《氩气净化机使用说明书》由会员分享，可在线阅读，更多相关《氩气净化机使用说明书（9页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、1氩气净化机使用说明书产品名称：催化再生式氩气净化机规格型号： CZA-4C成都中科普瑞净化设备有限公司2目 录1. 设备正面图32. 设备用途和特点33. 工作原理.43.1 净化机的工作流程图 .43.2 部件说明 .44. 主要技术指标54.1 原料气体要求 .54.2 纯气技术指标 .54.3 设备技术参数 .55. 设备安装56. 操作方法.66.1 吸附塔选择 .66.2 开机 .66.3 停机 .66.4 再生 .67. 注意事项.78. 气体净化机的故障和排除.89. CZA-4C 电器原理图931. 设备正面图 IIIII I II2. 设备用途和特点CZA4C 型氩气净化机
2、能把普通纯氩净化后得到高纯氩。高纯氩气广泛应用于电子、冶金、机械、化工、原子能和光谱仪等产业部门和科学研究中，为其提供高纯度的工作气体。本机特点如下：1) 催化剂活性高，因此工作温度低，净化后的气体纯度高。2) 双式结构，一组工作另一组再生备用，故能长期连续供气。3) 采用本机纯气吹扫的再生流程，再生不用氢，故不需专用机房，安全性好。4) CZA4C 克服了老产品偶尔会产生“假断偶保护”使再生不能进行的缺点。5) CZA4C 对再生具有半自动功能，操作比老产品更简单。 43. 工作原理3.1 净化机的工作流程图 PIFA01AVF0101再再M12*.5GI0M12*.5GW0CC03QVF1
3、QVF2I2SR01SRZVFIAVF02再M12*.5GI0T01SF2C23.2 部件说明AVF01 原气进阀，C01 催化塔,SVF01 工作切换阀,QVF01 I 再生气出阀,QVF02 再生气出阀,C02 I 吸附塔,C03 吸附塔,SR01 I 塔高效过滤器 , SR02 塔高效过滤器，PI01 I 塔压力表，PI02塔压力表,FI01 再生气流速计,TFV01 再生气调节阀（装在机内）,ZVF01 I 路止逆阀,ZVF02路止逆阀, SVF02 再生切换阀,AVF02 纯气出阀。原料氩气经原气进阀 AVF01 进入催化塔 C01，原气中的 O2等杂质与催化塔中的高效催化剂（在 2
4、50左右）作用，转变成能被吸附塔吸附的物质。在 I 路工作的情况下，氩气经工作切换阀 SVF01 进人吸附塔 I C02（室温），H 2O、CO 2等杂质被吸附剂吸附后，经高效过滤器SR01 除去尘埃，然后经再生切换阀 SVF02、纯气出阀 AVF02 流出系统，即可输出高纯气体。在吸附塔 C02 工作的同时，可以对吸附塔 C03 进行再生，按下路再生按钮，系统5会自动对吸附塔进行加热，并自动打开相关阀门，纯气就会经对加热的吸附塔逆向吹扫，把脱附的杂质排出机外，达到再生的目的。当吸附塔吸附杂质较多时，只需将工作切换阀SVF01 转到吸附塔工作，将再生切换阀 SVF02 转到吸附塔再生状态，即可
5、对 I 吸附塔进行再生，即可实现系统的连续稳定运行。4. 主要技术指标4.1 原料气体要求本机原料氩气纯度99.9%；允许氧含量400PPm，水500PPm（即露点低于25），其他杂质100PPm。4.2 纯气技术指标纯气的最大输出能力 4Nm 3h纯气中杂质含量： O 21PPm露点-70， 即 H2O2PPmCO+CO20.1PPmS 的氧化物0.01PPm尘埃粒子： 0.3m 的固体颗粒物3.5 个/升（达到电子级水平） 。4.3 设备技术参数工作压力 0.8Mpa催化塔工作温度 210280吸附塔工作温度 室温；吸附塔再生温度 380420再生用氩气用量 0.6 L/min电源: 电压
6、 220V，工作时 0.6kw；再生时 1.6kw外型尺寸： 440mm560mm1220mm设备重量： 120Kg5. 设备安装1) 把本机的原气进口与气源，纯气出口与用气设备用不锈钢管（或紫铜管）分别连接起来，6并检查不漏。注意，连接处一定要加紫铜垫（已随机配备），才能保证不漏。2) 把催化塔温控设定在 250，吸附温控设定在 400，（出厂时己设定好，用户可再检查一下）。3) 请检查电源插座的相线、零线与本净化机插头的相线（L）、零线（N）是否一致。如果不一致，请改接一致后方可插入电源插座开机，否则会有烧坏净化机的危险。6. 操作方法6.1 吸附塔选择由于系统配备有两个吸附塔，采用一用一
