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工艺设备清单序号 设备名称一 外延、芯片生产线1 MOCVD（ GaN）2 气柜3 尾气处理器4 毒气探测器5 泄漏探测器（检漏仪）6 X-Ray7 脉冲测试仪8 霍尔测试仪9 标准化显微镜10 原子显微镜11 探针台及电流-电压测试仪12 光刻机13 甩胶台14 显影台15 湿法操作台16 旋转式脱水机17 电子束蒸发台18 ICP 刻蚀机19 快速退火炉20 PECVD21 清洗台22 热蒸发器23 研磨&抛光 M/C（套）24 划片机25 裂片机26 扩片机27 测试仪28 分类仪29 晶圆装配台30 高放大倍数显微镜序号 设备名称31 低放大倍数显微镜32 测量台阶测厚仪33 专用工作台34 可靠性测试设备35 夹具及盒子（套）二 芯片封装生产线1 管芯安放机2 自动引线键合机3 荧光粉涂敷设备4 划片机5 测试机6 编带机7 清洗机8 塑封压机9 模具10 点胶机11 自动切割设备三 照明模组及灯具生产线1 灯具组装生产线（1）2 灯具组装生产线（2）3 机装流水线4 电装机装线5 老练线6 车床7 喷漆设备8 计算机9 光谱测试系统10 灯具测光系统11 晶体管参数测试仪12 脉冲信号源13 数字示波器.14 数字电流表序号 设备名称15 数字电压表16 功率因数测试仪17 高低温实验箱18 直流电源19 综合测试台20 充电架
