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1、PECVD的安全,目录,SiH4（硅烷） NH3（氨气） CF4（四氟化碳） N2 （氮气） O2 （氧气） 安全注意事项,硅烷SiH4,危险性概述 爆炸危险：易燃，暴露在空气中能自燃。 健康危害：吸入硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗，严重者面色苍白，脉搏微弱， 陷入半昏迷状态。脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅，必要时进行人工呼吸，就医。,泄漏应急处理: 迅速撤离泄漏污染区，人员至上风处，并隔离至气体散去，切断气源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般消防防护服，切断气源，喷洒雾状水稀释、抽排(室内)或强力通风(室外)。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相
2、连的通风橱内，漏气容器不能再用，且要经过技术处理，以除去可能剩下的气体。,危险性概述 爆炸危险：易燃，能与空气混合形成爆炸性气体，遇明火及高热会燃烧、爆炸。 健康危害：低浓度氨对粘膜有刺激作用，高浓度可造成组织溶解坏死。,氨气NH3,急性中毒：轻度者出现眼泪、咽痛、声音嘶哑、咳嗽、咯痰等，眼结膜、鼻粘膜、咽部充血、水肿、胸部X线症象符合支气管炎或支气管周围炎。中度中毒：上述症状加重，出现呼吸困难、胸部X线症象符合肺炎或间质性肺炎，严重者可发生中毒性肺水肿，或有呼吸道窘迫综合症，患者剧烈咳嗽，咯大量粉红色泡沫痰，呼吸窘迫，昏迷、休克，可发生喉头水肿或支气管粘膜坏死脱落窒息，高浓度NH3可引起反射
3、性呼吸停止。浓氨或高浓度氨可致眼灼伤，浓氨可致皮肤灼伤。,环境危害：对环境有严重危害，应特别注意对地表水、土壤、大气和饮用水的污染。 皮肤接触：立即脱去被污染的衣着，应用2%硼酸液或大量清水冲洗，就医。 眼睛接触： 立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底清洗，至少15分钟，就医。,灭火方法: 消防人员必须穿戴全身防火防毒服，切断气源，若不立即切断气源，则不允许熄灭正在燃烧的气体，喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。 灭火剂： 雾状水、抗溶性泡沫、二氧化碳、砂土.,氨气NH3,吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅，如呼吸困难，给输氧；如呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医。
4、危险特性：易燃，与空气混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧、爆炸，与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应，若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。,泄漏应急处理: 迅速撤离泄漏污染区，人员至上风向，并立即隔离150米，严格限制出入，切断火源，建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服，尽可能切断泄漏源，合理通风，加速扩散，高浓度泄漏区，喷含盐酸的喷雾水中和、稀释、溶解，构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如可能将残余气或漏出气体用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。储罐区最好设稀酸喷洒设施。漏气容器要妥善处理，修复，检验后再用。,四氟化碳 CF4,危险性概述 特性： 无色无臭气体。
5、不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。 危害： 能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。,急救措施： 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处.保持呼 吸道通畅.如呼吸困难,给输氧.如呼吸停止， 立即进行人工呼吸.就医.,个人防护措施： 呼吸系统防护： 一般不需特殊防护.高浓度接触 时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。 眼睛防护： 一般不需特殊防护。,身体防护：穿一般作业工作服。 手防护：戴一般作业防护手套 。 其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。,泄漏应急处理 : 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正
