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1、高真空光刻样品 CCD 显微观察装置2 观察系统工作原理阁 2 圮该装置的原砰。山光源发出的光线经集光镜会聚后由节反乍透棱镜分光后经聚光镜将载物台样品均匀地照呢样品的微细结构经局物镜成像放大油，像头接收兑摄取的像经明统照系析光镜置的尺寸布局要农为了真实地记录样品的结构状态，首先须考虑光源和照度的匹配的问，从色度学知道，物体的颜色与照明光源的光谱功率分布有关。光源的色温到 5000 民时，它发出的光就呈亮色，同时，40，160，1 波段力的光谱功率也将增大，这对改善系统的视色度很有益处因此。光源宜选目高色温的卤素灯以改善系统的色度特性。系统照明方式采用柯拉照明方式，这种照明方式具有自己的优点充分
2、利用光能，满足光孔转接原则；可安放可调的视场光阑，控制照明视场的大小，防止杂光进入，提高信噪比；照明均匀当入射角等于零的正反射方式照明时，显微物镜可以兼作聚光镜用。此时在物镜上方，以半透半反射镜分光由于不需要将灯丝成像在物镜上，为了简化结构，可将灯丝直接成像在镜框上，3.集光镜的设计应考虑到 1 很小，可增加进入照明系统的圯能，而+纟构决定，其原则足保正光源有利散热。根据灯丝的成像关系，可由几何光学成像公式求得集光镜的参数考虑装置的尺寸布局要求，取灯丝到物镜框趴离 1=200，物镜框口径=1=24.计，取灯丝尺卟2.1=2.4.则集光镜放大率，=22=2424=10 倍。由几何光学高斯公式计算
3、可以得到集光镜参数 1 数坑丑径。伉确定，=1 说微物镜物介质为攻时=，物镜可能具有最人的数饥孔径为所以=1 则 5，考虑到玻璃散射等的损失，实际取如=0.5，用角度如=30，由可得，集光镜的口径，方血=21.7 采用压圈固定，实际取 0，= 241 结构形式确定后，采用专业光学设计软件再进行进步的优化设计。3.2 聚光镜与显微物镜的设计与选取聚光镜的孔径角愈大，则光能愈强，以显微物镜兼作聚光镜，显微镜采用消色差平场物镜，能有效地消除色羌和场这两项系统中的光学畸变，物镜倍半。设计为倍，数值孔径为 1.25 3.3 摄像系乡冗采用其全自动功能以减少主观因素的千扰像采集卡采用北京中科院科技嘉公司开
4、发的基于，总线 76576，0 具有 23 以上享用时间，高精度高速度，适用于科学研究工业检测军事工业等。像采集后由计兑机进行旧伐的迸步的处理，也以通过通数据接口连接监视器以供观察使月 1.4 装置研制结果装置研制结果 4，物场采用直流供电的 2 娜卤钩灯作光源，经聚光镜后对待测样品均勾照明系统观察到换样室中掩模样片的照片 4 系统对，3 的线条己能清晰分辨，对 0.1 的线条也能分辨所用掩梭阁形的制作比例为 21.观测结果应为的数字乘 1 两倍实验明该光源工作稳定，可靠，亮度可手动自由调节，使用非常方便。而且该装置在初期实验中对摸索实验工艺参数方面起着非常重要的作甩 5 结束语原子光刻是微细加工技术领域项新兴的研究课结合实验进程中摸索各种实验工艺参数的具体要求，设计和制作了用于超高真空环境下光刻样品的观察装置。实验结果显，该装置具有较高的分辨力，获得的像清晰，而且操作使用方姐采用该装置可以迎过付实验结果的实时观察来优化实验的各项参数，对实验的顺利进行具有非常重要的意义 6 参考文献 3 张以谟。应用光学修订本旧。北京机械工业出版社，1982
