光电检测技术 第一章 课件

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1、第1章 概述,掌握内容 光电检测系统的研究内容、基本构成、工作原理及基 本结构形式;调制和检测光特征参数及相应的基本方法。 理解内容 光的本质及相关知识;辐射度与光度学的基本概念。 了解内容 了解光电检测技术的优缺点;光电检测技术的展望,第1章 主要内容,1.1引言 1.2光电检测系统的基本构成和基本工作原理 1.3光电检测技术的现代发展,1.1 引言,一、光电检测技术的定义 光学与电子学技术相结合而产生的一门新兴检测技术,它是利用电子技术对光学信息进行检测,并进一步传递、储存、控制、计算和显示等。,二、光电检测技术的检测量 从原理上讲可以检测一切能够影响光量或光特性的非电量。 光量:光通量或

2、光强度 光特性:光波的幅值、频率、相位、偏振,三、光电检测技术的主要内容 光电检测技术的主要内容是通过光学系统把携带被测信息的非电量信息变换成便于接收的光学信息,然后用光电探测器将光学信息变换成电量,并进一步经电路放大、处理等,达到输出的目的。 信息变换技术和电信号处理技术。 信息变换技术:非电量变换成光学量 光学量变换成电量,1.2光电检测系统的基本构成和基本工作原理,一、几个光电检测实例 1、红外防盗报警系统,图11,2、激光外径扫描仪,图12 1旋转多面体 2半导体激光器 3透镜 4工件 5物镜 6光电器件,3、光弹性效应测力计,图13 1-白炽灯2-聚光镜3-滤光片4-减光楔5-分束镜

3、6-起偏振镜7-云母片8-测力元件9-检偏振镜10,12-光电池11-减光楔13-检流计,二、光电检测系统的构成框图 图14 光电检测系统框图,光是信息传递的媒介,它由光源产生。光源与照明光学系统一起获得测量所需的光载波,光载波与被测对象同时作用在光学系统上而将被测量载荷到光载波上,称为光学变换。光学变换是用各种调制的方法来实现的。光学变换后的光载波上载荷有各种被测信息,称为光信息。光信息经光电器件实现由光向电的信息转换,称为光电转换。然后被测信息就可用各种电信号处理的方法实现解调、滤波、整形、判向、细分等,或送到计算机进行进一步的运算,直接显示被测量或者存储或者去控制相应的装置。,光电检测系

4、统各部分的功能: (1)光源和照明光学系统 考虑光源的辐射功率、光谱范围、发光空间分布; 发出的光作为载波或者被测对象; 照明光学系统的分类,(2)被测对象及光学变换 光学变换:通过光学元件和光学系统把待测量转换为光参量 光学系统可以根据不同的光学性质、光学效应,其结构形式不同 光参量:光本质是电磁波,其参量有幅值、频率、相位、偏振态、传播方向等 (3)光信号的匹配处理 光信号的处理主要包括光信号的调制、变光度、光谱校正、光漫射,以及会聚、扩束、分束等。使用的光学器件可以是透镜、滤光片、光阑、光楔、棱镜、反射镜、光通量调制器、光栅等。,(4)光电转换 以光信号为媒质,以光电探测器为手段,将经过

5、待测量调制的光信号转换成电信号; 决定整个检测系统的灵敏度、精度、动态响应 ; 光电探测器,(5)电信号的放大与处理 主要实现两个功能: 实现对微弱信号的检测; 实现光源的稳定化 (6)存储、显示与控制系统,三、基本工作原理 光电检测系统是以光信息变换为基础的,把待测量通过光信号变换为电量来进行测量的。,(一)把待测量变换为光信息量 它是以光通量的大小来反映待检测量的大小。光电探测器的输出往往与入射到它的光敏面上的光通量成正比,所以,光电探测器的光电流大小可以反映出待检测量的大小,即光电流I是待检测信息量Q值的函数: I=f(Q) (1-1) 这是一种模拟量信息变换。,(二)把待检测量变换为光

