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1、真空技术真空技术相关的一些计算公式小流星 发表于 2009-5-8 20:48:43 标签(TAG)：真空技术 计算公式 1、玻义尔定律 体积 V，压强 P，PV常数 一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比 即 P1/P2V2/V1 2、盖吕萨克定律 当压强P不变时，一定质量的气体，其体积 V与绝对温度 T成正比： V1/V2T1/T2常数 当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或 P降低)1，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。 3、查理定律 当气体的体积 V保持不变，一定质量的气体，压强 P与其绝对温度 T成正比，即： P1/P2T1/T2 在一定的体积下，一
2、定质量的气体，温度每升高(或降低)1，它的压强比原来增加(或减少)1/273。 4、平均自由程： (510-3)/P (cm) 5、抽速： Sdv/dt (升/秒)或 SQ/P Q流量(托升/秒) P压强(托)V体积(升) t时间(秒) 6、通导： CQ/(P2-P1) (升/秒) 7、真空抽气时间： 对于从大气压到 1托抽气时间计算式： t8V/S (经验公式) V 为体积，S 为抽气速率，通常 t在 510分钟内选择。 8、维持泵选择：S 维S 前/109、扩散泵抽速估算： S3D2 (D直径 cm） 10、罗茨泵的前级抽速： S(0.10.2)S 罗 (l/s) 11、漏率： Q 漏V(
3、P2-P1)/(t2-t1) Q 漏系统漏率(mmHgl/s) V系统容积(l) P1真空泵停止时系统中压强(mmHg) P2真空室经过时间 t后达到的压强(mmHg) t压强从 P1升到 P2经过的时间(s) 12、粗抽泵的抽速选择： SQ1/P 预 (l/s) S=2.3Vlg(Pa/P 预)/t S机械泵有效抽速 Q1真空系统漏气率(托升/秒) P 预需要达到的预真空度(托) V真空系统容积(升) t达到 P预时所需要的时间 Pa大气压值(托） 13、前级泵抽速选择： 排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值
4、，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有： PnSgPgS 或 SgPgs/Pn Sg前级泵的有效抽速(l/s) Pn主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s) Pg真空室最高工作压强(托) S主泵工作时在 Pg时的有效抽速。(l/s) 14、扩散泵抽速计算公式： SQ/P(Kn)/(Pt)(升/秒) 式中：S被试泵的抽气速率(l/s) n滴管内油柱上升格数(格) t油柱上升 n格所需要的时间(秒) P在泵口附近测得的压强(托) K滴管系数(托升/秒) KV0(L/n)(0/m)+PaVt 其中 V0滴管和真空胶管的原始容积(升) L滴管刻度部分的长度(mm) n滴管刻度部分的格数(格) 0油的比重(克/厘米 3) m汞的比重(克/厘米 3) Pa当地大气压强(托) Vt滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格) 15、旋片真空泵的几何抽速计算公式： SZnLKv(D2-d2)/(24104) (l/s) 式中：Z 为旋片数，n 为转速(转/分)，L 为泵腔长度，D 为泵腔直径，d 为转子直径(cm)，Kv 为容积利用系数(一般取 95)。 16、O 型橡胶槽深 B0.7D D 为橡胶直径，槽宽 C1.6B 17、方形橡胶槽深 B0.8A A 为方形橡胶边长，槽宽 C1.67B
