光学表面的光散射测量方法

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1、 22 82008M 8常熟理工学院学报(自然科学)JournalofChangshu Institute ofTechnology(NaturalSciences)Vo.l 22No. 8Aug., 2008; V ; Z E侯海虹( 0 S , null 215500)K null 1 : 光学表面的光散射测量方法为目前测量光学元件表面散射特性的一种主要技术,主要包括角分辨测量法和总积分测量法.本文对上述两种测量方法的基本原理和实验装置进行了系统的阐述,并对两种方法进行了比较分析.最后讨论了散射测量方法发展的趋势.1 o M : 测量方法; 光学表面; 粗糙度 m s | : TH744n

2、ull3null null D S M : Anull null c I | : 1008- 2794( 2008) 08- 0046- 05null null l : 2008- 03- 21null null : 8 n 1 S ( ky200684).null null T e : Z (1976null ),o , , 0 S = ,p V , Z _ :; V . Y ; V Y ; q V + B 1 S ,Y , ) . . ; / f ? Z # 5 v ,; q V Y # ; s R 1 ,X ; q + $ 1 o 5 B 1- 13. ; ; Y V - ? Z y /

3、 , / S v T ,P ; d X ; q V 1 m B . ,; V Z E 1 s O E 9 s E ,= s Y O S $ 14- 28.1null s O E s O (AngleResolved Scattering, e ARS) E ; ; # s V Y 29- 35.B ; g V , _ Z _ Q ; ; s B o = , o = ; . V d ; H ,; 1 s _ Z _ .V Y , _ Z _ Q ; , ; . ; l t s ; , V d 9 ; s V ; Q 9 , V $ V Y . ARS ,Y ,; = T 180 360 ,V 7

4、 d = ; . B ? , | / + . , | l ,Y 1 M b v .N , , 9 1 s .m 1 B s O N 36.2null 9 s E 9 s (Total Integrated Scattering, e TIS) E , ; l v Y V 8 Z :; V ; Z E 47nullm 1null ARS U i m , s o l Y V Q ; c _ Q = 9 8 Q ; .S Y H q / y V K 8 d 9 + -( Z (RootMean Square, e RMS)Y null Q Z _ 9 s TIS W 1 ,V 7 P TISE B

5、V ( Z Y L Z E .null V r Tnull( null4 cos!0 ) TIS ( 1)V n , TIS Q 8 V ? 5 RMSY 1 .L = T , B ; F V , 4 Y s + , V ( Z Y V V 4 d 9 + .y N Y V V 9 s V Z L V RMSY ,i O V T V ; 1 S .TIS 1 .B Coblentz o 37, = C h a o , ; ; v o ,$ Y V ; Coblentz o ;6 B s o ,; l v V ,$ V _ Q Z _ * s ; s o l 38.m 2 U 9 s Coble

6、ntzo 37 ,V s Y - ,i V s Y m 2null Coblentzo 9 s ; , T ; ,V o S 193nmnull 10null6m.N V b 8 H q / 157nm o . V , HenullNe ; T ; , o 632null8nm. 2null 85 b W S = $ o ; $ Coblentzo l , $ q .48null (1 S ) 2008M; L v , , _ Q ; Y V Coblentzo ; d Q .m 3 U s o TIS U i m 38. HenullNe ; ? ; V W o h 30 V , $ s o =