檢驗之程序材料檢驗之程序-3III.焊工驗證之程序焊工驗證之程序-4IV.焊接的檢驗標準焊接的檢驗標準-5V.V.焊道的檢驗標準焊道的檢驗標準-6VI.VI.管線測試的程序管線測試的程序-8材料接收之程序材料接收之程序目的：主要確定管子在運送過程中包裝的完整以及訂購量和材質的符合。步驟： 一、材料訂購後在接收前最好能先到原廠抽檢。 1.閥件：取 10%做氮氣測漏測試，及 Particles 的測試。 2.管件：依爐號 Heat No.和管子的 Size 各取一支作熔接測試。 3.管接頭：依不同 Size 各取一件出

2、來做粗糙度、真圓度、Dimesion 測 試。二、材料到廠處理 1.通知品保人員檢查包裝狀況，在品保人員(QA/QC)准許後才可拆箱，拆 箱需非常小 心以免傷到管材。 2.將所有送貨單發票及出廠測試報告交給 QA/QC 人員。 3.Piping 和 Tube 的上架，同尺寸的管子會有不同的爐號，需依爐號區 分開來。 4.316LEP 及 316LBA 的管件和閥件到廠拆箱後需移到無塵室 Class 10000 區存放，移入前需再擦拭乾淨。II.II. 材料檢驗之程序材料檢驗之程序目的：主要是為了再次確定所購買的材料品質符合標準規範，以確保 UHP 配管。步驟： 一、材料在移入無塵室後準備取出

3、10%做檢驗。二、檢驗項目： 1. 外觀檢驗:目測表面有無凹痕、刮傷，內面有無缺陷、凹洞、刮傷、污 點殘餘物。 2. 粗糙度的檢驗:利用粗糙度儀做內部表面粗糙度的檢驗。 3. 管壁厚度及外徑的檢驗:利用游標卡尺做管外徑及壁厚的檢驗。三、 檢驗的標準規格:如附錄。III.III. 焊工驗證之程序焊工驗證之程序目的：此焊工驗證的目的是要確保每位在現場或無塵室焊接的人員，其焊接品 質的認證並且可做日後焊道追蹤的管理。步驟： 一、 將管子分成四 Group：Group-1：1/2“15A Group-2：20A-80A Group-3：1OOA150A Group-4：200A 以上二、 從每個 Gr

4、oup 中選一種尺寸的管子做焊接認證，通過後在其 Group 範圍內 的尺寸皆可施工，不可跨 Group 施工，除非通過各個 Group 的認證。三、 決定認證的尺寸後，焊接者需再限定的時間內完成焊接測試。四、 認證者先將機台焊接數據歸零，焊接者需自行重新調整數據和管內氣體流 量並且要會更換鎢棒和調整鎢棒的間距。五、 焊接者最後需完成三塊試片，一塊 t/b(tube on beat)即管子直接焊接，兩 塊 t/t(tube to tube)即管對管，對接的試焊。六、 完成的試片在試片上必須填寫上爐號、日期、管子的尺寸、等級和焊接者 的 ID No.並且填一份認證表格。七、 認證者檢視完成的試片

5、並填寫認表格的合格與否，合格者才可施工，末合 格者需經 10 天才可再作認證。八、 整理出一份合格者名單，傳到現場工地給 QA/QC 人員，以掌控現場施工人 員的施工品質。IV.IV. 焊道的檢驗標準焊道的檢驗標準目的：此檢驗標準主要是確保焊道的品質良好以避免日後系統的洩漏或腐蝕的 危險。步驟： 一、焊道是否有氧化的現象?二、焊道是否滲透完全?三、焊道是否彎曲偏移嚴重？(l/4“2“管10%，3“管以上15%)四、焊道是否穿孔?五、焊道是否過度凹陷？(l/4“2“管10%，3“管以上15%)六、焊道是否過度凸起？(l/4“2“管10%，3“管以上15%) 七、焊道覆蓋是否適當？(60%80%)

