蚀刻补偿原理及应用

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1、 蚀刻补偿原理及应用蚀刻补偿原理及应用1 1、蝕刻補償原理、蝕刻補償原理什麼是“間隔噴淋蝕刻”的意思？為什麼“間隔噴淋蝕刻”能給我們一個更加均勻的蝕刻效果呢？ 當蝕刻噴淋到上板面的時候，板邊緣的藥水流動要更快於板中間，這樣導致了在上板面形成一種 “魂凝”狀態，從而阻礙了噴淋和降低了蝕刻反映速度，導致在上板面形成一個“銅山” （如圖一所 示） ，為了得到更好的蝕刻品質，這些“銅山”應該要除去，下面圖表會解釋這個過程。所謂的“銅 山”已經使用 3D 圖表顯示，同時使用等高線分開。為了補償上板面“混凝”的影響，設計了一個特殊的噴淋系統，這個系統在工作方向垂直方向上安 裝了一些噴管，每一根噴管可以各自

2、的控制其開關，而且每一根噴管安裝了不同數量的噴嘴，噴嘴 的形狀安排成一個三角形。正常情況下按照以下排列：第一根噴管安裝了 9 個噴嘴，第二根噴嘴安 裝了 8 個噴嘴，第三根噴管安裝了 7 個噴嘴，如此類推，直到最後一根噴管安裝 3 到 4 個噴嘴為止， 如 圖 2 所示。由於可以選擇每一個噴管的開、關，在板面上的“銅山”可以被一層一層的除掉。使用 3D 圖像除去“銅山”紅色區域=第一根噴管（9 個噴嘴黃色區域=第二根噴管（8 個噴嘴）淺藍色區域=第三根噴管（7 個噴嘴）等等.下面給了我們關於“間隔噴淋”程式更詳細的解釋：以上圖解顯示了有 6 根噴管的“間隔噴淋”系統，在板面上的橢圓形表示了板面

3、上殘銅（銅山）的 不同的厚度。 當板走進時，有 8 個噴嘴的第一根噴管被開動，目的是蝕刻掉 1.5um 的銅厚，意味著原來 1.5um 的 區域被蝕刻為 0um，3un 的區域蝕刻為 1.5um，如此類推。在第一個噴管到達板後端以前，第二根噴 管已經被開動，實際上是在 1.5um 銅厚的區域剛好到達第二根噴管時開動的。第三根噴管是在下一 層銅層到達時開動，如此類推，一直到裝有 3 個噴嘴的最後一根噴管噴完為止，這意味著這個系統 可以根據實際蝕刻掉板面上最後一層銅層，而噴灌管的開、關選擇可以在 PLC 控制的 PC 上設定。間隔噴淋缸內噴 管的噴嘴被排列 為V形的形狀圖例 R1 = 第一根噴管

4、R2 = 第二根噴管 等等Cu1.5 = 1.5um 銅厚區域 Cu3.0 = 3.0um 銅厚區域 感應器 = 監控板的位置2、蝕刻補償控制與操作（手動機）蝕刻補償控制與操作（手動機）2.1 控制板面之操作鍵控制板面之操作鍵操作鍵操作鍵功能功能備註備註顯示 HELP 內文Help 指示燈發亮時,表示有內文 訊息輸入確認及完成輸入確認確認錯誤訊息解除/返回/取消1.在未按 ENTER 前,除消輸入. 2.返回上一頁或顯示板面 3.離開 Help 內文移動輸入/浮標/顯示上下左右箭頭表示移動方向+選擇其他輸入符號/文字如選擇蝕刻補償噴淋狀態: on(長開), off(長關), Int(間歇噴 淋

5、)HELPENTERSHIFTACKESCOver- view2.22.2 概覽蝕刻補償各噴管狀況概覽蝕刻補償各噴管狀況按 鍵進入概覽板面(在概覽板面內,可視察噴管開關狀況)噴管號噴管開關狀況: 上噴管開啟上噴管關閉下噴管開啟下噴管關閉 2.32.3 閱覽工作狀態信息閱覽工作狀態信息按 鍵進入信息閱覽板面(在信息板面內,可閱覽工作狀態信息)工作信息 信息編號 故障信息 信息編號離開工作信息板面,需按下鍵 與工作信息不同,故障信息會閃動,直致按下 但必須確認或修復排除所有故障信息 鍵確認或修復排除故障如有多個信息可按 閱讀其他信息幫助排除故障內文 按鍵閱讀內文,離開按鍵Mes- sages123