6、压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。,灭火方法： 本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。,个人防护措施： 呼吸系统防护：一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。 眼睛防护：一般不需特殊防护。 身体防护：穿一般作业工作服。,氮N2,手防护：戴一般作业防护手套。 其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。,泄漏应急处理 : 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业
7、工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。,灭火方法：本品不燃。用雾状水保持火场中容器冷却 急救措施: 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。,防护措施: 呼吸系统防护：一般不需特殊防护。当作业场所空气中氧气浓度低于18%时，必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具。眼睛防护：一般不需特殊防护。身体防护：穿一般作业工作服。手防护：戴一般作业防护手套。其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。,氧O2,健康危害: 侵入途径：吸入。,健康危害
8、： 常压下，当氧的浓度超过40%时，有可能发生氧中毒。吸入40%-60%的氧时，出现胸骨后不适感、轻咳，进而胸闷、胸骨后烧灼感和呼吸困难，咳嗽加剧；严重时可发生肺水肿，甚至出现呼吸窘迫综合征。吸入氧浓度在80%以上时，出现面部肌肉抽动、面色苍白、眩晕、心动过速、虚脱，继而全身强直性抽搐、昏迷、呼吸衰竭而死亡。长期处于氧分压为60-100kPa(相当于吸入氧浓度40%左右)的条件下可发生眼损害严重者可失明。,泄漏应急处理: 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。避免与可燃物或易燃物接触。尽可能切断泄漏源。合理通风
9、，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。,防护措施: 呼吸系统防护：一般不需特殊防护。 眼睛防护：一般不需特殊防护。 身体防护：穿一般作业工作服。 手防护：戴一般作业防护手套。 其它：避免高浓度吸入。,急救措施: 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸停止立即进行人工呼吸。就医。,灭火方法： 用水保持容器冷却，以防受热爆炸，急剧助长火势。迅速切断气源，用水喷淋保护切断气源的人员，然后根据着火原因选择适当灭火剂,PECVD安全注意事项,人身安全 舟和桨从炉管中出来后带有高温，移动小车时要注意不要被烫伤。 机器在自动运行状态下严禁进入机器内部。 进入机器前，需把选择开关打
10、到手动“HAND”，待机械手执行完命令停下后，方可进入机器。,清理管内碎片时需戴上高温手套和防护眼镜。 接触到碎片时，务必戴好乳胶手套，以防刺到手。 做吸笔时，要防止吸笔切断的部分对自己或他人造成伤害。 上班要精神饱满，动作严禁“自主创新”，必须按章操作,设备、 设施 、工夹具的安全 机器在生产的过程中需有人看护。 未经培训合格不得操作设备，未经授权严禁使用工序长的权限操作机器。 推小车进机器时，要首先确定电极孔的位置对内向炉体，否则有可能撞坏高频的两根电极。,在SLS处于UP位置时，管内有舟不可手动进桨。 在SLS处于DOWN位置时，桨上有舟不得手动进舟。,桨上有舟时，舟不在正确位置，不准切
11、换到自动运行状态。 舟位于储存架时，一定要确认储存架上的感应器有没有感应到。 遇到两舟相撞时，立即按压“HANDLING STOP”。,机械臂把舟抓到桨上后，工艺无法正常运行，先确定舟在桨上的位置，以及Tube=ready、SLS=up 、 TGA=yes，然后进行其它操作。 退舟时，发生警报，观察舟的位置是否正确后才可以对警报进行复位。,当发生舟桨分离时，立即按压“HANDLING STOP”。 清理管内碎片要注意热电偶，清理结束后一定要将热电偶放于管子的中间位置，否则进退舟时有可能被撞掉。,从手动切换到自动状态时，机械臂一定要在Middle的位置，否则机械臂有可能无法 运行而报警。 下料后
12、，及时把小车推到冷却房，小车解锁后严禁放置设备中不移走。 推小车时，不能脱离小车，要竖着推车，如果周围有人时应事先通知，待回应后方可继续推行。,进出舟时，待舟完全进入或者完全退出时，员工方可离开。 小车被锁定后，严禁转动小车托盘。 拿放石墨舟进出柜时，必须两个人，一个人拿舟，一个人开柜。,在无人的情况下，小车托盘必须保持水平状态 。 拿承载盒时（空），一只手只能拿两个。 卸片后，承载盒必须放入小车内，严禁放在小车盖子上。 出现事故，第一时间通知值班经理到场，且保留现场，绝不允许有隐瞒事故真相的事情发生。,产品安全： 进入机器需戴手套不允许手直接接触石墨舟和小车上的不锈钢网罩 从刻蚀间运片子时保证有片子的小车盖子盖好 拉到PECVD岗位后，需将片子放入洁净柜中,保证流到下道工序片子的质量 拿片子时，只允许一只手拿一盒 搬运木制承载盒时，双手要托住盒子底部,祝愿朋友们快乐生活、快乐工作！ 谢谢大家！,
