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1、1,气体纯化技术,技术基于：,2,Purification,基于“FAB”模式纯化所有的大宗气体（N2、O2、Ar、He、和CAD） 可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到0.1ppb 产气流量范围从10M3/hr到3000M3/hr。 对大量的特气也能纯化。,3,Pure Gas Technologies,吹扫/柜式纯化器 点使用式纯化器 区域纯化器 大型纯化器,4,Bulk Gas Purification Technologies,材料及操作原则 杂质去除 应用,5,Materials,Getters: 均质金属（无支撑）：球状 锆、钒、钛 Supported Metals: 支撑性材料
2、、反应金属：球状 铜、镍、铂、保护性物质 Zeolites： 均质金属：球状、分子筛,6,Operation,纯化进程 1、催化氧化 2、物理吸收 3、化学吸收,7,催化氧化,催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物氧化CO2和H2O。 方法：催化器+加温+O2 保护性物质+铂，300400 ，富氧环境 反应过程： 2H2+O2=2H2O 2CO+1O2=2CO2 1CH4+2O2=1CO2+2H2O,8,催化氧化,N2/Ar,O2,CO,H2,CH4,CO2 H2O,H2O,CO2,CO2 H2O,Pd,Pd,O,O,O2,Pd,O,9,物理吸收,分子筛 优点： 1、能有效去除CO2与H2O（
3、不去除O2） 2、筒室温度可控 3、进程在高温下完全可逆 缺点： 1、常量普通,10,物理吸附,N2/Ar,O2,CO,H2,CH4,CO2,H2O,CO2,H2O,H2O,H2O,CO2,11,化学吸收,支撑性金属（吸收器）：铜、镍、等 优点： 1、金属能化学吸附O2、CO、H2 2、金属网格能物理吸附H2O与CO2 3、筒室温度可控 4、进程在高温下完全可逆：NiO+H2+加温=Ni+H2O 5、局部压力不会造成重大影响,12,化学吸附支撑性金属,N2/Ar,CO,H2,H2O,CO2,Ni,Ni,O,O2,Ni,O,O,Ni,Ni,13,化学吸收,捕获器：锆、钒、钛、等 优点： 1、化学
4、方式吸收N2、CH4、O2、H2O、CO、H2、CO2 2、筒室温度可控（低产量）或加热过程最优化 3、相对较高的产量 4、局部压力不会造成重大影响,14,化学吸附捕获器,He/Ar,H,Zr,Zr,O,O2,Zr,N,C,Zr,CO2/CO,N2,CH4,15,热扩散,表面杂质 扩散至大宗气体,300-400 0 C,16,氧气纯化工艺,催化床 吸附床,物理吸附,H2O,H2,CH4,CO,+O2,CO2+H2O,CO2,17,PS6装配图,18,仪表气体系统图,19,PS6,20,纯化器人机界面,STATUS 指示性的显示系统状态 TIME 为当前进行步骤计时 TEMP& PRESSURE
5、 指示性的显示当前的压力 温度 FLOW 当前进程气体流量数,21,人机界面按键,在任何界面下激活目录条 回到主界面 在任何界面下进入报警和警告界面 关闭报警声 提高/减低所需值 在多个文档中切换,22,人机界面操作,按下 后出现的界面： Restart：启动初纯化器，或者在 出现报警后取消报警并重启纯化器。 Details:深入显示当前系统的控制 点参数。 Alarms:激活报警界面，显示激活 的报警，警告及信息。 Events:激活历史事件表，显示最 多500条历史事件。,23,人机界面操作,按下 后的界面,24,人机界面操作,25,人机界面操作,26,故障处理,故障报警界面： 按下 后显示 的界面。,27,故障处理,当出现故障的时候STATUS信息会从System OK变到闪烁的Alarm、Warning信息。 ACCEPT:点击确认单个报警信息。 ALL：点击确认所有报警信息。 ACCEPT后的警报信息会显示为灰色 未ACCEPT得警报信息会显示为红色 信息代码：表示Alarm 表示Warning 气Fault Reporting.xml,28,结束,感谢大家！ FIN！ vampirctutor,
