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1、RENA设备SOP操作流程,更换隔膜泵,1,制作:刘国柱 杨辉 审核: 2009.08.17-2009.08.22,首先设备停止进料，点击STOP键停止设备运行,2,以更换HNO3供液隔膜泵为例,点击MODE MANUAL进入手动模式,3,以更换HNO3供液隔膜泵为例,点击MANUAL进入手动操作界面,4,以更换HNO3供液隔膜泵为例,5,以更换HNO3供液隔膜泵为例,点击 etch bath，选择MODE MAN,然后按按钮” system draining把etch bath 的化学品排空,以更换HNO3供液隔膜泵为例,刻蚀槽以及tank冲洗，按下”system rinsing“冲洗（荧幕
2、的左边）.刻蚀槽以及 tank 将被充满水开始循环，这个过程可以设定冲洗的次数（参数第二参数，第三档位 ，位于荧幕的下边。之后将水排掉，刻蚀槽和tank将是空的（建议冲洗两次，每次循环10分钟）。,6,以更换HNO3供液隔膜泵为例,7,冲洗结束后来到外围酸房并防护用品穿好,以更换HNO3供液隔膜泵为例,8,先关闭药罐压缩空气总进气阀,以更换HNO3供液隔膜泵为例,9,然后关闭隔膜泵进药端阀门和隔膜泵出药端阀门，拆下隔膜泵与各阀门处的接头，压缩空气管接头,出药控制阀,进药控制阀,CDA接头,泵接口,泵接口,以更换HNO3供液隔膜泵为例,10,在拆下各零接头以后应该使用水枪对隔膜泵的外面和管道周边
3、进行清洗，以免药液的残留造成危险，更换新的隔膜泵，打开接头阀门及总压缩空气控制阀，并手动加液测试是否正常。,更换过程总结,11,因更换隔膜泵是危险工作，必须两人作业，全部穿戴防护用品，更换过程不可野蛮操作，拆开接头必须横向推离，不可上下晃动拔出，避免药液飞溅伤到自己及他人。清洗拆下的隔膜泵时也必须穿戴好防护用品，清洗过后，必须用事先准备好的防化袋包装好。 此泵更换过程是根据泵使用寿命提前更换，如泵未到使用寿命而出现故障，必须先判是否为断隔膜泵本身问题，再进行处理，是否需要更换。 判断过程： 1.首先确认外围药房是否有药液。 2.手动加液检查控制泵的电磁阀及气动阀是否工作。 3.检查控制控制压控是否正常。 4.检查外围控制液位SENSOR显示是否正常。,Thank You 谢谢,
