压电式加速度传感器

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1、压电式加速度传感器（1）压电式加速度计的结构和安装 压电式加速度传感器又称压电加速度计。它也属于惯性式传感器。它是利用某些物质如石英晶体的压电效应，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，则力的变化与被测加速度成正比。由于压电式传感器的输出电信号是微弱的电荷，而且传感器本身有很大内阻，故输出能量甚微，这给后接电路带来一定困难。 为此，通常把传感器信号先输到高输入阻抗的前置放大器。经过阻抗变换以后，方可用于一般的放大、检测电路将信号输给指示 仪表或记录器。目前，制造厂家已有把压电式加速度传感器与前置放大器集成在一起的产品，不仅方便了使用，而

2、且也大大降低了成本。 常用的压电式加速度计的结构形式如图所示。S 是弹簧，M是质块，B 是基座，P 是压电元件，R 是夹持环。图 1a 是中央安 装压缩型，压电元件质量块弹簧系统装在圆形中心支柱上，支柱与基座连接。这种结构有高的共振频率。然而基座 B 与测试对 象连接时，如果基座 B 有变形则将直接影响拾振器输出。此外，测试对象和环境温度变化将影响压电元件，并使预紧力发生变化， 易引起温度漂移。图1c 为三角剪切形，压电元件由夹持环将其夹牢在三角形中心柱上。加速度计感受轴向振动时，压电元件承 受切应力。这种结构对底座变形和温度变化有极好的隔离作用，有较高的共振频率和良好的线性。图 1b 为环形

3、剪切型，结构简单，能做成极小型、高共振频率的加速度计，环形质量块粘到装在中心支柱上的环形压电元件上。由于粘结剂会随温度增高而变 软，因此最高工作温度受到限制。 (a)中心安装压缩型 (b)环形剪切型 (c) 三角剪切型图 1 压电式加速度计 加速度计的使用上限频率取决于幅频曲线中的共振频率图（图 2）。一般小阻尼(z=0.1)的加速度计，上限频率若取为共振频率的 1/3，便可保证幅值误差低于 1dB（即12%）；若取为共振频率的 1/5，则可保证幅值误差小于 0.5dB（即 6%），相移小于 30。但共振频率与加速度计的固定状况有关，加速度计出厂时给出的幅频曲线是在刚性连接的固定情况下得到的。

4、实际使用的固定方法往往难于达到刚性连接，因而共振频率和使用上限频率都会有所下降。加速度计与试件的各种固定方法见 图 3。 其中图 3a 采用钢螺栓固定，是使共振频率能达到出厂共振频率的最好方法。螺栓不得全部拧入基座螺孔，以免引起基座 变形，影响加速度计的输出。在安装面上涂一层硅脂可增加不平整安装表面的连接可靠性。需要绝缘时可用绝缘螺栓和云母垫片来 固定加速度计（图 3b），但垫圈应尽量簿。用一层簿蜡把加速度计粘在试件平整表面上（图3c），也可用于低温（40以下）的场合。手持探针测振方法（图 3d）在多点测试时使用特别方便，但测量误差较大，重复性差，使用上限频率一般不高于 1000Hz。用专用永

5、久磁铁固定加速度计（图 3e），使用方便，多在低频测量中使用。此法也可使加速度计与试件绝缘。用硬性粘接螺栓（图 3f）或粘接剂（图 3g）的固定方法也长使用。某种典型的加速度计采用上述各种固定方法的共振频率分别约为：钢螺栓固定法 31kHz，云母垫片 28kHz，涂簿蜡层 29kHz，手持法 2kHz，永久磁铁固定法 7kHz。 （2）压电式加速度计的灵敏度 压电加速度计属发电型传感器，可把它看成电压源或电荷源，故灵敏度有电压灵敏度和 电荷灵敏度两种表示方法。前者是加速度计输出电压（mV）与所承受加速度之比；后者是加速度计输出电荷与所承受加速度之比。 加速度单位为 m/s2，但在振动图 2 压

