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1、PLD 系统操作规程系统操作规程高真空生长高真空生长实验过程中，请勿带任何首饰！实验过程中，请勿带任何首饰！使用系统之前先检查系统的状态。使用系统之前先检查系统的状态。 1. 确认电源连接状况良好。 2. 确保氧气瓶的气阀、真空室的针阀以及涡轮分子泵的闸板阀处于关闭状态。 3. 检查涡轮分子泵中是否出于 1 个大气压状态。 4. 确保真空室中处于常压、室温状态。PLD 系统的使用系统的使用 (真空室内的操作必须带 PV 手套) 1.将靶材放入真空室后，通过移动透镜使激光聚焦到靶材的表面。缓慢调节 透镜下面的手动平移台，听激光轰击靶材的声音，声音最大时为最好的聚 焦状态。 2.聚焦调好后，将激光
2、器能量和频率调至生长时的参数，预溅射 2 分钟，将 靶材的表面清洁干净。 3.将衬底放入真空室，关闭观察窗的挡板，然后再关快开门(避免挡板被快开 门夹住，影响真空室的密封状态)。关闭快开门时，先转动右侧的旋钮将快 开门轻轻顶住，然后将左侧旋钮拧紧，最后将右侧旋钮拧紧即可。 （此过程 中切勿用力过大） 4.确保真空室的气阀处于关闭状态，低真空抽气旁路的气阀处于关闭状态， 分子泵高真空抽气旁路气阀处于开放状态，涡轮分子泵的闸板阀处于开放 状态，打开机械泵，然后打开真空计。打开分子泵冷却水， （真空计处于自 动档不需要调节）等到真空室气压在 10Pa 以下时打开涡轮分子泵。 5.温度系统：在抽真空的
3、同时给衬底升温，打开温度控制仪。 1)按 GRP 键，然后按键，显示初始温度。 2)按 STEP 键，显示第一段程序，第一步的目的温度，按和键调 节温度大小，按 ENT 键确认（单位为摄氏度） 。 3)按键，显示第一段程序，第一步的执行时间，按和键调节时 间，按 ENT 键确认（单位为分钟） 。 4)到此第一步程序设定完毕，按 STEP 键设定第二段程序的参数。 5)所有参数设定完毕后按四次 GRP 回到主设定界面，按住 RUN 键 3 秒运 行程序。如需停止程序，按住 RUN 键 3 秒程序停止。 （最高生长温度 750 度） 6.生长温度和生长气压达到所需的值后，稳定 5 分钟。然后打开激
4、光器开始 生长。生长过程中，如需观察真空室内的状态，可以拿手电筒，戴上防护 境，打开观察窗挡板观察，观察后请随手关闭挡板，以免开启时间过长污 染观察窗上的玻璃。 （高温高真空下请勿打开腔内的照明灯） 7.生长过程完毕后，先将涡轮分子泵闸板阀关闭，再停分子泵，等分子泵频 率降低 0Hz 后，关闭分子泵的电源。接着关闭真空计，然后关闭机械泵。将生长室中的真空释放掉，待腔中降到室温后，开腔取出样品和靶材。最 后将分子泵放气阀打开，将分子泵中的气压降至大气压。 8.使用完后将透镜用样品带套住，用干抹布擦干净 PLD 系统表面的浮灰，将 工具放回工具箱。激光器的使用激光器的使用 1. 激光器的开启。将激
5、光器钥匙由 0 拨到 1，将激光器开关由 OFF 旋至 ON 状 态。激光器开始预热 8 分钟。 2. 调节激光的重复频率：按 REPRATE 键，然后输入所需频率（数字 1-9） 。然 后按 ENTER 键确认。调节激光的能量：按 EGY 键，然后输入所需能量，然后按 ENTER 键确认。激光出光：按 RUN 键，然后按 EXE 键。 （出光前先将激光器出光口的百叶 窗打开）激光停止出光：按两下 break 键。 3. 激光器的关闭。先将激光器停止出光（关闭激光器出光口处的百叶窗） ，等 激光器冷却后（30 分钟） ，将激光器开关由 ON 旋至 OFF 状态，将激光器钥 匙由 1 拨到 0。激光器钥匙放回原处。实验完毕后检查：实验完毕后检查：1. 冷却水是否关闭。 2. 分子泵中的真空是否释放。 3. 透镜和反射镜是否套上塑料袋。 4. 地板上的激光出光口是否挡上。 5. 激光器是否关闭。
