ESECHS操作与维修指导

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1、1一一 概概述述2007 HS是一台技术先进,高精度的设备。与 2006 HR 相比,在硬件上它可支持 8 WAFER 生产,Bondarm 机构的优化则允许其高速运转,以提高 UPH;而在软件上则已是高度的计算机控制模式,具备一高容量的硬盘用以存储各种 Device 相应的参数等,为以后再次生产相同产品时简化了操作。可以说 2007 HS 就是一台由电脑控制的终端设备,与 2006 HR 的单板机操作模式,在理念上已完全不同。但同时也应看到,2007 HS 其各部分的硬件等并未脱离 2006 HR的结构模式,只是在局部作了些改进,使其在稳定性,精确性以及自动化方面有了较大,以适合高速运转的条

2、件。因此,各部分的基本控制,调节等与 2006 HR 相比大致相同;仅仅在操作的途径上,各参数的名称上有些许不同,这也是为了适应其计算机控制模式的要求。当然,除此之外,2007 HS 还有一些功能是 2006 HR 所不具备的。但总的来说都是为了便于操作和维修,以及设备的管理。在这里,仅对 2007 HS 的操作与维修提供一些简单的指导,同时,为了在一开始便能让大家建立与 2006 HR 的联系,因此在以下的叙述中会以 2006 HR 作为参考。2二二 Menu 概概述述要操作一台设备,首先是通过 Menu 来进行的。因此,了解 2007 HS 与 2006 HR Menu 之间的不同与联系可

3、以加速对其的理解与认识。2006 HR 其 Menu 与控制都集成在一 Terminal 上;而 2007 HS 的Menu 则专门用处于设备右上方的 Master monitor 来显示,其控制则有三种途径:Production keyboard/Pc compatiable keyboard/Mouse。除了中间的 Keyboard 较少使用外,前、后两者的使用较多也较为方便迅速。为了方便叙述,下面列出两者的 Top menu 来作一比较。2006 HRTop menu:Mode: ready control: LOCAL level: 0 master : on ready commun

4、ic : on ready waferhandl : on ready pick+place : on ready indexer : on readyRECIPE DEBUG CONFIG START PROD COM MANUAL SETUP STATISTIC 2007 HSTop menu:ESEC Convert Assist Messages Teach Install Main Equipment mode = ready Current recipe name = 8SOP BCCRun 1 Stopwafer Run 1 Run 1 Run 1 Run 1 RunRun ch

5、ip LF-device leadframe magazine complete 通过比较可以发现,两者的联系大致如下:mode: Equipment mode: 都是用来指示设备的状态。分别有 waiting for INIT、ready、RUNNING(或3Processing)三种状态。Level: 0 Main皆用来指示当前为 Top menu。而前者随着进入各层级 menu 就会显示相应的层级数; 后者的 Sub-menu 则是叠加在 Main menu 上,无相应的层级指示。START Run 在这里再简单介绍一 些 MENU 的使用以及控制计算机硬件方面的问题.4.1 DEBUG

6、 MENUS2007 HS 的 TROUBLE SHOOTING 主要是用位于 INSTALL MENU 下的 DEBUG MENU 来进 行, 它的作用是非常广泛和强大的. 通过仔细地观察记录和征兆, 包括任何 ALARM 或 HINT MESSAGE, 通过 DEBUG MENU 和使用 HELP 功能来进行检查,问题产生的原因就可以确立,并且解决的方法也能做到较为可 靠.合适.4.1.1 Sensors系统有大量的 SENSORS, 它们是根据各自设计的功能,在 COVERED 或 NOT COVERED 时 发生作用.INIT SENSORS 在初始化期间由控制计算机使用来确认各个 M

7、ODULES 是否可用. 例如,依次操作各 MODULES, 控制计算机首先检查 INIT SENSOR 是否 COVERED, 如果 COVERED, 则驱动该 MODULE 直到该 SENSOR 变为 NOT COVERED, 然后停下,以相反的 方向驱动直至 INIT SENSOR 再次 COVERED, 这检查了该 MODULE 是否以合适的速度和正 确的方向顺畅自如地运动.4.1.2 RUN IN该功能允许系统, 或个别 MODULES 可以连续地 RUN, 这对于一个刚安装的新的 ITEM, 或 遇到一个间隙性的问题时是非常有用的. EQUIPMENT RUN IN MENU 可允

8、许系统的所有部分同时 RUN; 而各个 MODULES 可以在 其各自属有的 MENUS 里进行 RUN. 联合 INSTALL/DEFINE MODULES 和 INSTALL / ACTIVATE MODULES MENUS 来使用 RUN 功能可以允许单独的某个部分作 RUN. 例如将 LEADFRAME HANDING MODULE 不起动, 则仅有 PICK 如果将这些 BOARDS 互换, 则必须用ESEC DIE BONDER 2007 SYSTEM-DISK 和创建的 BACKUP DISKS 来重新装载系统软件. 有五块 INPUT/OUTPUT CONTROLLERS (V

9、PIO56), 其中一块用于 PICK 而如果没有问题, 则说明该问题在别处.29五五 安安全全在最后,特别提出在操作和维修的过程中要注意的设备和人身的安全. 对于一般的运动部件以及电气危险,大部分人员都会有所警觉, 因此不须多加提醒. 问题在于, 由于 2007 HS 是高度的计算机控制, 内中已考虑到了人性化的智能设计, 这一点在变换各个 MENU 以及设置各位置参数时, 显得尤为突出. 例如, 从 ASSIST MENU (WAFER TABLE 处于 UNLOAD 状态) 回到 MAIN MENU 时, WAFER TABLE 会自动 DUMMY LOAD 并回到 ORIGIN POS

10、., 此时,手,工具等绝不能处于这 一区域;另外还是上面情况, 但是直接转换到 TECH/NEW MATERIAL/ PICK & PLACE MENU, 此时 WAFER TABLE 不会 DUMMY LOAD, 而 DIE EJECTOR 却会自动上升, 但显然会被 WAFER TABLE 挡住, 虽然不会对人身有何伤害,但对设备尤其是 DIE EJECTOR 部分会造成 较坏的影响. 这些都是由于软件根据操作者的意图自动执行某个部分的硬件到其准备状态而 造成的. 鉴于这种情况, MENU 之间的转换最好不要直接进行, 而是逐步关闭某个菜单,在逐 步进入需要的菜单, 除非你对这之间的转换后

11、果非常清楚, 且不会对设备和人身造成破坏和 损伤. 还有, 在有人在进行操作和维修时, 其他人员切勿操作 MOUSE 和 PRODUCTION KEYBOARD, 否则易对其造成不可预知的损害. 此外, 由于许多 SOFT KEYS 本身都具有互相切换的作用, 例如按以下 键, EXPANSION TABLE 就会上升, 再按一下就又会自动下降. 这种情况很多, 因此对于这种情况需要特别注意: 即在进行某次操作后, 就要将 MOUSE 光标移离该 SOFT KEY, 以免误操作.由于维修涉及的内容是非常繁复的, 在这里不可能叙述得很详细, 只有在实践中慢慢摸索, 本 指导只希望起到一个导入性的作用, 较为简单, 还望各位学员在学习和工作的过程中加以批 评指正.TOGGLE EXPANSION

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