6、信息脉冲 它是以光脉冲或条纹数的多少来反映待测量的大小,光电探测器的输出为低电平和高电平两个状态组成的一系列脉冲数字信息,这些数字信息量T是待测信息量Q的函数: T=f(Q) (1-2 ) 这是一种模/数信息转换。,四、基本结构形式 1、辐射式,图15 1、被测物体 2、会聚透镜 3、光电二极管,例:全辐射测温: 由斯忒藩玻尔兹曼(StefanBoltzman)定律可知,物体的全辐射出射度为: (11) 式中:比辐射率,对于某一物体值为常数 斯忒藩玻尔兹曼常数; T绝对温度。 在近距离测量时,可不考虑大气对辐射的吸收作用,则光电探测器输出的电压信号为: 式中为光电变换系数。将(11)代入上式得

7、: (12),2、反射式,图16 1、光源 2、被测物 3、光电探测器,测转速的例子: 轴转动一周,光电探测器4就获得一个由光源1发出的反射光的脉冲,此脉冲数就反映了轴的转速。,图17 1、光源 2、转轴 3、小平面镜 4、光电探测器,3、遮挡式,图18 1、光源 2、待检测物 3、光电探测器,4、透射式:根据工作原理不同又分为: (1)模拟量信息变换方式 (2)模/数信息变换方式,图19,图110,5、干涉式,图111 1光源 2透镜 3分束器 4反射镜 5待测物体 6光电探测器,6、衍射式,图112 衍射测量原理结构,2020/9/19,光电检测技术,26,五、基本方法 1.方法分类,20

8、20/9/19,光电检测技术,27,2.方法的选择 合理选择光学测量方法主要依据以下五点来综合考虑: 被测对象与被测量; 测量范围; 测量的灵敏度或精度; 经济性; 测量时的环境要求。,2020/9/19,光电检测技术,28,测量精度与测量灵敏度 选择测量方法的另一主要原则是灵敏度和要求的精度。右图是主要光学测量方法在尺寸上能达到的分辨率。而精度一般来说是测量分辨率的13倍。,2020/9/19,光电检测技术,29,测量的经济性与环境要求,表:主要光学测量方法的经济性和对环境的要求,方法选择小结,以上选择的依据是初步的,测量方法的最终确定应有具体设计方案,综合考虑以上各方面的因素。测量方法的确

9、定往往是测量是否取得成功的关键。,2020/9/19,光电检测技术,30,1.3 光电检测技术的现代发展,1.技术特色,2020/9/19,光电检测技术,31,2.技术现状(光学测量技术学科的组成),光学是这个基本体系中的原理基础,而精密机械、电子技术与计算机技术构成塔底三角形,是光学测量的支撑基础。,2020/9/19,光电检测技术,32,技术现状(光学测量技术主要原理分类),2020/9/19,光电检测技术,33,技术现状(光学测量系统的主要构成),2020/9/19,光电检测技术,34,光学测量技术发展趋势(原理上) 从主观光学发展成为客观光学,即用光电探测器取代人眼这个主观探测器,提高

10、了测量精度与效率; 用激光光源来取代常规光源,获得方向性极好的实际光线用于各种光学测量上; 从光机结合的模式向光机电算一体化的模式转换,实现测量与控制的一体化。,光学测量技术发展趋势(功能上) 从静态测量发展成为动态测量; 从逐点测量发展成为全场测量; 从低速度测量发展成快速的,具有存贮、记录功能的测量。,2020/9/19,光电检测技术,35,3.技术发展方向,亚微米级、纳米级的高精密光学测量方法首先得到优先发展;利用新的物理学原理和光电子学原理而产生的新的光学测量方法将不断出现; 以微细加工技术为基础的高精度、小尺寸、低成本的集成光学和其他微传感器将成为技术的主流方向,小型的、微型的非接触

11、式光学传感器以及微光学这类微结构系统将崭露头角; 半导体激光器(LD)及其阵列,光开关,光滤波器,光电探测阵列等新器件将在过程控制,在线测量与控制上得到广泛应用;,2020/9/19,光电检测技术,36,快速、高效的3D测量技术将取得突破,成为带存贮功能的全场动态测量仪器; 发展闭环式光学测试技术,实现光学测量与光学控制的一体化; 发展光学诊断和光学无损检测技术; 生物科学研究中的光探测越来越收到世界科技工作者的共同关注。,3.技术发展方向,非接触化、小型化、集成化、数字化、智能化,光电检测技术的优点: (1)非接触式检测。 (2)响应速度快。 (3)测量精度高。 (4)检测对象范围宽。 (5

