年产120吨高纯三氯氧磷工程涟水县永源化工公司

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1、1涟水县永源化工公司120t/a 高纯三氯氧磷工程可可 行行 性性 研研 究究 报报 告告23前前 言言为贯彻落实“安全第一，预防为主、综合治理”的安全生产方针，落实国家安全生产监督管理总局、省政府、省安监局等有关建设项目(工程)“三同时”相关规定。在建设项目设计之前，项目组到现场认真、仔细地落实了设计条件，结合公司所在的江苏涟水经技术开发区薛行工业园区的实际情况，根据公司提供的设计基础资料和国际、国内市场调研等相关资料；按照投资项目可行性研究指南 ，依据中华人民共和国安全生产法、 危险化学品安全管理条例 、 江苏省安全生产条例 、 危险化学品建设项目安全许可实施办法 （国家安全生产监督管理总

2、局令【2006】第 8 号、建设项目安全设施“三同时”监督管理暂行办法国家安监总局【2010】36 号、 石油化工设计规范GB50106-2008、 建筑设计防火规范GB50016-2006、 使用有毒物品作业场所劳动保护条例(国务院令第 352号，2002 年 5 月 19 日施行)；产业结构调整指导目录 （国家发改委令第 40 号，2005 年版，2005 年 12 月 2 日施行） ；工业金属管道设计规范 、（流动资金估算表） 、 江苏省建筑工程消耗量定额 、 江苏省装饰装修工程消耗量定额及费用定额， 江苏省安装工程消耗量定额及国家有关法律、法规和相关技术标准，编制了 涟水县永源化工限公

3、司年产 120 吨三氯氧磷建设项目可行性研究报告 。本报告共十五章，内容包括：总论、市场需求预测和拟建规模、产品方案和生产规模、工艺技术方案、建设条件与厂址选择项目概况、建设项目危险有害因素分析、项目产业政策符合性分析、安全对策措施、环保与消防、劳动保护与安全卫生、投资估算与资金筹措、结论等。鉴于经验和水平，本项目可行性研究报告书中难免有不足之处，敬请批评指正。4目目 录录第一章 总论4第二章 市场需求预测和拟建规模8第三章 产品方案及生产规模10第四章 工艺技术方案13第五章 建设条件与厂址选择项目概况17第六章 建设项目危险有害因素分析22第七章 项目产业政策符合性分析30第八章 安全对策

4、措施531第九章 环保与消防40第十章 劳动保护与安全卫生48第十一章 企业组织与劳动定员57第十二章 十二章项目实施进度建议58第十三章 投资估算与资金筹措60第十四章 工程招标63第十五章 财务、经济效益及社会效益评价64第十六章 社会评6价68第十七章 风险分析69第十八章 结论71附件：1、涟水县永源化工有限公司选址地理位置示意图72附件：2 、太阳能电池的运用领域 附件：3、 新型专利证书附件：4、 原瓶图片及洁净厂房图片附件：第一章 总论1.1 项目名称及建设单位1.1.1 项目名称120t/a 高纯三氯氧磷工程1.1.2 项目建设单位涟水县永源化工有限公司法人代表：吴志勇1.1.

5、3 项目主管部门江苏涟水经济开发区薛行工业园区江苏涟水经济开发区薛行工业园区经济发展局 1.2 可行性研究编制的依据和原则1.2.1 编制依据（1）涟水县永源化工有限公司提供的设计基础资料。7（2） 化工建设项目可行性研究报告内容和深度的规定 （修订本） 。1.2.2 编制原则（1）项目技术和设备立足国内。（2）节约用地，节省基建投资，加快建设进度。（3）主体工程与环境保护、安全和工业卫生、消防同时考虑，以消除工厂生产对周围环境及职工健康的影响。（4）优化设计方案，提高企业经济效益和社会效益。（5）贯彻工厂布置一体化，生产装置露天化，建构筑物轻型化，设备技术国产化的原则。（6）设计中遵守国家法

6、律、法规及有关标准、规范。 1.3 项目提出的背景、投资必要性和经济意义1.3.1 企业概况涟水县永源化工有限公司是涟水县人民政府招商局招商引资项目。该公司自立项以来一直得到涟水县政府、江苏涟水经济开发区薛行工业园区管委会的大力支持和协助。该公司各项工作进展顺利。1.3.2 项目提出的背景随着经济的迅猛发展。以微电子、计算机、通讯和网络技术为代表的信息技术，是现代科学进步中发展最快、渗透性最强、应用最广泛的关键技术现已成为世界各国科技、经济、军事、政治竞争的焦点，成为各国综合国力较量的一个重要方面，加快信息产业的发展，早已成为我国的一项重要国策。近年来，由于我国国民经济持续、健康发展，尤其是电

7、子信息产品的巨大需求，吸引了世界上一些著名 IC 企业和太阳能电池生产厂商对中国大陆的投资。目前我国已初步形成以北京为基点的北方微电子产业门户基地和以上海为基点的华东微电子产业门户基地。在 IC 和太阳能电池的制造成本中支撑材料和辅助材料大约占五成比例或更多，高纯三氯氧磷产品是支撑材料或辅助材料的重要组成部份之一。由于技术和政策等原因，我国 IC 和太阳能电池行业的支撑材料业发展很缓慢，绝大多数材料依靠进口，同快速发展的主体制造业极不配套。其中，超高纯材料和超高纯试剂的发展更为滞后，目前基本依靠进口，主要进口商为日本、美国和德国的8企业。1.3.3 项目建设的必要性本项目是一个技术先进、生产工

