真空泵的一些计算公式

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1、真空泵的一些计算公式1、玻义尔定律体积 V,压强 P,PV常数一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。即 P1/P2V2/V12、盖吕萨克定律当压强 P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T 成正比:V1/V2T1/T2 常数当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高( 或 P降低)1,则它的体积比原来增加( 或缩小)1/273 。3、查理定律当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其绝对温度T 成正比,即:P1/P2T1/T2在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高( 或降低 )1,它的压强比原来增加( 或减少)1/273 。4、平均自由程:(5 10-3)

2、/P (cm)5、抽速:Sdv/dt (升/ 秒) 或 SQ/P* y m“ A. U5 U) V. v# |Q 流量 ( 托升 / 秒 ) P 压强 (托) V体积 (升) t时间 ( 秒) 6、通导: C Q/(P2-P1) (升 / 秒)7、真空抽气时间:对于从大气压到1 托抽气时间计算式:t 8V/S ( 经验公式 ) V为体积, S为抽气速率,通常t 在 510 分钟内选择。8、维持泵选择:S维 S前/10# b“ t! k N; U7 r; R: S9、扩散泵抽速估算:S3D2 (D 直径 cm)10、罗茨泵的前级抽速:S(0.10.2)S罗 (l/s) 11、漏率:Q漏 V(P2

3、-P1)/(t2-t1)$ | J5 CQ1真空系统漏气率( 托升 / 秒) P预需要达到的预真空度( 托): m) K 9 a4 a6 q4 L7 Z+ l, lV真空系统容积( 升) t 达到 P预时所需要的时间+ W q4 Y: i; f) |* MPa大气压值 ( 托)13、前级泵抽速选择:排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有:PnSg PgS 或SgPgs/PnSg前级泵的有效抽速(l/s) Pn主泵临界前级压强( 最大排气

4、压强)(l/s) Pg真空室最高工作压强( 托) S主泵工作时在Pg 时的有效抽速。(l/s) 14、扩散泵抽速计算公式:SQ/P(Kn)/(P t)( 升 / 秒)2 i; C; w9 . Q3 M! d6 b6 Z) x# K式中: S被试泵的抽气速率(l/s)8 Q- x+ F2 q- w, ( M1 Cn滴管内油柱上升格数(格 ) t 油柱上升n 格所需要的时间( 秒)( N+ , T! V, ?# E6 k0油的比重 ( 克/ 厘米 3)* m$ k0 y* j2 D8 S3 B$ r“ vm汞的比重 ( 克/ 厘米 3) Pa当地大气压强( 托), L6 ) k- X# _Vt滴管的刻度上的一格的对应的容积( 升 / 格). M( |) e# b! Q, l15、旋片真空泵的几何抽速计算公式:SZnLKv(D2- d2)/(24 104) (l/s)式中: Z 为旋片数, n 为转速 ( 转/ 分) ,L 为泵腔长度,D为泵腔直径,d 为转子直径 (cm) ,Kv 为容积利用系数( 一般取 95) 。16、 O型橡胶槽深B0.7DD为橡胶直径,槽宽C1.6B6 ( T( m3 5 v0 d, F17、方形橡胶槽深B0.8AA为方形橡胶边长,槽宽C1.67B

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