中山净化工程公司

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1、洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础，没有洁净室，污染 敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2 里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优 化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而 达到适当的微粒洁净度级别。净化工程是在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将 室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具 有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。洁净室最主要之作用在

2、于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度， 使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯 例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。 也就是说所谓无尘并非 100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然 这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于 光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品 的生产上，无尘是必然的要求。 每立方米将小于 0.3 微米粒径的微尘数量控制在 3500 个以下，就达到了国际无尘 标准的 A 级。目前应用在芯片

3、级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A 级，这样 的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。 5uM 及以下的微尘数量被严格控制在 每立方米 1000 个以内，这也就是业内俗称的 1K 级别。 洁洁净净室室状状态态分分为为以以下下三三种种：空空态态：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和 功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。 静静态态：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室（设 施） ，但是设施内没有操作人员。 动态：动态：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，可从事正 常的工作。控控管管项项目目1、能除去空气

4、中飘游之微尘粒子。 2、能防止微尘粒子之产生。 3、温度和湿度之控制。 4、压力之调节。 5、有害气体之排除。 6、结构物与隔间之气密性。 7、静电之防制。 8、电磁干扰预防。 9、安全因素之考虑。 10、节能之考量。气气流流的的流流动动气气流流的的重重要要性性洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产 生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。 洁净室系利用 HEPA、ULPA 过滤空气，其尘埃的收集率达 99.9799.99995%之多， 因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之 发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间

5、，因此必须利用气流将发生的 尘埃迅速排出室外。 风风速速的的控控制制洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选 0.250.5m/s 之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽 提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增 加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速 供应以达到经济性效果。 另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一 气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时 要实现高洁净度事实上很困难。 垂直层流式方

6、向要保持均一气流必须： (a)吹出面的风速不可有速度上的差异； (b) 地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有 涡流之现象发生，而 0.5m/s 之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在 0.250.5m/s 之间。 影影响响因因素素影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、 洁净室组装材、照明器具等， 同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。 一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距 2/3 之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走； 若分流点配置在制程区前

7、方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区 之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势 必降低。 洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之 洁净度将会较差，在工作 桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是 否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。 洁洁净净室室之之构构成成洁净室的构成是由下列各项系统所组成 (在所组成的系统分子中是缺一不可的 )， 否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室： (1)天天花花板板系系统统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam 或 U-Be

8、am)、天花板格子梁 (Ceiling grid 或 Ceilingframe)。 (2)空空调调系系统统：包括空气舱、过滤器系统、风 机等。 (3)隔隔墙墙板板(Partitional wall)：包括窗户、门。 (4)地地板板：包括高架地板或防静电地板。 (5)照照明明器器具具：包括日光灯、黄色灯管等。 洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如 下之条件： A.不会因温度变化与振动而发生裂痕； B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子； C.吸湿性小； D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；以上由中山市讯安净化设备工程 有限公司，提供参考， 我公司专业承接 10-30 及 无尘车间的设计与施工。有需要的厂家可以联系我公司，在百度搜“中山讯安净 化设备工程公司 ”就能找到，希望对你有用。