7、备的模式设计，使用时需要选择一个未失效的吸附塔工作。同时将工作切换阀 SVF01、再生切换阀 SVF02 同时逆时针旋转到位，即选择路吸附塔（C02）工作，此时路吸附塔(C03)处于再生准备状态；同时将工作切换阀 SVF01、再生切换阀 SVF02 同时顺时针旋转到位，即选择路吸附塔（C03）工作，此时路吸附塔(C02)处于再生准备状态。6.2 开机加热催化塔：打开总电源 SA1 和催化加热开关 SA2，加热催化塔。通气：当催化塔的温度上升到工作温度，选择好吸附塔后，就可打开钢瓶总阀，原气进阀AVF01，待压力上升到所需工作压力后，再打开纯气出阀 AVF02，就可向用气点输出高纯气体。6.3
8、停机由于停机期间需要保持机内处于正压状态，故停机时需调节原气压力，使机内充以0.40.6MPa 的氩气，然后依次关断纯气出阀 AVF02、原气进阀 AVF01、气源总阀和电源SA2、SA1 等。6.4 再生当吸附塔经较长时间工作，吸附杂质接近饱和，但又还未完全饱和失效时，就应转换到吸附塔工作，并对吸附塔再生。操作方法如下：按下路再生按钮 SB1，系统就会自动打开再生气出阀 QVF01 和接通吸附塔再生加热7温控电源，塔会自动升温到设定的再生温度 400并恒温。再生时间一般约需 810 小时（出厂时己设定好）。当再生时间达到后，本机会自动停止再生。再生后的吸附塔需要冷却到室温后才能再次用于净化工
9、作。如果认为再生效果不好，可加长再生时间到 24 小时。再生时间可以自行设定（打开左侧门，在电器盒左侧操作）。再生流速出厂时已调整到黄线处，随着时间的推移，该流速可能会发生变化，在再生期间，用户可以观察流速计 FI01，如果偏移较大，就需要重新调节再生气调节阀 TVF01，确保流速稳定在黄线附近，该阀在机内，打开右边门就可以调节。当吸附塔工作时，按下路再生按钮 SB2，就可对吸附塔进行再生。7. 注意事项1) 催化塔未达到工作温度，切勿打开原气进阀 AVF01，否则会引起气体不纯。2) 本净化机采用一用一备设计，只能对备用塔进行再生，切勿对工作塔进行再生，否则会引起气体严重不纯。3) 一定要及
10、时切换工作切换阀 SVF01、再生切换阀 SVF02。要求在工作吸附塔还未完全饱和失效之前就要切换到备用塔工作，并对快要失效的塔进行再生。至于每个塔工作多长时间就需要再生，这与原气的杂质含量有关，由用户根据本地区气源情况，及使用中总结的经验来确定。4) 压力表只有再生时处于零，其它状态都要求高于 0.2MPa 的压力，如果有一路压力为零，而该路又没有处于再生状态，请打开有关阀门对其充气并注意进行气密性观察。5) 再生期间，再生用氩气都需要有一定的流速，流速要达到黄线附近，如果流速计流速低于黄线，可以调节相应的调节阀使其流量达到黄线以上。6) 工作切换阀 SVF01、再生切换阀 SVF02 一定
11、要同时顺时针或同时逆时针旋转，切忌交叉旋转，否则会引起气体的严重不纯。7) 不论是由何种误操作引起的气体不纯，都可用反复再生的方法把纯度提高。举例如下：第一天（上午）选 I 路系统工作，则对路系统进行再生，再生 810 小时后，本机自动结束再生冷却过夜。第二天（上午）路系统己冷却到60时，转换到路系统工作，对路系统再生。一般这样反复再生一两次就可使纯度达到要求。8) 若反复再生仍不能提高纯度，可能有以下两种原因。原料气中的杂质含量太高，超过了本机的允许量。请更换原气。催化剂耗尽，需停机检查。打开纯气阀，把机内的气体放空，当压力降为零后，打开催化塔上盖，用一根干净的铁丝探知催化剂还剩多少，8若低
12、于 1/2 时须加入新的催化剂。一般前两三年都不需要添加催化剂9) 再生时再生吸附塔的压力一定要降为零，如果不为零可能是再生气出阀没打开，应检修此阀。8. 气体净化机的故障和排除9. CZA-4C电 器原理图序号 故 障 检 查 排 除 措 施1电流为0，温度不升 查保险丝是否断 查电炉的加热丝和接头是否断 查温控仪（XMT）是否坏。先验证面板上另一个（XMT）是否正常，确信正常后，用正常的（XMT）更换可疑的（XMT）检查。 若、均正常，则肯定是可控硅损坏，更换即可。2 碳含量高切换到备用塔工作，用较大气流再生碳含量高的塔。3净化效果下降加长再生时间、例如再生 2448 小时4反复再生效果差考虑更换原料氩气
