太阳能光伏简化工艺 晶硅&薄膜

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太阳能光伏的生产工艺流程主要有两类：晶硅太阳能电池和非晶硅薄膜太阳能电池（国内主要以晶硅太阳能电池为主）下面是具体的工艺流程一一晶体硅太阳电池的工艺流程晶体硅太阳电池的工艺流程流程图：从图中可看出晶体硅太阳电池的制备要经过4 个工艺流程，他们分别是：（1） 硅材料提纯工艺太阳能级硅材料的提纯：一般使用改良西门子法，在这个工艺中先要将冶金级硅氢氯化形成三氯氢硅，在利用分流馏技术将其提纯，再在热反应其中反应，在1100C 沉积在仔晶上。而尾气中含有大量的四氯化硅，还要加氢循环利用。（2） 硅片制备工艺硅片制备包括硅锭制备与切片两个环节，硅锭的制备又分 CZ 法拉单晶硅和浇铸制备多晶硅。在硅锭制备出来以后又要切锭、滚圆、切方、切片、清洗。3 太阳电池制备工艺4 太阳电池封装工艺二二非晶硅薄膜电池的工艺流程非晶硅薄膜电池的工艺流程晶硅晶硅/ /非晶硅非晶硅 具体工艺步骤简化对比：具体工艺步骤简化对比：晶硅非晶硅氢氯化工艺氢氯化工艺分馏工艺分馏工艺热解(1100C)尾气回收尾气回收浇铸（1400C ）切片3次清洗（RCA）1（玻璃清洗）CVD沉积TCO膜扩散（(850C)PECVD （450C）PECVD （350C）磁控溅射丝网印刷激光切割（3次）PECVD去边喷沙去边烘干（X3：200C）烧结（200800C）老化（180C）分选焊接汇流焊接层压（150C）层压（150C）测试测试