6、456789 101234B #000No messages present.Press .S #003N o t a l l d o o r s a n d c o v e r s a r e c l o s e d .H S #003P l e a s e c l o s e a l l d o o r s a n d c o v e r s .General settingsOffset: 10 cmMode: Innerlayer2.42.4 蝕刻補償參數輸入蝕刻補償參數輸入按 鍵鍵進入設定補償參數板面在板面首頁可輸入零點修正值零點修正值及蝕刻補償類型蝕刻補償類型零點修正為+10 厘米

7、蝕刻補償類型為內層補償(Outsidelayer 外層補償)下頁零點修正范圍零點修正范圍- +50cm-50cm+50cm-50cm蝕刻補償類型為內層補償時,只有板面內心部分受噴淋 蝕刻補償類型為外層補償時,只有板面沿邊部分受噴淋 如下圖示:板後沿板後沿設定 板前沿板前沿設定內層補償生產板傳動方向外層補償=噴淋區域PIPETop pipe 01: intStartAfterFront: 5 cmStopBeforeEnd: 5 cm Top pipe 02: intStartAfterFront: 0 cmStopBeforeEnd: 0 cm 按 (下頁)可輸入蝕刻補償參數第一排上噴管間歇噴

8、淋板前沿 5 厘米(設定)板後沿 5 厘米(設定)下頁上頁按2.5 輸入應用程式輸入應用程式按 鍵鍵進入應用程式板面輸入新應用程式(可鍵入 1-20 號程式)11 號程式應用中板面首頁Programs Act. : 11 New : 0PROG鍵入新程式 New:?後按下 鍵 現假設新程式為 2 號程式,輸入操作如下:鍵入 2ENTER2.6 載入及儲存程式載入及儲存程式載入程式載入程式 儲存程式儲存程式按下此鍵 按下此鍵按下此鍵 按下此鍵完成載入程式 完成儲存程式Programs Act. : 11 New : 2 Save Load ENTERPrograms Act. : 11 New

9、: 0Programs Load program 2? Yes No Programs Act. : 11 New : 2 Save Load Programs Save 11 to 2? Yes No Programs Act. : 11 New : 2 Save Load 3 3、蝕刻補償操作步驟：、蝕刻補償操作步驟：3.1 選擇內層/外層模式，一般情況下選擇內層模式3.2 選擇噴淋模式為“間隔噴淋” ，同時設定所有距離為 0cm 3.3 進板 3.4 零點修正：觀察是否在板到時馬上噴淋 如果超過噴管再噴淋，選“-” 如果沒到噴管噴淋，選“+” 3.5 設定噴淋主壓力 3.6 設定分壓 3

10、.7 進板 3.8 測量和記錄銅厚資料 3.9 根據資料調整補償蝕刻和分壓或總壓（如有需要）. 3.10 重複第 79 項直至標準偏差小於 0.7(0.5OZ), 1.2(1 OZ), 1.6(2OZ)4 4、異常問題處理：、異常問題處理：問題原因解決措施参数设定正确，蚀刻补偿不 喷。1、侧板感应器损坏 2、脉冲发生器损坏 3、喷淋泵坏 4、气阀损坏或导致气阀不能 工作的其他原因。1、更换感应器。 2、更换脉冲发生器 3、更换泵浦 4、查找气动阀不工作原因排 除。 板面發現有局部蝕刻不尽1、蝕刻程式是否正確 2、各种参数是否正常 3、喷嘴是否堵塞或异常 4、Offset 是否正確 5、蝕刻补偿缸噴管排序是否 正確(检查蝕刻补偿報告)1、選定蝕刻程式是否正確 2、檢查各蝕刻參數是否正確， 如喷淋压力，温度，速度， 药水参数等等。 3、檢查噴嘴有否倒塞或異常 4、檢查 Offset 是否正確 5、若确定以上正常，则需重 新调整按情況調節蝕刻補 償間歇噴淋(on/off in cm)， 如有需要可增減工作噴淋 壓力，重複直致局部蝕刻 不盡消除