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1、浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q03-JS-36版本号：A/0 页码：第 1 页 共 7 页多晶炉操作规范生效日期：年月日1、 目的为正确、规范地操作多晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。2、 适用范围适用于 ALD-SCU400 型多晶炉的操作。3、 多晶炉操作工艺流程作业准备真空泵的检查多晶炉室清理硅料投炉抽空、检漏自动生产过程（熔料、结晶、退火、冷却、热态检漏、停炉）吊取硅锭硅锭冷却拆石墨护板4、 主要内容A. 作业准备a. 进入多晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。c. 取装碳纤维板及使用物品的不锈钢小车，并处理干净。d.
2、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、无尘纸、酒精、吸尘管、防尘口罩。e. 准备好吊钩碳纤维板和吊装硅锭的专用工具。f. 用毛巾将炉体从上到下搽拭一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。B. 真空泵的检查a. 每次开始生产前，派 1 个人前往泵房检查真空泵的水、电连接，确保无误。b. 观察罗茨泵和真空泵的油位，确保油位在观察窗 1/3 至 1/2 的位置。C. 多晶炉室清洗a. 炉腔的清洗安装1) 准备好清洗棒、无尘纸、酒精。2) 打开真空室泄气阀，使真空室达到常压，派 2 人去装料区接受装好料的坩埚。3) 等炉体内达到常压后，一般需要 3-5 分钟，由两到
3、三个人将炉盖打开，清理炉室。4) 在清洗棒上缠上沾有酒精的纸巾，清洗炉腔内壁的污物，直至确认无污物。注意不要将任何物品遗漏到炉体内。b. 碳纤维护板的清洁打开吸尘管道球阀，用吸尘管将炉腔内石墨纤维板和高纯石墨板上杂质吸干净，特别是纤维护板四个角的白色及黄色氧化物。c. 炉盖清洗1) 先用无尘纸擦洗内壁( 氧化物过多先用吸尘刷清理)。2) 用吸尘管将顶部加热器周围的氧化物清理干净，用特细型号的砂纸将顶部加热器的石磨棒轻轻打磨一遍（待定） 。3) 搽拭干净后，等待装料。D. 硅料投炉a. 交接硅料1) 接受硅料的两人到装料区与装料操作员进行交接，交接过程中应该有交接单并签字。2) 将装好料的坩埚及
4、石墨护板，用吊装工具吊运到待装的多晶炉旁等待装料。浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q03-JS-36版本号：A/0 页码：第 2 页 共 7 页多晶炉操作规范生效日期：年月日b. 投炉装料过程1) 装料时，由一人控制行车，两人在炉子两侧（南北侧）控制吊装夹具，一人在东侧指挥，夹具的操纵杆应在东南侧，由指挥者操作。硅料投炉过程中注意小心轻放，以防损坏顶部热电耦。2) 坩埚放置于炉膛中心，四侧加装碳纤维护板，放置完成后，用吸尘管将坩埚四周清理干净，两人同时将覆盖在坩埚上的塑料薄膜拿掉，其它人用蘸有酒精的无尘纸将炉盖与炉体接触的两个面，擦拭一遍。3) 合上炉盖，在炉盖合上后稍微将炉盖抬起 1-2
5、cm 再合上。c. 高温计的清洁1) 将顶部高温计的观察玻璃小心拆下，将真空密封圈里的玻璃小心取出，用蘸有酒精的无尘纸搽拭玻璃片，然后用干净的无尘纸再次搽拭，以保证表面清洁，放置于无尘纸上备用，再将真空密封圈搽拭干净，均匀的涂上一层薄薄的真空脂，按照密封圈在下，玻璃片在上的顺序，重新装好。2) 在底部高温计下侧垫张无尘纸，然后将底部高温计的观察玻璃拆下，同样用酒精和无尘纸将玻璃清理干净，在密封圈上涂上真空脂，重新安装好。3) 安装好后检测玻璃表面，需要保持清洁，否则将会影响生产，同时保证操作过程中不损坏玻璃片。E. 抽空、检漏a. 打开真空泵电源。b. 要求炉子漏气速率2mbarl/s，则可选
