esd管理手册-s20.20-2014

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1、受控文件,未经批准不得外传,违者按公司保密规定处理。文件编号:Hesion ESD R01文件版本:A页数: 1 / 12ESD 管理手册(恒信静电参考文件) 发布日期:版本变更记录版本变更内容描述批准人批准日期A初版发行(恒信静电中心培训专用)受控文件,未经批准不得外传,违者按公司保密规定处理。文件编号:Hesion ESD R01文件版本:A页数: 2 / 12ESD 管理手册(恒信静电参考文件) 发布日期:目 录1目的2适用范围3名词解释4功能权责5生产流程6管理要求6.1 基本原理6.2 修正6.3 静电敏感件6.4 ESD 培训6.5 产品认可6.6 符合性验证6.7 接地6.8 人

2、员接地6.9 EPA6.9.1 区域界定6.9.2 人员管控6.9.3 绝缘体管控6.9.4 孤立导体管控6.10 包装6.11 标记7持续改进8相关程序文件及记录表单9参考文件受控文件,未经批准不得外传,违者按公司保密规定处理。文件编号:Hesion ESD R01文件版本:A页数: 3 / 12ESD 管理手册(恒信静电参考文件) 发布日期:1目的公司按照 ANSI/ESD S20.20 和 IEC 61340-5-1 标准实施静电防护管理,其目的在于:1)减少静电对产品的损害,提高产品品质,提高客户满意度。2)明确静电防护措施和实施要求,为公司各部门和生产环节的防静电建立统一规则。3)建

3、立规范要求供应商和其他协作/服务公司提供满足期望的产品或服务。4)通过二方、三方稽核,获得客户/机构认可,持续改进提高静电防护水平。2适用范围本 ESD 管理手册适用于公司所有静电放电敏感元器件的生产过程,也适用于外协厂方、供应商和合作方等与静电敏感件相关各方,同时也适用于公司产品的最终用户的静电放电防护控制。本 ESD 管理手册适用于静电放电敏感度大于等于人体模型(HBM)100 伏和带电器件模型(CDM)200伏以及孤立导体(Insulated conductor)35 伏的电气或电子零件、装置和设备等的制造、维修、组装、安装、包装、标签,服务、测试、检验或其它处理活动。若今后处理的静电放

4、电敏感元器件的敏感电压值低于三种模型中任何一种,应立即重新评估控制荐,修正控制措施和要求限值,变更本 ESD 管理手册后继续实施。3名词解释本 ESD 管理手册中使用的名词参考 ANSI/ESD ADV1.0-2014,为使用人员理加容易理解和实施,结合公司惯用语,对手册中常用的名词作出解释。AC equipment ground,交流设备接地:交流设备电源线中地线的接地。Auxiliary Ground,辅助接地:单独使用交流设备接地以外的接地,包括专设的弱电接地,静电接地。受控文件,未经批准不得外传,违者按公司保密规定处理。文件编号:Hesion ESD R01文件版本:A页数: 4 /

5、12ESD 管理手册(恒信静电参考文件) 发布日期:Compliance verification,符合性验证:测试表明性能没有超过初始选择的限值,即指监测、稽查、点检。Conductive material (resistance),导体材料(电阻):表面电阻或体积电阻小于 1*10E4 欧姆的材料,即指导静电材料。Dissipative materials,耗散材料:表面电阻或体积电阻大于等于 1*10E4 欧姆且小于 1*10E11 欧姆的材料,即指消散性静电材料。Electrostatic discharge (ESD),静电放电:高静电场快速自发的静电电荷转移,也指防静电。Elect

6、rostatic discharge (ESD) protective workstation,ESD 保护工作站:一个处理静电放电敏感器件的工作区域,配备必要的防护材料和设备来限制静电放电对静电敏感器件的损害。Electrostatic discharge sensitivity (ESDS),静电放电敏感性:静电放电导致器件失效。Electrostatic discharge susceptible (ESDS) item,静电放电敏感器件:有静电放电敏感级别的的电子电气零件、装置、元件、组件或设备。Electrostatic field,静电场:一个因存在电荷而有引力或斥力的空间。Ele

