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1、激光打标机原理11第一章 激光器原理可以肯定地说:本世纪最后的伟大发明之一是激光技术。它自一九五八年问世以来,已经逐步地然而是坚定地渗透到了科研、军事、工业等各个领域。不是吗?看看我们的周围,你就可以轻易地找到它应用的实例:医院中的激光诊断及激光治疗机、商店中的条码识别器、办公室中的激光打印机、把我们与世界各地联结在一起的光纤等等,就是在我们的家中也有它的身影:激光唱机、激光影碟机。人类发明了多种多样的激光器。诸如:气体激光器(He-Ne 激光器、CO2激光器等) 、固态晶体激光器(红宝石激光器、钕玻璃激光器等) 、离子激光器(氪离子激光器、氩离子激光器等) 、染料激光器(甲酚紫激光器、萤光素
2、激光器等) 、超辐射激光器(氮分子激光器等)以及半导体激光器(砷化镓半导体二极管等)等等。在世界的许多地方,几乎所有的商品激光器都在制造业中得到越来越广泛的应用。CO2激光器的主要用途就是各类工业激光加工设备,作为固态晶体激光器的 Nd: YAG(掺钕钇铝石榴石)激光器的最大应用便是在激光打标领域。1.1 激光原理我们知道,物质是由原子组成的,而原子是由带正电的原子核和带负电的核外电子组成的(见图 1.1) 。每一个电子都沿着自己特定的轨道绕原子核高速旋转,其旋转半径决定于电子所处的能级。原子吸收能量后,电子的旋转半径会增加,电子的能级就会提高;原子释放能量后,电子的旋转半径会减小,电子的能级
3、就会降低。每个能级对应着一个特定的能量。电子所具有的能量是不连续的,也就是说原子的能级是量子化的。原子只有吸收了两个能级之间差值的能量才会提高一个能级,电子在能级之间的变动现象称为跃迁。同样,当原子跃迁到较低能级时,会释放出两个能级之间差值的能量。原子的最低能级为 E0,高的能级依次为 E1、E2、E3、,高的能级称为上能级,低的能级为下能级。处在能级 E0 的原子称为基态原子,其它能级称为激发态(见图 1.2) 。原子可以吸收光子来获得能量,当然这个光子必须具有与原子能级差相激光打标机原理22等的能量(例如:E1-E0)原子只能吸收带有几个能量的光子。光子的能量决定于光子本身的波长。所以,原
4、子只能吸收几个特定波长的光子。正常情况下,原子吸收能量后会在上能级停留一段时间(这一时间被称为原子的上能级寿命) ,然后向任意一个方向发射一个光子并返回基态。这一现象称为原子的自发发射。对这一现象,图 1.3 作了形象的描述。图 1.1 原子的结构图 1.2 原子的能级若在激发态原子的附近,恰巧有一个光子经过,这个光子又恰好具有原子上下能级之差的能量,那么这个原子就有可能受到外来光子的激励而发出一个光子,原子自身则在发射后返回基态。原子的这种因受到外来激励而发射的情况,称为原子的受激发射(图 1.4) 。原子受激发射所放出的光子与外来的激励光子在能量、波长、相位等方面完全相同。.激光打标机原理
5、33.以上是单个原子能级的变化情况。对于大量原子的情况,在通常条件下,大多数原子总是分布在基态上,其余原子总是从低能级到高能级递减分布。这一分布规律就是通常所说的波尔兹曼分布。在图 1.5 中,纵坐标表示原子的能级,横坐标表示在各能级上原子的分布数量。如果我们加热这些原子,会使处于上能级的原子数量有所增加。但不管如何加热这些原子,在原子群达到新的热平衡后,上能级的原子数量总是少于下能级的原子数量。若我们想办法强迫下能级的原子跃迁到上能级,而同时保证上能级的原子不很快地发射而返回到下能级,就会人为地造成粒子数反转。这时再用激励光子去激励上能级原子,使其产生受激图 1.5 原子在各能级上的分布发射
