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2、 i Ro a d ,g q u a n hC edu , Sie hu a n ,F10 100 , hC in a )A bs t r a c t : Dis e er te de v ie e p a e ka g in g 15 o n e o f the ba s is a n d the pio n e e r o f m ie r o e le e tor n ie te e h n o lo.An o v e r a ll er v ie w o f the m a in de v e lo p m e n t o f t e e hn o lo g y a n d p or
3、du e tio n s fo r s e m ie o n du e t o r dis e er te de -v ie e pa e ka gin g 15 m a de in this p a p e r . T he bu s in e s s a n d m a r ke t de v e lo pin g tr e n d fo r the s e de v ie e s a er de -s e r ibe d t o o .K e y w o r d s : Se m ie o n du e t o r P a e ka g inDis e er t e D e v ie e
4、8sq-W3,M7,、q?+5,B5T=0q,vq、Q、o、.2、2V91oT。Bt583/Xsq/,Ts,、q7,9KUJC7#S0#E7,s8,SPs8B,xs8P?2006M7A,S=Btv7S4#1p。#sF1p,#XsqE|,Vq-h,#s3。sq#,jT#oo,90#/ 10,aP c B。#o#-41o,#oBBK,V5U#oo。#o,SEw10 %#l|sq,lV5#oosC)gB%TT“P CB!T( m n ) 1 ( n H )Oh (f?OO(/ W)5 0B8 1. 6 1 . 5 l l l 8o50B8 1 0 . 8 10 l5oP w e r Pa k 0 .
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