6、八、焊道寬度是否適當？(管厚 x 12 倍)V.V. 焊接的檢驗標準焊接的檢驗標準目的：控制焊接的過程中不受外界的污染並保持管內的潔淨以達到 UHP 配管的 品質規格。步驟： 一、切管和洗管 1.l/4“3/4“的管于在 Class1000 區切管。 2.3/4“以上的管于在 Class10000 區切管。 3.切下來的管子需註明管子的爐號，使用系統、等級和套上塑膠片、塑 膠蓋。 4.切下來的管子需用 DI Water 清洗乾淨，再用熱氮氣吹乾或烤箱烘乾。 5.不管是現場的施工或無塵室的預製，大管徑的切管必須在無塵室或Clean Booth 下執行前完成洗淨的工作。 6.現場量好尺寸要的切管，

7、從無塵室送出前必須蓋上塑膠片和塑膠蓋並 封上兩層塑 膠袋方可運到現場，運送車需有管架，管子不可隨意置放。 7.切管時若刀片不利應立即更換以免損壞管子。 8.現場切小管時需經過純化過的氣體作沖吹。二、焊接的程序1. 焊接者必須是有被認證過者，末被認證過者或被取消資格者不得做焊 接的工作。 2. 試片(COUPON)的製作： 再開始焊接系統時須先做試片，早上開始的第一塊試片稱 CI(Coupon In)， 中午休息後繼續焊接時需再做一塊試片稱 CM(Coupon Middle)，最後， 結束時在交一塊試片稱 CO(Coupon Out)然而再下列情況之一時需再做 試片: a) 改變管材的爐號。 b

8、) 改變管材的尺寸。 c) 焊接機台斷電的時候。 d) 焊把更換或焊接途中焊接機數據的更改。 e) 鎢棒的更換。3.試片需寫上日期、系統、焊接者 ID No.、CI、CM 或 CO、管材等級。4.試片完成後，將焊接數據填寫在焊接紀錄表上，開始焊接系統前可先 由另一組人員做點焊固定的工作，點焊時也需接 Argon 氣體沖吹以防 止氧化的發生。5.系統管件的焊接: a) 點焊好的管件，要焊接時需用 Argon 的氣體充分的沖吹內管。 b) 焊接前先調好管內與焊把的氣體流量。 c) 連接沖吹管內的氣體管線不能使用 Teflon 的軟管來連接，需用 EP 級的鐵管來作沖吹。 d) 焊接完成後，在每一口

9、焊道上必須註明時間、日期、焊接者的 ID No.及焊道的編號。 e) 焊接者在焊完後，須填寫每日焊接紀錄表。 f) 在無塵室預製好的管件，送到現場時須做雙層的包裝始可運出。 g) 在現場連接好的管路系統須保持不斷地沖吹狀態。 h) 在現場若遇中間段焊接失敗，要做切管的動作時，必須兩端都接有 氣體沖吹才可施行切管的動作。 i) 切下來的管子，須做端面的處理時必須用氣體沖吹，要小心避免鐵 屑掉進管內或閥件，以免刮傷管內光亮的表面和閥件密合的損壞。 j) 不管是在現場施工人員或無塵室的預製人員皆必須戴上 PVC 手套施 工，若有破損也須立即更換。 k) 焊接所使用的沖吹管線接頭須使用 VCR 的接頭

10、，調壓閥則使用針閥。l) 自動焊接機主要的兩種機型，ARC-MACHINE 及 CAJON 若遇到 200A 的大管無法使用自動焊時，可用手焊最後再用 X 光照射來檢驗焊接的 品質良否。VI.VI. 管線測試的程序管線測試的程序目的：確保整個管路系統的安全以及純淨無污染，以達製程的需求。步驟： 一、系統保壓的測試： 1. 儀器： a) Gauge 刻度精密到 0.5psig 無紀錄但方便安裝。 b) Recorder 紀錄器有紀錄紙紀錄但安裝不便。 2. 測試方法： a) 在系統內灌入被純化過的氮氣，灌入壓力=設計壓路 X1.1 倍，接測試 儀器持續時間 24 小時。 大於或等於 15A 之管