6、。在受激发射的同时,要设法使下能级的原子持续地跃迁到上能级,以维持粒子数反转,使受激发射能够持续地进行下去。受激发射所产生的光子都具有相同的波长、方向及相位,所以受激发射的光是很强的。这就是激光。激光这个词是从英文原文“LASER”一词翻译过来的,它的完整的英文原文是“Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation” (光辐射受激发射放大), “LASER”是它的缩写。简单地说:激光器的实质是一个光放大器。在实践中,要想产生激光,就必须满足两个条件:首先找到能够实现粒激光打标机原理44子数反转的工作物质,也就是激光介质;第二要建立
7、一个谐振腔,使某一个频率的能量源(可以是谐振腔外的,也可以是谐振腔内的)在腔内谐振,在激光介质中多次往返时,有足够的机会去激励(泵浦)处于粒子数反转状态图 1.6 激光的产生示意图的激光介质。只有这样,才能产生激光。这些受激发射的光子又去激发其它原子,一个变两个、两个变四个、四个变八个、,产生连锁反应,光强被雪崩似地放大。因而产生强烈的激光。通常是在激光介质的两端各放置一个反射镜来组成谐振腔,以形成光学反馈。它的作用是将那些沿介质长轴发射的光子反射回介质中。两个反射镜中的一个被有意作成可以透过一个很小百分比的光强(在激光器中被称为前镜,相应的另外一个反射镜被称为后镜) ,这就是激光输出(见图
8、1.6) 。1.2 激光器原理1.2.1 Nd: YAG 激光器原理Nd: YAG 激光器是固态晶体激光器的一种,它采用 Nd: YAG 晶体棒作激光介质。Nd: YAG 晶体是将激光介质钕(Nd)原子掺在生晶体钇铝石榴石(YAG)中,Nd 原子在 YAG 中的最佳含量约为总重量的 1。所以,Nd: YAG 晶体的全称是掺钕钇铝石榴石晶体。Nd: YAG 晶体一般被制作成棒状,这种材料的制作是很困难的,且价格昂贵。但由于它具有良好的光学性能、机械性能和热学性能,所以是高功率激光器的最佳选材之一。激光打标机原理55之所以采用氪灯作为激励用的泵浦源,因为它可以发出波长为 0.73m和 0.8m 的
9、光线,用这一波长的光来激励 Nd 原子是最为有效的。将 Nd: YAG 晶体棒与氪灯并排放置在一个椭圆型的光学腔内,光学腔的内表面形状是经过精心设计的,以便保证氪灯发出的泵浦光能够全部聚集到 Nd: YAG 晶体棒的中心轴上。由一个反射率为 100的反射镜作后镜,前镜的反射率为精心设计的 90(透过率为 10) ,它们共同组成光学谐振腔,以实现光学谐振。Nd(钕)原子的能量转移过程分为四步(在图 1.7 中对这一过程有详细图 1.7 Nd: YAG 激光器原理图的描述),第一步:Nd 原子在氪灯发出的波长为 0.73m 和 0.8m 泵浦光的激励下,处于基态的 Nd 原子跃迁到两个上能级中的一
10、个,原子在这里的上能级寿命非常短,大约只有 10-7 秒,这里称这一能级为激发态;第二步:原子在激发态迅速地进行一次无发射的跃迁,到达另一个上能级,原子在这里的上能级寿命较长,大约为 10-4 秒,这一能级称为亚稳态,原子在这里形成粒子数反转;第三步:当原子在这里受激而跃迁到达下能级时,就会发射出波长为 1.06m 的光子,这就是激光;第四步:原子在这里再发生一次无发射的跃迁到达基态,准备重复上述过程。1.2.2 CO2激光器原理CO2是三原子结构的线性分子,它有三种振动方式,如图 1.8 所示。激光打标机原理66第一种叫做对称振动(如图 1.8a 所示) ,其对应的振动能量叫做对称振动能量,
11、其能级相应地称为对称振动能级。第二种叫做反对称振动(如图 1.8b所示) ,其对应的振动能量叫做反对称振动能量,其能级相应地被称为反对称振动能级。第三种叫做形变振动,又叫弯曲振动(如图 1.8c 及 c,所示) ,这种振动有上下、前后两种形式,这种振动的能量叫做形变振动能量,能级被称为形变振动能级。图 1.8 CO2分子的振动方式CO2分子有几个上能级,其中只有一个上能级在跃迁时可以产生波长为 10.6m 的激光,我们不妨把这一能级叫做激光能级(属于反对称振动能级) 。由于 CO2分子的上能级寿命长,而且 CO2激光器的激光能级与基态靠得很近,从而使它有高的效率、低的激励能量,并且很容易获得并
