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1、（OA自动化）龙翩真空镀膜自动化手册(使用者)視窗版自動化鍍膜製程系統操作手冊使用單位：PreOptix編寫單位：永韶科技有限公司版權所有：永韶科技有限公司翻印必究編寫時間：200901/13版本：3.0視窗版自動化鍍膜製程系統目錄1.如何進入自動化鍍膜製程系統2.製程系統架構2.1檔案2.2硬體設定2.2功能測試2.3製程分析2.4製程監控2.5線上量測2.6其他功能3.鍍後檢視系統架構3.13.23.33.43.53.64.系統概要4.1系統特色4.2監控系統簡要1.如何進入自動化鍍膜製程系統:1.1開啟電腦進入視窗(Windows)作業系統後,點選桌面捷徑(須注意開啟路徑是否正確)即可開
2、啟畫面如下圖:注意：1)中間顯示圖框會出現兩次，第一次顯示，提示所載入之製程檔(*.tfc)，一般是上次最後一次進入之製程檔，提供操作者判斷所選擇之製程檔是否正確，不正確就需重選。2)按下OK會出現另一個提示圖框，顯示是否正確載入製程分析檔(*.mit)，若顯示無法讀取此檔資料，即可能上次新建立之製程檔時，沒有正確的分析及存檔，必需重新分析存檔，如此才能進入蒸著程序。3)再按下OK即可呈現下面圖示，此圖示即為此製程執行檔之主畫面。1.2Auto1執行檔若出現問題，無法正常關閉時，請使用Windows之工作管理員將auto1.exe關閉，再開啟Auto1即可。2.系統架構:此系統主要功能分為下列
3、七大項，將逐項說明。2.1檔案建立新製程檔、開啟已存製程檔、存檔及另存新檔2.2硬體設定電腦與硬體之連線設定如PLC，真空計，石英振盪等2.3功能測試細部製程相關硬體測試2.4製程分析製程檔案編輯、材料檔編輯及膜層分析2.5製程監控自動蒸著、補層蒸著、製程相關資料檔編輯及各顯示畫面2.6線上量測可將廣波域當光譜儀量測,暗電流校正及重新取光2.7其他功能計算nk值及膜厚微調PS:1)主功能或次功能出現反白時，表示此功能在此系統不提供或在此狀況下無法作動。2)主功能下方有訊息提示欄，顯示動作訊息，有助對系統動作的掌握與除錯。2.1檔案功能此主下拉功能細分下列幾項次功能2.1.1新製程檔2.1.2開
4、啟製程2.1.3存檔2.1.4另存新檔2.1.5英文顯示2.1.6中文顯示2.1.7離開2.1.1新製程檔：游標移至檔案，按下滑鼠左鍵，即呈現如上圖之畫面，選擇”新製程檔”,即可進入新製程檔設定畫面,如圖2.1-01，按一下”顯示資料”即呈現如圖2.1-02，在此畫面下即可進行編輯。圖2.1-01圖2.1-02PS:1)新製程檔名內定為NomeName.tfc，以前一次所開啓之檔案為樣板，建議另存新檔、更名後再進行編輯。2)如何編輯製程檔資料，詳細見後。2.1.2開啟製程：將游標移至”檔案”開啟製程”點選,即可出現如圖2.1-03之畫面。在此畫面下即可點選之前已存舊檔案，開啟舊檔後便可進行編輯
5、(副檔名為*.tfc)。圖2.1-032.1.3存檔：將游標移至”檔案”存檔”點選,即可進行檔案儲存,需注意檔案存檔路徑以及檔名，如下圖2.1-04、圖2.1-05。必須密碼正確才允許存檔。圖2.1-04圖2.1-052.1.4另存新檔：將游標移至”檔案”另存新檔”點選,即可出現如圖2.1-06之畫面，在檔案名稱位置上輸入所要儲存之名稱(不需輸入副檔名，系統會自動添加)，再按存檔鈕即可存檔。圖2.1-062.1.5英文顯示:可將系統顯示切換為英文顯示，如圖2.1-07圖2.1-072.1.6中文顯示可將系統顯示切換為中文顯示2.1.7離開:點選”檔案”離開”,即可關閉此系統。2.2硬體設定功能
