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1、薄膜材料XRD衍射分析简介 杨宁博士XRD应用工程师德国布鲁克AXS有限公司北京代表处北京海淀区中关村南大街11号光大国信大厦5201室 邮编 100081电话 010 68486946 68486947服务热线 800 810 9066手机 13811952478传真 010 88417855email ning yang bruker 16 06 2020 2 薄膜材料的应用种类Applications1 metalconductorpaths Cu Al AlSiCu insulators SiO2 HfO2 insemiconductorsdiffusionbarriers Si3N4
2、 Ti TiN semiconductors SiGe GaAs InP activezonesinlasersandLEDs InGaN AlGaAs GaN hardcoatings TiN solarcellsa k aphotovoltaics CuInSe2 CdS CdTe organic magneticactivelayers CoPtCr piezoelectrics PMN PT PZT PLZT PbTiO3 opticalcoatings MgF2 electro optics PLZT PMN PT magnetostrictives FeGa fuelcells Y
3、SZ Gd CeO2 superconductors MgB2 YBa2Cu3O7 16 06 2020 3 electrolytesinbatteries LiPO3 oxideelectrodes SrRuO3 catalysts MOFs CeO2 coatings bathroomfixtures corrosionprevention communication bandgaptuning HEMTs quantumwells thermoelectrics Pb0 5Sn0 5Te energystorage ultracapacitorsusingmetalcarbides en
4、ergyharvesting energyconversion 薄膜材料的应用种类Applications1 16 06 2020 4 薄膜材料的定义 应该用什么样的仪器测量 所谓的薄膜材料就是厚度介于不到一个纳米到几个微米之间的单层或者多层材料薄膜材料可以是单晶 多晶甚至非晶态 薄膜材料的生长方式可以是溅射 外延 气相沉积 Organicmonolayer Nanoparticlesinmatrix Back end Semi Front endSiGe OxydeSemi Low koxides Coatings Magn storage LEDs DISCOVER ADVANCE Har
5、dtofindaguideline 16 06 2020 5 什么样的仪器适合薄膜材料 首先可以参考材料的结晶性 如果是单晶外延膜 我们只能考虑D8Discover 因为测量要求前置单色器 当然 几乎所有的薄膜材料都可以用D8DISCOVER来测量 如果是多晶薄膜 我们也可以考虑D8ADVANCE 16 06 2020 6 Restricitons Layerthickness 250nmforXRRSampledimensionsforallapplications BrukerConfidential 薄膜材料的研究方法及相关项目 High ResolutionX RayDiffracti
6、onthicknesslatticeparameterlatticemismatchcompositionstrain relaxationlateralstructuremosaicity crystallinity defects X RayReflectometry XRR layerthicknesscompositionroughnessdensityporosity ReciprocalSpaceMappinglatticeparameterlatticemismatchcompositionorientationrelaxationlateralstructure Stressa
7、ndTextureorientationdistributionorientationquantificationresidualstressepitaxialrelationship GrazingincidenceDiffraction GIXRD depthdependentinformationphaseidentificationlatticeparametermicrostructure size strain residualstress In PlaneGIXRDIP latticeparameterIP crystallitesizeIP orientationepitaxi
8、alrelation 16 06 2020 7 涂层材料 对于厚度几个微米或者接近微米的涂层材料 传统的BB衍射几何在大多数的情况下是可以满足要求的 BB几何可以实现最好的晶粒统计性和最简单的仪器设置 可以实现定性和定量相分析 结合TOPAS软件 我们还可以计算晶粒尺寸 很多情况 D2Phaser可以满足测量要求 如果样品有很强的择优取向 那么定量相分析 晶粒尺寸和微观应力会受到影响 如果样品衬底是单晶体 在BB几何中 我们可能会看到很强的衬底的衍射峰 而且很多来自光管的杂散信号 KBeta tubetails Niabsorptionedge Wlines 也可能被探测到 造成部分图谱无法使