8、艺成熟、经济上可行，具有较高抗风险能力的高新技术项目，项目符合国家产业政策，具有广阔的发展空间。本项目的电子级三氯氧磷是国内研究，产品成功进行生产后，既可以为微电子行业提供高质量的电子基础材料，同时也通过本项目的建设，减少我国对国外产品的依赖，打破国内外产品的垄断，提品市场竞争力，投入生产后可以替代进口填补国内无法生产电子级三氯氧磷产品的空白，推动我国信息产业的发展。通适本项目的实施，将当地磷资源优势转化为经济优势，促进磷化工科技水平的提高。带动磷化工新产品的开发，形成产业链发展，为开发和生产其他起大规模集成电路辅助材料奠定基础，同时推动地方经济发展，增加就业机会。因此，把该项目作为高新技术产

9、业化示范工程是十分必要的。1.3.4 项目建设的经济意义(1)通过本项目的实施，向我国微电子行业提供高端电子级三氯氧磷产品，促进我国信息产业的发展，该项目产品填补我国电子级三氯氧磷的不足，可广泛应用于半导体、光电子产业、太阳能电池、等工业，对我国信息产业的发展具有极大的推动作用，对这些产业在国际市场的竞争优势有较大的提升作用。(2)通过掌握电子级三氯氧磷产品生产的核心技术，有利于打破国内外产品的垄断，电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路(IC)制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的 N 型掺杂，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。目前国际上从事工

10、艺化学品研发及生产的主要有德国的 E.Merck 及 Merck-Kanfo 公司（占全球市场份额的 36.4%） ；美国的 Ashlana 公司（占全球市场份额的25.7%） ，Arch 公司(占全球市场份额的 9.5%)，aliinckradt Baker 公司(占全球市场份额的 4.4%)；日本的 Wako(占全球市场份额的 lO1%） ，Sumitomo（占全球市场份额的 7.1%） 。另外还有日本的关东株式会社、住友合成、德川、三菱，我国台湾地区的长春、中华、长新化学，韩国的9DONOWOOFINECHEM、DONGJIN SEMICHEM、SAMYOUNG FINECHEM 等公司

11、。在技术方面，美国、德国、日本、韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产0.2-0.6 u m 技术用的工艺化学品，0.090. 2u m 技术用工艺化学品也已经完成了实验室 工艺研究并开始规模生产。公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。提升我国在该领域的技术水平，打破国内外产品的垄断。1.4 项目的主要内容、创新点项目的主要内容是电子级三氯氧磷(6N、7N)在贵州实验室取得成功的基础上进行电子级三氯氧磷(6N、7N)的试产，以及对电子级三氯氧磷的包装、安全运输等进行研究，并推动其它高附加值磷化产品（电子级磷酸、亚磷酸三甲酯等）

12、的系列化开发，创造出其有国内先进水平的技术或产品。建设年产 120 吨电子级三氧氧磷的生产线，达产后年产值 9600 万元以上。项目产品可广泛应用于半导体、光电子产业、太阳能电池、高纯化合物半导体等工业。产品生产技术处于国内先进地位。项目技术的创新点在于从原材料开始严格控制各道工序的提纯及防止杂质元素的二次污染，能有效的保证产品的质量，产品质量达到国际标准。(1)产品纯度高，稳定性好，达到国际 SEMI 标准，其单项杂质最高含量为 9ppb。(2)原材料可以是黄磷，也可以是红磷。(3)将塔板精馏器运用到三氯化磷的精馏中，可以将杂质元素从几十个 ppb 降到几个甚至零点几个 ppb。(4)原材料

13、利用率高、过程的废气、废水容易处理。 1.5 研究的主要过程可行性研究报告编制之前，项目组到现场认真仔细地落实了设计条件，结合该公司所在的江苏涟水经济开发区薛行工业园区的实际情况，根据该公司提供的设计基础资料，依据原化工部化工建设项目可行性研究报告内容和深度的规定及国家有关规定编制了本报告。101.6 研究结论（1）该项目技术较先进,设备可立足国内。（2）充分利用新招聘的技术人员、管理人员及管理经验。（3 3）通过技术及财务评价看出，该项目可为高新技术企业、产品附加值高，可以为国家创造较好的经济效益和社会效益。因此该项目的建设是有意义的，项目是可行的。第二章 市场需求预测和拟建规模2.1 项目

14、产品市场调查与竞争能力预测2.1.1 项目产品市场调查项目产品可广泛应用于半导体、光电子产业、太阳能电池、高纯化合物半导体等工业。产品生产技术处于国内先进地位。目前，中小规模（5 u m L 上技术） 、分立器阜生产厂家及晶体硅太阳能电池、光纤制造厂家对于6N 级三氯氧磷的需求总量将达到 100 吨年以上；大规模集成电路（4 英寸晶圆 23um，0 81.2 um 技书术）及超大规模集成电路（5、6 和 8 英寸晶圆，0.50.6um，0.35um，0.25um，0.18pm 和 0.13um 技术） 、极大规模集成电路（12 英寸晶圆，0.13um0.11um 技术）生产线及厂家按月生产11l 万片硅片生产线平均需三氯氧磷 5 千克月的用量计算，年需 7N（相当于 BV-级）大约在 170 吨年的规模，并呈每年