6、此主下拉功能細分下列幾項次功能2.2.1主控PLC介面2.2.2真空計介面2.2.3石英振盪器介面2.2.4膜厚監控器介面2.2.5離子鎗流量控制器介面2.2.6離子鎗陰極控制器介面2.2.7離子鎗陽極控制器介面2.2.8D/AChannel設定電腦與各項硬體連線設定如圖2.2-01,每項皆有內定值。系統中若有某些功能項反白，表示此系統沒有此項硬體設備。圖2.2-01要點說明：1)硬體設定功能是電腦監控系統與被控制設備之間訊號傳輸設定，其設定與硬體連接線有密切的一對一關係。2)在此系統中，硬體設定介面有下列幾項：1.RS232或RS485傳輸介面，其傳輸埠位置是以COM命名，如PLCRS232
7、連接線插在PCCOM1上，其PLC傳輸設定埠就需選擇COM1的位置，以此類推，如石英振盪器介面、真空計介面、離子鎗控制器介面也是如此。2.膜厚控制器介面，一般指的是光學膜厚監視器3.D/AChannel設定，系統中之類比訊號控制通道，也是一對一關係。3)進入此項次功能，必須有通關密碼，如圖2.1-04*此項功能深具破壞性，非製程維修專業人員請勿設定*2.2.1主控PLC介面：將游標移至”硬體設定功能”主控PLC介面”點選,即出現通關密碼畫面，如圖2.1-04；若輸入正確密碼，即可出現如圖2.2-01之畫面，在此功能設定上，需設定二個參數-PLC型式、PLC傳輸埠。說明如下:1) 下拉列表點選P
8、LC型式，若無需此項功能或欲關閉此功能，則須點選”NONE”。2) 在傳輸埠列項中，點選與硬體相對應的傳輸埠設定3) 若確定無誤，需點按”確定”按鈕才能有效設定與離開，若無法確認或只是查看請按”取消”離開。4) 點按”內定值”可查看原始設定，只要不按”確認”就不會儲存。圖2.2-012.2.2其他傳輸埠介面：其他硬體如真空計、石英振盪器、離子鎗流量控制器、離子鎗陰極控制器或離子鎗陽極控制器，若是透過RS232或RS485傳輸埠控制，其硬體設定如同PLC介面設定一般。2.2.3 膜厚監控器介面：將游標移至”硬體設定功能”膜厚監控器介面”點選,即出現通關密碼畫面，如圖2.1-04；若輸入正確密碼，
9、即可出現如圖2.2-02之畫面。說明如下:1) 下拉列表點選膜厚監控器，若無需此項功能或欲關閉此功能，則須點選”NONE”。2) 若確定無誤，需點按”確定”按鈕才能有效設定與離開，若無法確認或只是查看請按”取消”離開。3) 點按”內定值”可查看原始設定，只要不按”確認”就不會儲存。圖2.2-022.2.4D/AChannel設定：將游標移至”硬體設定功能”D/AChannel設定”點選,即出現通關密碼畫面，如圖2.1-04；若輸入正確密碼，即可出現如圖2.2-03之畫面。說明如下:1) 系統中若需透過D/A(數位轉類比)卡之類比通道(Channel)控制之功能，必需由此畫面來選擇設定。2) 每
10、一功能項對應唯一通道編碼。3) 不同型態的鍍膜機，其透過D/A輸出的功能可能有所不同，顯示的畫面可能有別於圖2.2-03。4) 一般情況下，若各功能輸出控制沒問題，請勿任意更改通道設定，否則會產生誤動作，輕者製程不良，重者機械受損5) 若某一功能輸出有誤(一般是有設定，無輸出或全輸出)，可在功能測試的相關位置設定一個值，然後在相對應的硬體通道，利用三用電表量一量輸出。若是輸出正常，表示DA通道無誤，可能是後端接線有誤或後端設備有問題；若輸出不正常，表示此通道受損，就必須更換到其他未用之通道，記得軟體設定也必須更替到相關通道編碼，如此才能正常工作。若通道用完，無通道可換，就需送修。6) 若同時有