6、电式加速度计的幅频特性曲线图 3 加速度计的固定方法测量中往往用标准重力加速度 g 作单位，1g= 9.80665m/s 2。这是一种已为大家所接受的表示方式，几乎所有 测振仪器都用 g 作为加速度单位并在仪器的板面上和说明书中标出。 对给定的压电材料而言，灵敏度随质量块的增大或压电元件的增多而增大。一般来说，加速度计尺寸越大 ，其固有频率越低。因此选用加速度计时应当权衡灵敏度和结构尺寸、附加质量的影响和频率响应特性之间的利弊。压电晶体加速度计的横向灵敏度表示它对横向（垂直于加速度计轴线）振动的敏感程度，横向灵敏度常以主灵敏度（即加速度计的电压灵敏度或电荷灵敏度）的百分比表示。一般在壳体上用小

7、红点标出最小横向灵敏度方向，一个优良的加速度计的横向灵敏度应小于主灵敏度的3。因此，压电式加速度计在测试时具有明显的方向性。（3）压电加速度计的前置放大器 压电元件受力后产生的电荷量极其微弱，这电荷使压电元件边界和接在边界上的导体充电 到电压 U=q/Ca（这里 Ca是加速度计的内电容）。要测定这样微弱的电荷（或电压）的关键是防止导线、测量电路和加速度计本身的电荷泄漏。换句话讲，压电加速度计所用的前置放大器应具有极高的输 入阻抗，把泄漏减少到测量准确度所要求的限度以内。压电式传感器的前置放大器有：电压放大器和电荷放大器。所用电压放大器就是高输入阻抗的比例放大 器。其电路比较简单，但输出受连接电

8、缆对地电容的影响，适用于一般振动测量。电荷放大器以电容作负反馈，使用中基本不受 电缆电容的影响。在电荷放大器中，通常用高质量的元、器件，输入阻抗高，但价格也比较贵。从压电式传感器的力学模型看，它具有“低通”特性，原可测量极低频的振动。但实际上由于低频尤其小振幅振动时，加速度 值小，传感器的灵敏度有限，因此输出的信号将很微弱，信噪比很低；另外电荷的泄漏，积分电路的漂移（用于测振动速度和位 移）、器件的噪声都是不可避免的，所以实际低频端也出现“截止频率”，约为 0.11Hz 左右。 随着电子技术的发展，目前大部分压电式加速度计在壳体内都集成放大器，由它来完成阻抗变换的功能。这类内装集成放大器 的加

9、速度计可使用长电缆而无衰减，并可直接与大多数通用的仪表、计算机等连接。一般采用 2 线制，即用 2 根电缆给传感器供给 210mA 的恒流电源，而输出信号也由这 2 根电缆输出，大大方便了现场的接线。表 1 为某厂家生产的压电式加速度计的参数表。 表 1 常用压电式加速度计的参数表型号 量程 灵敏度 分辨率 重量 应用及特点350B04 5000g 0.5mV/g 0.02g 4.5g适用于爆破、撞击等350B21 100000g 0.05mV/g 0.3g 4.4g适用于爆破、撞击、爆炸分离等351B03 150g 10mV/g 0.003g 10.5g可在-196的低温环境下工作352A

10、5g 1000mV/g 0.00004g 35g高分辨率型352C22 500g 10mV/g 0.0015g 0.5g微型，适用于小型结构352C65 50g 100mV/g 0.00016g 2g小型、高灵敏度、高分辨率，各种用途353B18 500g 10mV/g 0.005g 2g高频、小型、石英剪切，各种用途353B33 50g 100mV/g 0.0005g 27g三角剪切结构，石英通用加速度传感器353M255 2000g 2.5mV/g 0.04g 17.9g冲击传感器、内置滤波器，桩基检测355B03 500g 10mV/g 0.0005g 10g环型356B08 50g 1

11、00mV/g 0.0002g 20g轴、结构实验356A18 5g 1000mV/g 0.00006g 24g3 轴、高灵敏度356A40 10g 100mV/g 0.0002g 180g/片状 3 轴坐垫传感器，汽车实验356M41 500g 10mV/g 0.001g 4g/方形 3 轴、小型，模态、振动、噪声实验393C 5g 1V/g 0.0001g 1000g超低频地震传感器，长期稳定性良好393B31 0.5g 10V/g 0.000001g 635g超低频地震传感器，高灵敏度（4）压电式速度传感器 由于上述磁电式速度传感器存在响应频率范围小，机械运动部件容易损坏，传感器质量大造成附加质量大等缺点，近年发展了 压电式速度传感器，即在压电式加速度传感器的基础上，增加了积分电路，实现了速度输出。同样，这种传感器也全部实现了内置，具有替换磁电式速度传感器的趋向。