9、用 16 06 2020 8 多晶薄膜材料和粉末的区别 受到薄膜材料厚度的限制 晶粒的统计性不会很好 这会造成衍射峰强度的偏差 从而影响例如定量分析之类的结果 所以大多数情况考虑掠入射衍射 GIXRD 薄膜材料产生择优取向的可能性比较大 薄膜材料在生长过程中易产生残余应力 薄膜材料易产生成分 物相和残余应力的梯度 16 06 2020 9 掠入射衍射 GIXRD 仪器硬件设置 GIXRD硬件要求多层膜反射镜产生平行光Goebelmirror可以调节样品高度的样品台长索拉狭缝 定义仪器的分辨率0维探测器 scintillationcounterorLynxEyein0Dmode D8ADVANC
10、EwithTWIN TWINoptics separatedopticmodulesalsowork 16 06 2020 10 GrazingincidencediffractionAg2Tethinfilmonglass Bragg Brentanogeometry Grazingincidencegeometry GIXRDemphasizesthesignaloftheAg2Tenanocrystallitesandtheglasssubstratesignalisreduced 16 06 2020 11 对称扫描和掠入射扫描的对比 16 06 2020 12 12 GIXRD 光斑
11、照射面积 d beamwidthL samplelength beamD illuminatedarea 光斑照射面积 掠入射的原理是使用平行光 GM 和小的入射角 同时增加衍射颗粒的数目和x射线在薄膜中的光程 入射角的选择取决于样品的长度 薄膜材料的密度和X射线的穿透深度 选定入射角后 在之后的数据扫描中保持不变 16 06 2020 13 13 GIXRD 数据采集 掠入射的扫描方式是探测器或2theta扫描 光管和样品保持不动 使用长索拉狭缝或者是平行光附件可以保证好的角度分辨率 同时使全部衍射信号被探测器接收到 索拉狭缝有多种选择 根据强度或分辨率的要求选择合适的狭缝 通常是强度高 分
12、辨率低 长索拉狭缝 平行附件 定义了仪器的分辨率D8 A250 1 0 2 0 3 0 4 D8 II 0 12 0 23 0 35 16 06 2020 14 掠入射衍射几何相的深度分布 IncidentangleTheta 0 2tofewdegrees XYZstage 16 06 2020 15 掠入射衍射几何相的深度分布 0 2度的入射角时 只有Mo层的衍射峰 增大入射角 下面YH2层的衍射峰也可以探测到 16 06 2020 16 普通GIXRD和面内GIXRD IP GIXRD 16 06 2020 17 面内GIXRD非共面几何 16 06 2020 18 XRRonSi Si
13、O2 Si反射率测量确定薄膜的厚度 LEPTOSresults100 3nmSiO214 7nmSi 16 06 2020 19 共面GIXRDonSi SiO2 Si TOPASresultsCubicSia 5 41285A9nm深度方向晶粒尺寸 16 06 2020 20 TOPASresultsCubicSia 5 41285A14nm面内晶粒尺寸 非共面GIXRDonSi SiO2 Si 16 06 2020 21 XRRonZrO2 Si反射率测量确定ZrO2薄膜的厚度 LEPTOSresults3 2nmZrO2 16 06 2020 22 共面GIXRDonZrO2 TOPAS
14、resultsTetragonalZrO2a 3 5658Ac 5 1614A3 4nm深度方向晶粒尺寸 16 06 2020 23 非共面GIXRDonZrO2 TOPASresultsTetragonalZrO2a 3 5994Ac 5 18424A30 4nm面内晶粒尺寸 16 06 2020 24 薄膜材料的残余应力分析多衍射晶面方法 multiple hkl approach 传统的sin2 方法测量残余应力是选择一个满足布拉格对称衍射的高角度单一的衍射晶面 同时改变样品的取向 侧倾或同倾 以改变衍射矢量方向 这在多晶粉末材料中有很好的应用 对于薄膜材料 这种方法很可能实效 因为高角
15、衍射峰的入射角大 薄膜衍射强度太低 对只有几十个纳米厚度的多晶薄膜 GIXRD是唯一可以满足衍射强度要求的方法 采用掠入射的几何 入射角不变 只做探测器扫描 不同衍射晶面的衍射矢量随着衍射峰位的变化而变化 其与样品表面法线的夹角也随之改变 这样就满足了应力测量的改变衍射矢量方向要求 而无需倾斜样品 hkl hkl 16 06 2020 25 薄膜的残余应力分析25nmTiN薄膜掠入射扫描Osbornite cubicTiN 16 06 2020 26 薄膜的残余应力分析入射和反射光的折射 入射和反射光在样品表面的折射造成测量的2 角比实际衍射晶面的2 Brhkl角偏大 2 hkl 2 2 Br
16、hkl where2 Brhkl t i MeasuringgeometryinGIXRDexperiment theangleofincidence t therefractionangle i theincidenceangleofthediffractedbeam 16 06 2020 27 薄膜的残余应力分析反射率测量确定厚度和全反射角 C 0 311 FromLeptosfit 25nmTiNlayer 16 06 2020 28 薄膜的残余应力分析数据处理 确定峰位 EvaluationofthepeakK 1position 16 06 2020 29 Peakshiftduetotherefractioneffect n 1 i wheresin2 c 2 and 4 薄膜的残余应力分析数据处理 峰位校正 16 06 2020 30 4 7 0 5GPa 薄膜的残余应力分析数据处理 计算应力 16 06 2020 31 1 2 mTiCrNonFe 薄膜的残余应力梯度分析GIXRD 改变入射角 多个数据综合分析 16 06 2020 32 1 2 mTiCrNonFe
