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4D 测试仪注意事项1方块电阻(R)正常范围:正常范围:52R58; 2 当方阻 45R75 时,通知工艺,将片子拿去刻蚀车间二次清洗,二次扩散;注意:若返工片出现方阻过低(R75 时,通知工艺,将片子拿去刻蚀车间二次清洗,二次扩散;注意:若返工片出现方阻过低(R44), 则通知工艺,去 PSG 后,背面扩散;当方阻 58 时,提醒工艺调试;对于对于 2 号机,及号机,及 10 号机共号机共 6 个炉管,务必用个炉管,务必用 4D 测试仪测试!测试仪测试!其余炉管也尽量用其余炉管也尽量用 4D 测试测试!扩散工艺2010-11-2