11、路暫壓 10 Kg/cm2試驗時間: 60 分鐘 大於或等於 15A 之管路保壓 8 Kg/cm2以上試驗時間: 24 小時 小於 15A 之管路保壓 8 Kg/cm2以上試驗時間: 24 小時 b) 若在任何溫度變化修正之後，沒有壓力衰減的現象、則註明該管路氣 體名稱管線壓力值、時間、日期和空氣溫度等資料請業主代表，見證測試的開始與結束。 c) 完成測試後再將測試資料送請業主代表簽名。二、系統氦氣測漏測試： 1. 測試儀器：Leybold(UL200dry) 2. 測試方法： a) lnboard 模式： 將被測系統管路連接測漏儀器，將系統抽真空，抽至漏率 1x10-9atm.cc/sec

12、後，在系統的每一口焊道、接頭等噴氦氣來測試，若維持漏率1x10-9atm.cc/sec 則表示合格，此漏率測試值是針對 P 級氣 體與特殊氣體，至於 GN2、UN2則是 1x10-6atm.cc/sec，CDA 不做氦測 漏。 b) 0utboard 模式： 將被測系統灌入氦氣，再將氦測儀切換成 Sniffer 模式，調整儀器靈 敏度至 1x10-9atm.cc/sec 再用連接氨測漏移的軟管吸每一口焊道、 接頭等，若系統有漏，氦氣被儀器吸入時，儀器會發出警示聲響。三、 系統 Particle 的測試： 1. 測試的儀器：a) CNC(condensation Nucleus counter)

13、 b) PMS 2. 測試方法： a) 使用超純度氮氣(PN2)作為吹沖(Purge)氣體 除 H2、Ar、He Piping 外, 皆使用 PN2 Purge H2、Ar、He Piping, 使用 PAr Gas Purge F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping, 使用 PHe Gas Purge b) 將系統連接測試儀器，儀器連接系統的管路必須用 EP 級的不銹鋼 管，測試前須先經過加減壓的沖吹。 c) P 級氣體與特殊氣體測試規範如下：Particles1 pcs/sft3 0.1 um 連續 30 分鐘 CNC 可測到 0.01 um 的等級，流量為 0.1 sft3/Min

14、d) G 級氣體測試規範如下:Particles10 pcs/sft3 0.1um 連續測 30 分鐘，可用 PMS 來測。四、 系統水分的分析： 1. 測試儀器：a) Ametek b) Meeco 2. 測試方法： a) 使用超純度氮氣(PN2)作為吹沖(Purge)氣體 除 H2、Ar、He Piping 外, 皆使用 PN2 PurgeH2、Ar、He Piping, 使用 PAr Gas Purge F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping, 使用 PHe Gas Purge b) 系統必須先加減壓和連續式的沖吹。 c) 系統管路連接分析儀器，連接管線須用 EP 級的管線和 VCR

15、 的接頭。d) 依照不同等級氣體測試到合格規範。 e) 沖吹次數計算法: C:初始濃度 P1:升至最大壓 P2:降至最小壓 n:Purge 次數P2+1 P1+1C*()n 1ppm五、 系統氧氣的分析： 1. 測試儀器：a) Delta-F 2. 測試方法： a) 使用超純度氮氣(PN2)作為吹沖(Purge)氣體 除 H2、Ar、He Piping 外, 皆使用 PN2 Purge H2、Ar、He Piping, 使用 PAr Gas Purge F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping, 使用 PHe Gas Purge b) 將經沖吹完全的系統，連接到分析儀器上，連接的測試管線須

16、EP 級和 VCR 的接頭。 c) 依照不同等級氣體測試到合格規範。六、 系統真實氣體的分析： 1. 測試儀器：a) RGA5 b) Apims 2. 測試內容：02,CO,C02,H2,CH4,THC,NMHC 3. 測試方法： a) RGA5：因目前 Apimas 無法分析 02 的不純物，故用取樣瓶取樣後， 再用 RGA5 來分析。 b) Apimas：假設系統一次配，配到 VMP/VMB 時，則在每個 VMP 末端 的 Stick 出口接一放有 Restrictorifice 墊片的沖吹管連續沖吹，而 PH2 的沖吹排氣要先準備好，將真實氣體 PH2、PN2、PHe、PAr 接入 Apimas 開始作連續的分析，一直到分析合格為止。