12、积聚大量的受激分子,从而得到高功率、高效率的激光器。建立 CO2激光器能级间粒子数反转,把分子激发到高能级,一般有以下几个基本过程:电子直接激励:放电中具有一定动能的电子同处于基态的 CO2分子碰撞,把分子从基态直接激发到激光能级。串级跃迁:处于比激光能级更高的其它反对称上能级也和基态能级有联系,因此动能较高的电子和基态的 CO2分子相碰撞时,也能把分子激发到这些能级上去,在这些能级上的分子很容易跃迁到激光能级上来,这是因为它们都是反对称振动能级,而激光能级又是其中最低的一个。在较高能级的分子激光打标机原理77是不稳定的,它们总是力图向较低能级跃迁,因此在激光能级就会积聚大量的粒子,这就是所谓
13、串级跃迁。谐振碰撞:处于更高反对称振动能级上的分子还可以通过与基态 CO2分子的碰撞,把能量交给后者使其激发到激光能级,而自己成为低一级的反对称振动能级分子。这一类碰撞是谐振的,发生的几率很大,对增加激光能级的粒子数有很大的贡献。复合过程:在 CO2分子放电过程中,有部分 CO2分子分解为 CO 和O,同时也存在部分 CO 和 O 复合成 CO2分子的过程,在它们复合时会把原来分解时吸收的能量放出,因此复合而成的 CO2分子就会被这部分能量激发到激光能级。以上这四种基本过程是 CO2分子被激发到激光能级去的四条途径。另外,为实现粒子数反转以便产生受激辐射,还必须抽空下能级。CO2激光器按激励方
14、式可分为横向激励激光器、气动激光器、化学激励激光器、射频激励激光器,等等。激光打标机原理88第二章 激光打标机的种类一般地说,激光打标机是在计算机的控制下,使被打标的工件与激光束产生受控相对运动,激光束就会在工件表面烧蚀出需要的符号和图案。显然,产生这种相对运动可以有两种方式:一种是激光束固定,工件运动;还有一种是工件固定,激光束运动。对于前一种方式,一般采用两维机械数控(或计算机控制)工作台拖动被打标工件,工件在工作台的拖动下按照事先设计好的轨迹运动,在固定不动的激光束的烧蚀作用下,工件表面就会留下永久的痕迹(见图 2.1) 。这种打标方式我们称之为“工作台式” 。采用这种方式的打标机最大的
15、优点是:图 2.1 “工作台式”激光打标机的原理示意图价格相对低廉,但受机械运动机构设计的限制打标速度慢,很难进行精细文字及图案的打标(若要实现精细打标,价格低廉的优点将不复存在,且非常困难) ,更无法对照片进行打标。对于后一种方式,常用的有两种方法:利用两个联动的光学反射镜,使激光束发生偏折。激光器射出的激光束照在第一面反射镜上,在水平方向折射 90后照射在第二反射镜上,第二反射镜使激光束向下反射通过聚焦透镜后在工件表面聚焦,该透镜与第二反射镜是固定在一起的。第一反射镜沿激光器的轴线运动,运动时带动第二反射镜,第二反射镜沿反射后的激光束运动,这两个运动受计算机控制。这两个运动聚焦镜头反射镜驱
16、动马达驱动马达X向Y向工作台面 计算机激光器激光打标机原理99的合成就是事先要求的标记图样的轨迹(见图 2.2) 。这种打标方式我们称之为“绘图仪式” ,因为它的工作方式类似于笔式绘图仪。又由于在打标过程中,两个反射镜带着激光束做大范围的运动,就象激光束在飞来飞去,所以又有人称之为“飞行光学式”打标机。与“工作台式”激光打标机相比,它的运动机构变得轻巧,构造更加简单,但由于在打标过程中激光光束的光程是不断变化的,最终作用在工件表面的光斑质量难以一致。这种形式的激光打标机在不降低激光光斑能量密度的情况下,打标范围容易做得很大,但图 2.2 “绘图仪式”激光打标机原理示意图难以对精细图案进行打标,打标速度较慢。利用振镜扫描器使激光束发生偏转及运动。由激光器射出的激光束顺序投射到第一、第二振镜扫描器上,它们分别使激光束在平面的 X、Y 两个方向上扫描,在计算机的控制下,激光束经聚焦透镜聚焦后就会在平面上扫描出所要求的图案(见图 2.3) 。这种打标方式我们称之为“振镜扫描式” ,它的最大优点是打标速度快,打标精细,可以处理各种精细文字、图案