7、ctric field shielding materials,静电屏蔽材料:表面电阻或体积电阻小于 1*10E3 欧姆的材料。ESD protected area (EPA) ,静电放电防护区:定义的一个区域,为控制静电级别配备必要的防护材料、工具和设备来最大限度地减少损害 ESD 敏感器件。即指静电保护区,防静电区域。Groundable point,可接地点:指定或假设防静电物品或设备上适当的接地位置。Insulative materials,绝缘材料:表面电阻或体积电阻大等于 1*10E11 欧姆的材料。Isolated conductor,孤立导体:一个未接地的导体。Point-to

8、-point resistance,点对点电阻:表面两电极之间的电阻。Resistance to ground,点对地电阻:表面一个电极和地之间的电阻。Sleeve-to-sleeve resistance,袖对袖电阻:一件展开的工作服两个袖口之间的电阻。受控文件,未经批准不得外传,违者按公司保密规定处理。文件编号:Hesion ESD R01文件版本:A页数: 5 / 12ESD 管理手册(恒信静电参考文件) 发布日期:Surface resistance,使用规定结构的两个电极接触一个材料的表面,直流电压与电流的比值。Unprotected area (UPA) ,非防护区:EPA 的外面

9、的区域。即指非 EPA,非防静电区,静电保护区。Volume resistance,体积电阻:使用规定结构的两个电极分别接触一个材料的两对面,直流电压与电流的比值。4. 功能权责3.1 ESD 小组组织架构(如图)3.2 权责说明3.2.1 ESD 工作组组长由公司任命。负责协调 ESD 工作组内各成员的工作以及协调其他相关部门支持 ESD 管理体系的良好运行,持续验证和改进使其满足体系的适宜性、充分性和有效性。3.2.2 ESD 工作组副组长由公司 ESD 工程师担任,负责协助组长协调小组工作,监查 ESD 管理体系运行情况,通过日常验证和年度内审等方法持续发现 ESD 管理体系运行的问题,

10、提供纠正措施持续保障 ESD 管理体系运行符合公司需求。5. 生产流程及 EPA 区域(如图)受控文件,未经批准不得外传,违者按公司保密规定处理。文件编号:Hesion ESD R01文件版本:A页数: 6 / 12ESD 管理手册(恒信静电参考文件) 发布日期:6. 管理要求6.1 基本原理A. EPA 内所有导体(包括人体)应该接地。如果特殊情况不能接地,应将所有导体(包括人体)相连来建立了一个等电位平衡,只要系统中所有物体都处在同一个电位上,就可以在高出地电位“零伏特”时仍然可以维持静电保护。B. EPA 内必要的非导体(处理过程需要的绝缘体)因为不能通过接地方式进行放电,采用电离化中和

11、是为这些非导体(例如电路板材料以及器件的封装)消除静电最佳方式,应该对必要的非导体可能产生静电放电危害做出评估来保证实施措施的合理性(见本手册 EPA 绝缘体管控章节)。C. 在静电保护区内周转静电放电敏感件时,使用低带电并耗散静电的材料;在静电保护区外运送静电放电敏感件时,应使用低带电且耗散静电的防护材料密封起来,推荐使用低带电且静电场屏蔽的材料。6.2 修正(例举)修正声明 1:公司 ESD 管理手册不包含依据 ANSI/ESD S20.20 标准的人员接地章节。基本原理:已建立全自动化装配过程,人员与 ESDS 器件不可能有交互。修正声明 2:公司防静电工作台测量方法中“地”修正为“地面

