太阳电池工艺文件

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1、太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件1太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件单晶硅片清洗工艺单晶硅片清洗工艺1. 插片： 1) 主要原材料：合格品单晶硅片 2) 工装、设备 承片盒 清洗花篮 3) 工艺过程（右手操作） 每个承片盒插片 25 片。插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。 然后，每个清洗花篮中放置 34 个插片后的承片盒。2. 超声清洗： 1) 主要原材料： 油污比较严重的硅片 清洗剂 自来水 2) 工装、设备 超声波清洗机承片盒 清洗花篮 3) 工艺过程（右手操作） 表面油污比较严重的硅片，需要在 25%清洗剂 40的水溶液中，利 用超声波震荡清洗 15min。清洗功率和超声频率根据使

2、用的设备调整。 清洗液可以反复使用。 经过清洗液超声的硅片，转移到清洗槽中，使用大量的自来水冲洗超 声后的硅片，直至无清洗液。3.3. 八槽清洗机清洗八槽清洗机清洗 1) 主要原材料： 清洁的硅片 NaOH 自来水太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件2NaSiO2 异丙醇 去离子水 2) 工装、设备 8 槽清洗机 承片盒 清洗花篮 3) 工艺过程（右手操作） 去除损伤层：8 槽清洗机中的第一槽，100g/L NaOH 80的自来水溶液， 腐蚀 5min。减薄量约 0.5g。 去除腐蚀液：8 槽清洗机中的第二槽，使用大量的自来水冲洗腐蚀后的 硅片，直至无碱液。约 2min。 腐蚀绒面：8 槽清洗机中

3、的第三、四、五和六槽，11g/L NaOH+7.5g/L NaSiO2+55g/L 异丙醇的去离子水溶液，80，腐蚀 2535min，腐蚀槽 保持盖严防止异丙醇散发。 去除腐蚀液（一）：8 槽清洗机中的第七槽，流动去离子水清洗，去除 碱腐蚀液。5min。 去除腐蚀液（二）：8 槽清洗机中的第八槽，流动去离子水清洗，去除 碱腐蚀液。5min。4.4. 六槽清洗机清洗六槽清洗机清洗 1) 主要原材料： 清洗的硅片 HFHN4F HCl 去离子水 2) 工装、设备 6 槽清洗机 承片盒 清洗花篮 3) 工艺过程（右手操作） 去除表面氧化层：6 槽清洗机中的第一槽，40g/L HF 加 5g/L HN

4、4F 去 离子水溶液， 5min，注意避光操作。 去除 HF 酸：6 槽清洗机中的第二槽，流动去离子水清洗，3min。 酸洗，去除重金属离子（一）：6 槽清洗机中的第三槽，100g/L HCl 去离子水溶液，5min。 酸洗，去除重金属离子（二）：6 槽清洗机中的第四槽，30g/L HCl 去太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件3离子水溶液，5min。 去除酸溶液：6 槽清洗机中的第五槽，流动去离子水清洗，3min。 喷淋：6 槽清洗机中的第六槽，去离子水喷淋 8min。5. 甩干： 1) 主要原材料： 清洗的硅片 2) 工装、设备 甩干机 承片盒 3) 工艺过程（右手操作） 将承片盒装入甩干机的

5、卡槽内，依据甩干机的操作说明甩干硅片。 将甩干后的硅片，连同承片盒一起送入密闭扩散间的转移窗口，等待 扩散。6. 绒面的检验： 1) 主要原材料： 甩干的硅片 2) 工装、设备 显微镜 3) 工艺过程（右手操作） 目视硅片表面呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点。显微镜下，金字塔 形貌均匀，金字塔的高度约为 35m。太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件48 槽清洗机的工艺条件 槽位12345678 时间5 min2 min40 min5 min5 min 溶液100g/L NaOH 80的自来水 溶液大量的 自来水11g/L NaOH+7.5g/L NaSiO2+55g/L 异丙醇 的去离子水溶液,80

6、去离子 水清洗去离子 水清洗目的去除损伤层去除腐 蚀液腐蚀绒面去除腐 蚀液去除腐 蚀液6 槽清洗机的工艺条件 槽位123456 时间5 min2 min5 min5 min3 min8 min 溶液40g/L HF+5 g/L HN4F 去 离子水溶液流动去 离子水 清洗100g/L HCl 去离 子水溶液30g/L HCl 去离 子水溶液去离子 水清洗去离子水 喷淋清洗目的去除表面氧 化层，避光去除腐 蚀液去除重金 属离子去除重金 属离子去除腐 蚀液精洗说明：每 12 小时更换一次腐蚀液。具体操作过程由现场工艺人员处理。太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件5多晶硅片清洗工艺多晶硅片清洗工艺1.