6、择再次进行抽空检漏，若仍不合格则打开真空室泄气阀，使真空室达到常压， ，检查顶底高温计，如无问题，打开炉盖重新清洁炉盖与炉体接触的两个面，再合上炉盖，重复 a、b，检漏合格进入加热熔料工序。如再次不合格报告维修人员处理。并进行相应记录。F. 自动控制生产过程整个生产过程主要是自动控制，操作工注意生产过程中的报警及参数记录，再者就是修改参数，修改的参数主要是熔料和结晶过程中的参数。报警主要包括两种情况：一种是生产过程中每个阶段的转换提示报警，只要正常切换后按 reset 键即可，另一种为生产过程中出现的设备异常情况，出现该情况时需要核实问题，及时处理，不能处理的问题尽快上报上级处理。a. 熔料过
7、程中功率在上升，但在熔料后期，顶部加热器的功率出现明显下降，一般出现在菜单的第九部，此时根据曲线更改参数，更改的依据是出现顶部加热器功率下降开始到开始结晶的时间控制在 90 分钟以上。b. 结晶过程中的第九部也需要进行参数修正，顶部高温计一般是稳定的，但在后期出现小的震荡波峰，然后温度开始下降，参数的修改依据是在出现波峰后将第九部再维持100 分钟。c. 退火过程是由电脑控制进行。d. 冷却过程是由电脑控制进行。e. 热态检漏、停炉是由电脑控制进行，检漏过程结束后即表示整个生产周期结束。当生产过程结束时，炉子会报警提示，此时只需点菜单泄压，泄压开始后G. 吊取多晶硅锭当生产过程结束时，炉子会报
8、警提示，此时只需点菜单泄压，泄压开始后等待 3 分钟以上，浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q03-JS-36版本号：A/0 页码：第 3 页 共 7 页多晶炉操作规范生效日期：年月日打开多晶炉顶盖，操作员工戴口罩和耐高温手套，使用工具将炉体内四块碳纤护板取出，然后用吊装工具将生产好的硅锭吊到专门冷却的区域进行冷却。同时需要用铁丝将硅锭固定，防止钼丝太脆而导致石墨护板损坏。卸完硅锭后准备清洁炉体、吊装硅料投炉，进行下一个周期。 H. 硅锭冷却硅锭在冷却区冷却，冷却 12 小时后，开始准备拆四侧护板。I. 拆石墨护板硅锭冷却到规定的温度后，需要拆下石墨护板，拆卸过程中最少需要 3 个人，保证石
9、墨护板不受损坏，同时将坩埚拆下来放入中转箱丢弃，将硅锭送品管部检测入库，将石墨护板送装料房接受，进行装料。J.5、 相关记录A. 多晶操作记录6、 附录A. 引操作时间 操作人浙江昱辉阳光能源有限公司功率开启 多晶操作记录表 功率关闭 坩埚编号 坩埚厂家 多晶炉编号原料名称 原料编号 电阻率重量（kg）型号喷涂人员烧结人员装料人员原料总重（kg） 母合金 型号电阻率重量（g）操作人抽空 时间 检漏 极限 漏速检测人员 一次 二次 三次 进水 出水 顶部 底部时间 状态压力 温度 压力 温度 温度 功率 温度 功率氩气 流量炉内 压力填写人 备注浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q03-JS-
10、36版本号：A/0 页码：第 4 页 共 7 页多晶炉操作规范生效日期：年月日浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q03-JS-36版本号：A/0 页码：第 5 页 共 7 页多晶炉操作规范生效日期：年月日进水 出水 顶部 底部时间 状态压力 温度 压力 温度 温度 功率 温度 功率氩气流量炉内压力填写人 备注浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q03-JS-36版本号：A/0 页码：第 6 页 共 7 页多晶炉操作规范生效日期：年月日抽空 检漏 极限 漏气速率检测人拆炉坩埚情况操作人硅锭编号 长 宽 高 重量铸锭情况：拆炉情况：器件更换：批 准 审 核 编 制修改履历页 码 内 容 状 态 备 注浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q03-JS-36版本号：A/0 页码：第 7 页 共 7 页多晶炉操作规范生效日期：年月日
