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1、毕业论文（设计）毕业论文（设计）2012 届题 目 多晶硅的生产工艺及研究 专 业 学生姓名 学 号 小组成员 指导教师 完成日期 2012 年 4 月 8 日 毕毕 业业 论论 文（设文（设 计）计） 任任 务务 书书班级班级 0202、4 4、8 8 1、论文（设计）题目： 多晶硅的生产工艺及研究 2、论文（设计）要求：（1）学生应在教师指导下按时完成所规定的内容和工作量，最好是独立完成。（2）选题有一定的理论意义与实践价值，必须与所学专业相关。（3）主题明确，思路清晰。（4）文献工作扎实，能够较为全面地反映论文研究领域内的成果及其最新进展。（5）格式规范，严格按系部制定的论文格式模板调整
2、格式。（6）所有学生必须在 月 日之前交论文初稿。3、论文（设计）日期：任务下达日期 2012 年 2 月 17 日 完成日期 2012 年 4 月 8 日 4、指导教师签字： 毕毕 业业 论论 文（设文（设 计）成计）成 绩绩 评评 定定 报报 告告序号评分指标具 体 要 求分数范围得 分1学习态度努力学习，遵守纪律，作风严谨务实，按期完成规定的任务。010 分调研论证能独立查阅文献资料及从事其它形式的调研，能较好地理解课题任务并提出实施方案，有分析整理各类信息并从中获取新知识的能力。015 分综合能力论文能运用所学知识和技能，有一定见解和实用价值。025 分2能力与质量论文（设计）质量论证
3、、分析逻辑清晰、正确合理，020 分3工作量内容充实，工作饱满，符合规定字数要求。绘图(表)符合要求。0 15 分4撰写质量结构严谨，文字通顺，用语符合技术规范，图表清楚，字迹工整，书写格式规范， 0 15 分合计0100 分评语：成 绩：评阅人（签名）：日 期：毕业论文答辩及综合成绩答 辩 情 况自 述 情 况清 晰、完 整流 利简 练清 晰完 整完 整熟 悉内 容基 本完 整熟 悉内 容不 熟悉 内容回 答 问 题提 出 问 题正 确基本正确有一般性错误有原则性错误没有回答答辩小组评语及建议成绩：答辩委员会综合成绩：答辩委员会主任签字： 年 月 日多晶硅的生产工艺及研究多晶硅的生产工艺及研
4、究学号学号 姓名姓名 摘要：摘要：多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方 式生产柱状多晶硅，为了提高原料利用率和环境友好，在前者的基础上采用了闭环式生产 工艺即改良西门子法。该工艺将工业硅加工成 SiHCl3，再让 SiHCl3在 H2气氛的还原炉中 还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气 H2、SiHCl3和 HCl 经过分离后再循环利用。硅烷 法是将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗的流化床中，是硅烷裂解并在晶种上沉积，从而 得到颗粒状多晶硅。改良西门子法和硅烷法主要生产电子级晶体硅，也可以生产太阳能级 多晶硅。此外，多晶硅的生产技术还有碳热还原法和区域熔炼法等。碳
5、热还原法是利用高 纯碳还原二氧化硅制取多晶硅的。区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到 太阳能级硅的。关键词：关键词：多晶硅，西门子法，硅烷法，冶金法，太阳能电池目目 录录1 多晶硅简介.11.1 多晶硅的定义及性质 .11.2 多晶硅的利用价值 .12 多晶硅的生产工艺.22.1 工艺原理 .22.2 生产工艺方法 .22.2.1 西门子法 .22.2.2 硅烷法 .32.2.3 流化床法 .42.2.4 冶金法 .63 多晶硅尾气回收工艺研究与发展.83.1 回收方法 .83.1.1 湿法回收 .83.1.2 干法回收 .83.1.3 膜分离回收 .94 多晶硅质量影响因素的分析
6、.114.1 原料对多晶硅质量的影响 .114.1.1 三氯氢硅对多晶硅质量的影响 .114.1.2 氢气对多晶硅质量的影响 .114.2 反应温度的影响 .114.3 混合气配比的影响 .124.4 设备洁净条件的影响 .124.5 其他 .125 多晶硅生产工艺的危险及有害因素.135.1 多晶硅生产过程中化学物质的危险特性 .135.2 工艺过程危险、有害因素分析 .135.2.1 火灾、爆炸 .135.3 中毒、窒息事故危险、有害因素 .165.4 意外事故的发生及伤害 .175.4.1 触电伤害和机械伤害 .175.4.2 灼烫和高处坠落.175.5 粉尘危害 .186 多晶硅太阳能
7、电池.196.1 太阳能电池简介 .196.2 太阳能电池原理 .196.3 太阳能电池材料 .206.3.1 晶体硅类材料 .206.3.2 单晶硅材料 .216.3.3 多晶硅材料 .226.3.4 非晶硅材料 .236.4 太阳能电池展望 .247 多晶硅的发展.267.1 工业发展 .267.2 产业发展预算 .267.3 多晶硅的行业发展主要问题 .277.4 国内多晶硅产业概况 .287.5 国际多晶硅产业 .297.5.1 产业概况 .297.5.2 主要技术特征 .30总 结.31参考文献.32致 谢.33化工系毕业论文（设计）11 多晶硅简介多晶硅简介1.1 多晶硅的定义及性质多晶硅的定义及性质多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。灰色金属光泽，密度2.32g/cm32.34g/cm3熔点 1410,沸点 2355。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和 盐酸。硬度介于 锗和石英之间，室温下质脆，切割时易碎裂。加热至 800以上即有延性， 1300时显出明显变形。常温下不活泼，高温下与氧、