11、數個通道有誤，有可能卡沒插好或翹起，可試著打開電腦重新安裝(注意:務必關閉電腦電源)，若幾次尚不能解決，此卡就需考慮送修。7) 若確定無誤，需點按”OK”按鈕才能有效設定與離開，若無法確認或只是查看請按”Cancel”離開。圖2.2-03*PIOD/A(ISOD/A)其通道編碼與硬體接腳定義如下：D-TYPE37PIN:PIN:1-CH006-CH0411-CH0816-CH122-CH017-CH0512-CH0917-CH133-CH028-CH0613-CH1018-CH144-CH039-CH0714-CH1119-CH155-Com(GD)10-Com(GD)15-Com(GD)20
12、-Com(GD)2.3 功能測試此主下拉功能細分下列幾項次功能2.3.1氧流量控制測試2.3.2真空計功能測試2.3.3石英監控測試2.3.4PLC相關功能測試2.3.5廣波域介面功能測試2.3.6離子鎗相關功能測試圖2.3-01各項系統硬體功能測試如圖2.3-01所示,點選其中一項就可進入相對應之測試畫面，進而進行所需之功能測試。系統中，若有某些功能項反白，表示系統沒有此項硬體功能測試。如此做，方便使用者進行硬體功能除錯，提高系統維護之效益。2.3.1氧流量控制測試圖2.3-02將游標移至”功能測試”氧流量控制測試”點選,即出現如圖2.3-02之畫面。說明如下:1) 若腔體氧流量控制(APC
13、)是由PLCD/A模組輸出控制，而不是經由獨立D/A卡輸出控制，則此測試功能反白無效，將此測試功能併入PLC相關功能測試中。2) 其測試相當簡單，在設定框輸入所想輸出之流量，再點擊”輸出”按鈕即可。3) 若無法正常作動，其檢查步驟如下:1.D/A卡或D/A模組輸出是否正常，2.連接線是否脫落或斷離，3.流量控制器(MFC)是否正常。4) 測試前，務必打開氧氣瓶、流量閥、電磁閥，以免誤判5) “歸零”按下則流量輸出會歸零，若想離開此測試畫面，按下”退出”鈕即可。2.3.2真空計功能測試圖2.3-03將游標移至”功能測試”真空計功能測試”點選,即出現如圖2.3-03之畫面。說明如下:1) 若真空壓
14、力回授是來自PLCA/D模組，而不是來自獨立GaugeMonitor的話，則此測試功能反白無效，將此測試功能併入PLC相關功能測試中。2) 測試也相當簡單，祇要按下”擷取”鈕，若能持續擷取真空壓力值，就表示功能正常；若擷取停止，呈現當機現象或有警告對話框出現，就表示此功能無法正常工作，必需檢修。若要停止擷取按”停止”鈕即可，若要離開測試則按”退出”。3) 誠如2.2節要點說明所述，GaugeMonitor是透過RS232或RS485與電腦通訊，其故障點有三個部份:1.連接線是否脫落或內部斷線；2.PCCOMPORT故障；3.GaugeMonitor相關設定被更改或故障。檢測方法與步驟猶如上述PLC與電腦連線一般。2.3.3石英監控測試圖2.3-04將游標移至”功能測試”石英監控測試”點選,即出現如圖2.3-04之畫面。說明如下:1) 若此鍍膜系統沒有裝置石英振盪器，則此測試功能反白無效。此說明畫面是以SYCONSTM100為例，裝置不同的石英振盪器，會出現不同的測試畫面，但測試方法大同小異，