7、插片： 1) 主要原材料： 合格品多晶硅片 2) 工装、设备 承片盒 清洗花篮 3) 工艺过程（右手操作）每个承片盒插片 25 片。插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。 然后，每个清洗花篮中放置 34 个插片后的承片盒。2. 超声清洗： 1) 主要原材料： 油污比较严重的硅片 清洗剂 自来水 2) 工装、设备 超声清洗机 承片盒 清洗花篮 3) 工艺过程（右手操作） 表面油污比较严重的硅片，放置在超声清洗机的超声槽中，需要在 2 5%清洗剂 60的水溶液中，利用超声波震荡清洗 15min。清洗功率和超声频率根据使用的设备调整。清洗液可以反复使用。 经过清洗液超声的硅片，转移到清洗槽中，使

8、用大量的自来水冲洗超 声后的硅片，直至无清洗液。3. 八槽清洗机清洗八槽清洗机清洗去 1) 主要原材料： 清洗的硅片 NaOH 自来水 硝酸 HF 去离子水 2) 工装、设备 清洗槽太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件6承片盒 清洗花篮 3) 工艺过程（右手操作） 除损伤层：8 槽清洗机中的第一槽，100g/L NaOH 80的自来水溶液， 腐蚀 5min。减薄量约 0.5g。 去除腐蚀液（一）：8 槽清洗机中的第二槽，使用大量的自来水冲洗腐 蚀后的硅片，直至无碱液。约 2min。 去除腐蚀液（二）：8 槽清洗机中的第三槽，使用大量的自来水冲洗腐 蚀后的硅片，直至无碱液。约 2min。 酸腐蚀绒面

9、：8 槽清洗机中的第四、五、六槽，硝酸 15g/L，HF150g/L 的去离子水溶液,冷却 2530，腐蚀时间 1525min。 去除腐蚀液（一）：8 槽清洗机中的第七槽，流动去离子水清洗，去除 酸腐蚀液。5min。 去除腐蚀液（二）：8 槽清洗机中的第八槽，流动去离子水清洗，去除 酸腐蚀液。5min。4. 六槽清洗机清洗六槽清洗机清洗 1) 主要原材料： 清洗的硅片 HF HN4F HCl 去离子水 2) 工装、设备清洗槽 承片盒 清洗花篮 3) 工艺过程（右手操作） 去除表面氧化层：6 槽清洗机中的第一槽，40g/L HF+5g/L HN4F 去离子 水溶液，5min，注意避光操作。 去除

10、 HF 酸：6 槽清洗机中的第二槽，流动去离子水清洗，3min。 酸洗，去除重金属离子（一）：6 槽清洗机中的第三槽，100g/L HCl 去离子水溶液，5min。 酸洗，去除重金属离子（二）：6 槽清洗机中的第四槽，30g/L HCl 去 离子水溶液，5min。 去除酸溶液：6 槽清洗机中的第五槽，流动去离子水清洗，3min。 喷淋：6 槽清洗机中的第六槽，去离子水喷淋 8min。5. 甩干：太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件71) 主要原材料： 清洗的硅片 2) 工装、设备 甩干机 承片盒 3) 工艺过程（右手操作） 将承片盒装入甩干机的卡槽内，依据甩干机的说明操作甩干硅片。 将甩干后的硅片

11、，连同承片盒一起送入密闭扩散间的转移窗口，等待 扩散。6. 绒面的检验： 1) 主要原材料： 甩干的硅片 2) 工装、设备 显微镜 3) 工艺过程（右手操作） 目视硅片表面呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点，多晶晶界不明显。 显微镜下，金字塔形貌均匀，金字塔的高度约为 35 微米。太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件88 槽清洗机的工艺条件 槽位12345678 时间5 min2 min2 min1525 min5 min5 min 溶液100g/L NaOH 80的自来 水溶液大量的 自来水大量的 自来水硝酸 15g/L，HF150g/L 去 离子水溶液,冷却 2530。去离 子水 清洗去离 子水

