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1、1BLL-900G真 空 镀 膜 机 使 用 说 明丹阳市宝来利真空机电有限公2目 录1.主要用途及使用范围2.主要规格及技术参数3.结构概述4.安装与测试5.使用与操作规程6.安全与维护31.主要用途及使用范围BLL-900G 型真空镀膜机由主机、控电柜,枪电源等部分组成。真空室采用不锈钢制造，外壁有不锈钢冷却水管。主机抽气系统后置便于拆装和维修。具有抽气时间短， 工作真空度高，重复生产周期短，工作稳定等优点。本设备适用于镀制各种光学簿膜和电学膜的多用途设备。如宽窄带滤光片、析光膜、高反膜，增透膜等。是有关工厂、大专院校和研究所进行批量生产和科研的理想设备。2.主要规格及技术参数2.1 真空
2、室尺寸： 90010002.2 极限压力： 310 -4pa23 恢复真空抽气时间： 从 1105 pa 至310-3 pa15min2.4 工件旋转： 上旋转公自转，公转速度 030 转可调。2.5 工件烘烤 1; 3 组 4X1 KW 碘钨灯下 加温。工件烘烤 2; 3 组 3PX3KW 碘钨灯下加温。2.6120 霍尔离子源2.7 电子束蒸发源：双枪头单电源 10 KW 电子枪 42.8 抽气系统2.10.1 2X-15 机械泵 抽速 15 升/ 秒2.10.2 2X-70 机械泵 抽速 70 升 /秒2.10.3 ZJP-300 罗茨泵 抽速 300 升/秒2.10.4 KT-600
3、扩散泵 抽速 14000 升/秒2.9 冷却水压：0.150.25Mpa2.10 气压 : 0.50.6 Mpa2.11 总功率: 40 KW3.结构概述1.真空室采用前开门，门上有三个观察窗，观察窗是 12厚钢化玻璃，外配防辐射玻璃。真空室底板上左右安装电子枪 2 只及引入电子枪高低压导线接柱共 4 只、2 套挡板机构、碘钨灯导线接柱共 6 只、工件旋转从顶部引入，内壁配保护板 2 套。2.真空系统由扩散泵（D/P） 、水冷阱、粗抽阀（R/V） 、高抽阀（H/V） 、主抽阀（M/V） 、进气阀（V/V） 、2x-15 维持泵（V/P） 、2x-70 机械泵（R/P） 、ZJ-300 罗茨泵（
4、M/P）以及真空管道组成，可手动或自动操作。53.进气阀与主抽阀、粗抽阀互锁，粗抽阀与高抽阀互锁。以防止误操作。4.电控柜操作有自动（AUTO）和手动（MANU）两种方式。具有水压（W/P ） 、气压（A/P）声光报警及保护功能。4.安装与测试4.1 将设备安装在工作位置上，机械泵（R/P）和罗茨泵（M/P）安装在主机的后方，控电柜安放在主机右侧。4.2 连接好各管道，并保证连接处真空密封性。4.3 按电气原理图，将主机与控电柜接好，并将所有电气开关处于关闭状态。4.4 用无水乙醇清洗真空室，拆下真空室顶部规管封头，换上热电偶和开封的电离规管。4.5 接通电源4.6 接通冷却水源4.7 接通气
5、源4.8 合上控电柜总开关，按下 ON 开机键。4.9 按以下步骤进行调试（手动操作方式）4.9.1 按下 V/P 键（维持泵） ，前级真空度稳定后，按下 D/P 键开扩散泵加热电源，待 60min 后扩散泵6进入工作状态；按下 R/P 键（机械泵） ，按下 R/V 键（粗抽阀）抽真空室待压力达到 5000 帕后，按下M/P 键（罗茨泵）使真空室压力达到 5 帕以后，关R/V 键（粗抽阀） ，按下 H/V 键（高抽阀） 、按下M/V 键（主抽阀）对真空室抽真空使压力达到 5*10-4帕，极限真空试验完成（在 24 小时内完成）4.9.2 恢复真空试验（接上步骤） ，关 M/V（主抽阀） ，关
