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1、薄膜材料及其制备技术试题材料科学与工程学院 2012 级研究生1， 在 T=291K 时，水的表面张力系数（或表面能） ，10.73Nms-=，如果水滴半径 ，请计算此时的蒸汽压6318.01vmola-=81r-（用 表示）以及水滴内外压强差 。 （10 分）p pD2， 设 T 温度下的过饱和蒸气压为 ，该温度下的饱和蒸气蒸气为 。试证明：pp过饱和气体发生凝聚时，凝聚体单位体积自由能变化为 ln(/)BVkTGvaD=-（v 为凝聚体单个原子或分子的体积） 。 （10 分）3， 试从微观键能的观点证明：描述浸润问题的 Young 方程 cosLVSVLq=-可以近似写作 （其中， 为单位
2、面积的液相原子之间的键2cosLLSuq=Lu能； 为固-液界面上单位面积的固 -液原子之间的键能） 。 （10 分）LS4， 请论述真空度对成膜质量的影响。 （10 分）5， 衬底温度（即生长温度）是如何影响薄膜生长模式的？（10 分）6， 论述晶格失配（既失配应力）与薄膜生长模式的关系。 （10 分）7， 论述衬底表面对形核难易程度：凹面平面 凸面。即凹面处最容易形核，而凸面处最难形核。 （10 分）8， 试解释层状生长（即二维成核）机理与 Step-flow 生长机理，并进一步论证高温时薄膜倾向于 step-flow 生长。 （10 分）9， 自行查找文献，举例说明一至二种薄膜生长的原位观测或检测手段。 （10 分）10， 自行查找文献，阐述一至二种薄膜生长技术及其特点，并举例讲述其具体制备薄膜的实例及成膜质量。 （10 分）