12、”,上限值仍然符合 ESD S20.20符合性验证限值要求。基本原理:防静电工作台接地电阻按 TR53-01-15 测试阻值为台垫阻值+接地扣阻值+接地线阻值+接地系统阻值;修正后工作台接地电阻为台垫阻值+接地扣阻值+接地线阻值+接地系统阻值+地面阻值,比 TR53-01-15 测试方法增加了地面的的阻值,测量值应大于 TR53-01-15 测试方法的受控文件,未经批准不得外传,违者按公司保密规定处理。文件编号:Hesion ESD R01文件版本:A页数: 7 / 12ESD 管理手册(恒信静电参考文件) 发布日期:测量值,此值若符合 S20.20 限值要求,则 TR53-01-15 测试方

13、法的测量值应符合 S20.20 限值要求。实测数据:(可以通过较大量的实测数据和结论来论证上面的结论)6.3 静电敏感件公司使用的微电子线路,分立半导体,厚膜、薄膜电阻,混合器件,印刷电路板及压电晶体等等都是静电敏感件,敏感特性由供应商根据 IQC/SQE 要求提供(需提供 HBM、CDM、MM ( Isolated conductor )三类模型的敏感电压值),IQC/SQE 负责根据公司生产的产品动态列明ESD 敏感件清单,当发现敏感度小于适用范围(人体模型(HBM)100 伏和带电器件模型(CDM)200 伏以及孤立导体(Insulated conductor)35 伏)电压时,应立即通

14、知 ESD 小组负责人,由ESD 小组组织评估采取额外的控制要素及调整要求限值。6.4 ESD 培训ESD 培训工作依据公司质量管理体系的培训管理程序文件执行。6.4.1 培训内容6.5.1.1 基础知识,讲解静电危害和公司静电防护要求。6.6.1.2 防护用品,讲解人体防护用品防静电服、帽、鞋、脚筋带、手腕带、手套、指套的正确使用。6.4.1.3 操作规范,讲解 EPA 内防护设施设备及工具的使用和注意事项,EPA 内行为规范,处理 ESD 敏感件的操作规范。6.4.1.4 检验要求和方法,讲解静电防护用品的检测要求,检验方法,仪器使用要求等。受控文件,未经批准不得外传,违者按公司保密规定处

15、理。文件编号:Hesion ESD R01文件版本:A页数: 8 / 12ESD 管理手册(恒信静电参考文件) 发布日期:6.4.2 培训计划6.4.2.1 初次培训,所有新员工在入厂时必须接受人力资源部统一组织的视频教学和讲师课堂形式的培训,培训内容包括 ESD 基础知识、防护用品、操作规范的培训,培训后随堂进行 ESD 考试,80 分为合格,合格者方允许到 EPA 上岗。初次培训及考核记录统一交由人事部门按质量管理体系的记录管理程序归档保存。6.4.2.2 岗前培训,新员工在 EPA 上岗后独自操作前,由产线小组长负责安排岗前培训,加强 ESD防护意识,小组长负责人员培训评价,合格者方允许

16、独自操作。评价记录由各部门按质量管理体系的记录管理程序归档保存。6.4.2.2 周期培训,所有接触敏感件的在职人员每年必须接受至少 1 次各部门组织的 ESD 培训,采用视频教学和讲师课堂的方式,培训内容包括基础知识、防护用品、操作规范以及 ESD 新技术,新规范等的介绍,培训后随堂进行 ESD 考试,80 分为合格,合格者方允许继续到 EPA 上岗。培训及考核记录各部门按质量管理体系的记录管理程序归档保存。6.4.2.3 检验人员培训,所有 ESD 检验人员除了参加初次培训和周期培训外,每年必须完成 1 次防静电物品检验要求和方法培训,采用讲师课堂或内部研讨的方式。采取实操评价方式进行考核,评价合格者方允许独自检验,培训及考核记录各部门按质量管理体系的记录管理程序归档保存。6.4.2.4 设备维修调试、清洁保养人员等非生产操作人员不接触敏感件,但进入 EPA 前要求做适当培训 EPA 注意事项,不做记录和考核。6.4.2.4 所有培训和考核记录、评价记录根据 ESD 小组验证周期(1 年)提交到 ESD 工作组副组长完成年度体系运

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