12、)远距离、大量程。 (6)具有很强的信息处理和运算能力,可将复杂信息并行处理。 (7)寿命长。,光电检测技术的缺点: (1)由于光电检测系统中用到光学元件,容易被沾污,影响光信号的传输,必须采取措施,否则使用受限制。 (2)外界干扰光影响大。背景光及外干扰光的影响使信噪比变差,但可采取措施减至最小。 (3)使用温度范围小,不能用在高温。,补 充 知 识,1.4 光的本质 1.5 光在介质表面的反射和折射 1.6 光与物质的相互作用 1.7 光的干涉、衍射和偏振 1.8 辐射度的基本物理量 1.9 光度的基本物理量,1.4 光的本质 光是电磁波 具有波、粒二象性,电磁波谱 10-14:宇宙射线

13、10-12:射线 10-10: x 射线 10-7:紫外线 10-6:可见光3.8-77.8-7 10-5:红外线 10-4:毫米波 10-3:厘米波 10-2102: 无线电,光波,电磁波谱图,一、基本概念,1.光谱 可见光波长 0.38m0.78m 光速C=f. 紫外线 0.01m0.38m 具有荧光作用(荧光灯),生理作用(医用紫光灯) 光学玻璃 透射弱 石英玻璃 透射强 红外线 0.78m1000m 具有热辐射作用(人体保健) 近红外3m(人体辐射9.4m远红外内衣),2.色谱 在可见光范围内,由于波长的不同。而对视觉产生的颜色差异。(人眼的光谱) 0.380.4350.490.580

14、.600.650.78 紫 蓝 绿 黄 橙 红,3.光的单位 光强度:光源产生光的强弱。 频率为5401012 (0.555m)的单色光在给定方向上产生的辐射功率为1/680 W/Sr(球面度)定为光强度单位。称坎德拉cd 光通量:具有1cd均匀光源在一个球面内产生的光的辐射量,定为光通量单位 称流明lm 光照度:物体表面被光照亮的程度。1lm的光通量在1的平面上产生的照度,单位为勒克斯lx,1.5 光在介质表面的反射和折射 一、光在两透明介质分界面上的反射和折射 实质上是光波的电磁场与物质的相互作用, 反射光和折射光的传播方向与入射光入射角的关 系就是我们熟知的反射定律和折射定律。那么入 射

15、波、反射波和折射波的能量关系是与反射率(R) 和透射率(T)有关。,二、光在金属表面上的反射 (1)金属反射光的能力与金属包含的自由电子的密度有关 自由电子密度越大(电导率也越大),反射本领也越高 (2)对于同一种金属,入射光波长不同,反射率也不同 频率较低的红外辐射,主要对金属中的自由电子发生作用;频率较高的可见光和紫外辐射,也可以对金属中的束缚电子发生作用。(这时因为束缚电子本身的固有频率处在可见光和紫外辐射区)束缚电子使金属的反射能力降低,透射能力增大,呈现出非金属的光学性质。,(3)金属表面的反射率也与光的入射角有关 与电介质表面的反射不同,不论在什么角度下反射,金属都不能使反射光成为

16、全偏振。,1.6 光与物质的相互作用 光的吸收、色散和散射 一、光的吸收与色散 (1)导电介质和绝缘介质都可以引起光吸收现象。 (2)光的吸收是基于朗伯一比尔定律,用公式表示为: (1.11),式中:I为吸收后的光强度;I。是物质浓度为零(即不存在吸收物质)时的光强度;L为色皿(采样槽)的长度; 为吸收常数。用图可以表示为:,图15 朗伯比尔定律原理图,吸收系数 : (1)是波长的函数,这种函数关系称为吸收光谱;不同的材料吸收光谱完全不同。 (2)吸收系数与折射率有关,为: 式中, 称为吸收率或消光系数;消光系数和折射率都是波长的函数。,(3)色散定义:当某一介质的吸收系数 随波长不同而改变时,则光在该媒质中传播时,不同波长的光路将被散开。 表示介质折射率随波长变化的程度,用色散率表示:,二、光的散射 光在不均

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