12、清洗目的去除损伤层去除腐 蚀液去除腐 蚀液腐蚀绒面去除 腐蚀 液去除 腐蚀 液6 槽清洗机的工艺条件 槽位123456 时间5 min2 min5 min5 min3 min8 min 溶液40g/L HF + 5g/L HN4F 去离子水溶 液流动去 离子水 清洗100g/L HCl 去离 子水溶液30g/L HCl 去离子水 溶液去离子 水清洗去离子水 喷淋清洗目的去除表面氧 化层，避光去除腐 蚀液去除重金 属离子去除重金 属离子去除腐 蚀液精洗说明：每 12 小时更换一次腐蚀液。具体操作过程由现场工艺人员处理。太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件9清洗液浓度的检测和调整清洗液浓度的检测和调整

13、1氢氧化钠（NaOH）浓度的检测 a. 每隔 8 小时，对去除损伤的槽测量氢氧化钠浓度的变化。 b. 用塑料勺取少量氢氧化钠溶液，在玻璃量筒中准确量取 10mL 待测。将待测 溶液倒入玻璃锥形瓶中。量筒用少量清水清洗，第一遍的清洗液也倒入锥 形瓶中。 c. 向锥形瓶中加入 3 滴酚酞作为指示剂，此时氢氧化钠溶液呈红色。有时因 氢氧化钠溶液碱性过强使红色褪去，随着中和反应的进行，红色会中间恢 复。 d. 用已知浓度的盐酸标准溶液滴定待测氢氧化钠溶液至无色（滴定操作见 5） ， 记录所使用盐酸的体积。 e. 计算氢氧化钠溶液的浓度： 根据化学反应式： NaOH + HCl = NaCl + H2O

14、 可以得出：由此可以计算出氢氧化钠的浓度。2盐酸（HCl）浓度的检测 a. 每隔 8 小时，测量盐酸腐蚀槽溶液的浓度。 b. 在盐酸溶液中滴入酚酞指示剂后，应该仍然是无色透明。 c. 在盐酸溶液中再滴入氢氧化钠标准溶液，使其变为红色。 d. 具体方法参考氢氧化钠（NaOH）浓度的检测。3氢氟酸（HF）浓度的检测 a. 每隔 8 小时，测量氢氟酸溶液的浓度。测量过程严禁使用玻璃器皿，全部 使用塑料器皿。 b. 在氢氟酸溶液中滴入酚酞指示剂后，应该仍然是无色透明。 c. 在氢氟酸溶液中再滴入氢氧化钠标准溶液，使其变为红色。 d. 测量的具体方法参考氢氧化钠（NaOH）浓度的检测。4清洗液浓度的调整

15、 在生产过程中，清洗液的浓度会发生波动，在不影响电池片性能的前提下， 各槽清洗液的浓度允许有一定的变化范围。在测定清洗液的浓度之后，加入适 量的化学试剂，使清洗液的浓度保持在正常的范围。5滴定管的使用和滴定技术 a. 滴定管分为酸式和碱式两种。酸式滴定管的下部带有磨口玻璃活塞，用于 装酸性、氧化性和稀盐类溶液。碱式滴定管的下端用橡皮管与一个带尖嘴氢氧化钠浓度 氢氧化钠浓度氢氧化钠体积= 盐酸浓度 盐酸浓度盐酸体积太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件10的小玻璃管连接，橡皮管内有一个玻璃球用于控制溶液的流出速度。 b. 使用清洗干净的滴定管，确保不漏水，装入滴定液至 0 刻度以下，排除活 塞或橡皮管附近的气泡。 c. 注意滴定管的 0 刻度线在顶端，读数时应该从上往下读取。将滴定管下端 插入锥形瓶口约 1cm，右手操作活塞或者橡皮管，使滴定液缓慢滴入。左 手持锥形瓶不断摇动并注意观测颜色的变化。 d. 滴定至规定的要求，读取滴定管上的读数并记录。注意滴定管内的剩余溶 液不得少于最低刻度线。太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件11扩散工艺扩散工艺1插片： 1) 主要原材料： 甩干的硅片 N2 O2 三氯氧磷 2) 工装、设备 超净工作台 TEFLON 镊子 扩散炉 舟叉 扩散舟 四探针测试仪 不锈钢镊子 超净工作台 卸片盒 3) 工艺过程（右手操作） 插片：插片：清洗甩干后的