6、M/P（罗茨泵） ，关 R/P（机械泵） ；开V/V（进气阀） ，让真空室充气完毕后关 V/V（进气阀） ；真空室暴露大气后可关门进行恢复真空试验。开 R/P（机械泵）开始记时，开 R/V（粗抽阀）抽真空室待压力达到 5000 帕后，开 M/P（罗茨泵）使真空室压力达到 5 帕以后，关 R/V（粗抽阀） ，开H/V（高抽阀） 、开 M/V（主抽阀）对真空室抽真空使压力至 3*10-3 帕，抽气时间20min 即恢复真空试验成功完成。5.使用与操作规程5.1 接通水源气源电源5.2 按下开机键（ON） ，开维持泵（V/P ） ，前级真空度稳定后，开（D/P）扩散泵加热电源，待 60min后（D/
7、P）扩散泵进入工作状态。75.3 开（V/V）进气阀，让真空室充气完毕后关（V/V）进气阀。5.4 打开真空室门，放入已清洁的被镀工件，在电子枪坩埚上加入镀膜材料，关上真空室门。5.5 开（ R/P）机械泵，开(R/V)粗抽阀抽真空室待压力达到 5000 帕后，开(M/P)罗茨泵，同时开工件转动并调整转速，并打开碘钨灯加温，真空室压力达到5 帕以后，关(R/V)粗抽阀，开(H/V) 高抽阀、开(M/V)主抽阀对真空室抽真空；。56 当真空室压力达到 510-3 pa 真空度时，开压强仪的控制开关给真空室充氩气，打开离子源清洗被镀工件，一般当真空退至 110-2 pa 左右时可打开电子枪蒸镀：开
8、扫描电源、开灯丝电源、开高压，操作手控合挡板使挡板置于蒸发源上方，选择好电子枪坩埚缓慢旋转手控合电位器，调节束流予熔膜料，予熔后打开挡板蒸发镀膜，观看膜厚控制仪走表，蒸发完毕后关束流调节电位器，关上挡板。操作手控合调换坩埚蒸镀下一种膜料按此步骤继续。蒸镀结束关电子枪高压、灯丝、扫描电源，关碘钨灯，延迟 3 分钟关离子源，关压强仪。85.7 保温 5 分钟左右后，关（M/V）主抽阀，关（H/V）高抽阀，关（M/p ）罗茨泵。关工件转动。开（V/V）进气阀让真空室充气完毕后及时关进气阀，打开真空室门取出被镀工件。5.8 需要进行下次镀膜时，重复 5.45.7 步骤。5.9 需要停止镀膜机工作时，关
9、（M/V）主抽阀，关（D/P）扩散泵加热，关（H/V）高抽阀，关（M/P）罗茨泵，关（R/P）机械泵，待（D/P）扩散泵冷却下来，关（V/P）维持泵，关水源气源电源。也可按 OFF 键，镀膜机将会在 1 小时后自动关机。6.安全与维护6.1 保持设备所需正常工作环境，温度不应高于 40 ，相对湿度不得大于 80%，冷却水进水温度不得高于 25 ，水压不得低于 0.25MPa ，进出水不得低于 0.1MPa 给气压力 0.50.6 MPa。水气压力不够镀膜机会自动停止工作。6.2 电控柜、主机,枪电源柜都应 25MM 铜线良好接地，以保护操作者人身安全。6.3 要每班经常清洁真空室，避免镀膜材料
10、沉积污染影响正常生产和责量。6.3.1 保护套板勤更换清洗，保持真空室内清洁。96.3.2 高低压接线柱，碘钨灯接线部位，电子枪枪头应避免镀膜材料沉积.6.3.3 经常检查转动夹具自转是否正常，及时拆下不自转的夹具更换轴承，避免不自转的夹具损坏轨道盘。6.4 镀膜机在正常工作时，决不允许断水、停气、停电。如突然停电，要关闭各电气开关，强制通水冷却各个泵，避免泵过热。6.5D/P 泵经较长时间（46 个月）使用或其他原因造成泵油氧化会失效，致使高真空抽速明显下降时，则需换油。6.6 机械泵定期检查和换油，第 1 次使用 1 个月后换油，第 2 次使用 3 个月后换油, 第 3 次使用 6 个月后换油, 以后定期加油。6.7 罗茨泵定期检查和加油。6.8 非专业人员不要打开主机电控柜枪电源座盖板，防止电击！6.9 各配套产品请仔细阅读各自的使用说明书。地址：丹阳市北二环 48 号电话：0511-6577721 传真：0511-657771810
