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1、ICS 71 100 20 G 86 中中 华华 人人 民民 共共 和和 国国 国国 家家 标标 准准 GB T 14851 XXXX 代替 GB T 14851 2009 电子特气 磷化氢 Electronic specialty gas Phosphine 点击此处添加与国际标准一致性程度的标识 征求意见稿 本稿完成日期 2020 4 15 XXXX XX XX 发布 XXXX XX XX 实施 国国 家家 市市 场场 监监 督督 管管 理理 总总 局局 中中 国国 国国 家家 标标 准准 化化 管管 理理 委委 员员 会会 发 布 GB T 14601 XXXX I 前 言 本文件依照
2、GB T 1 1 2020 标准化工作导则第 1 部分 标准化文件的结构和起草规则 给出的 规则起草 本文件代替 GB T 14851 2009 电子工业用气体 磷化氢 与 GB T 14851 2009 相比 除结构调 整和编辑性修改外主要技术变化如下 修改范围 见第 1 章 2009 年版的第 1 章 修改规范性引用文件 见第 2 章 2009 年版的第 2 章 增加术语和定义 见第 3 章 修改技术要求 见第 4 章 2009 年版的第 3 章 修改抽样 判定的要求 见 5 1 2009 年版的 4 1 修改氧 氩 氮 一氧化碳 二氧化碳 甲烷 其他碳氢化合物含量的测定方法 见 6 2
3、2009 年版的 4 4 修改金属元素及其他元素含量的测定方法 见 6 3 2009 年版的 4 6 修改水含量测定方法 见 6 4 2009 年版的 4 5 修改标志 包装 运输 储存和安全警示 见第 7 章 2009 年版的第 5 章 删除规范性附录 测定方法的内容 增加安全警示的内容 见附录 A 2009 年版的附录 A 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 SAC TC 203 提出并归口 本文件起草单位 本文件主要起草人 本文件所代替标准的历次版本发布情况为 GB T 14851 1995 GB T 14851 2009 GB T 14601 XXXX 1 电子特气 磷化氢
4、1范围 本文件规定了电子级磷化氢的技术要求 检验规则 试验方法 标志 包装 运输 储存及安全的 要求 本文件适用于亚磷酸热分解 磷化物水解 单质磷与水或碱反应等方法获得并经提纯制备的高纯磷 化氢 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款 其中 注日期的引用文件 仅该日期对应的版本适用于本文件 不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本 文件 GB 190危险货物包装标志 GB T 3723工业用化学产品采样安全通则 GB T 5099钢质无缝气瓶 GB T 5832 3气体中微量水分的测定 第3部分 光腔衰荡光谱法 GB T 7144气瓶
5、颜色标志 GB T 14193液化气体气瓶充装规定 GB 15258化学品安全标签编写规定 GB T 16804气瓶警示标签 GB T 28726气体分析 氦离子化气相色谱法 GB T 34972电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 TSG R0006气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例 2002年1月26日中华人民共和国国务院令第344号公布 2011年2月16日 国务院第144次常务会议修订通过 特种设备安全监察条例 2009版 中华人民共和国国务院令第549号 3术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义 4技术要求 磷化氢的技术要求应符合表1的规定 GB T
6、14601 XXXX 2 表 1技术要求 项目名称指标 磷化氢 PH3 纯度 10 2 体积分数 99 9999 99 99995 氧 氩 O2 Ar 含量 体积分数 l0 6 0 1 0 04 氮 N2 含量 体积分数 l0 6 0 1 0 1 一氧化碳 CO 含量 体积分数 l0 6 0 1 0 02 二氧化碳 CO2 含量 体积分数 l0 6 0 1 0 05 甲烷 CH4 含量 体积分数 l0 6 0 1 0 03 其他碳氢化合物含量 体积分数 l0 6 0 2 0 07 硅烷 SiH4 含量 体积分数 l0 6 0 05 0 03 砷化氢 AsH3 含量 体积分数 l0 6 0 1
7、0 03 硫化氢 H2S 含量 体积分数 l0 6 0 05 0 03 水 H2O 含量 体积分数 l0 6 0 1 0 1 金属元素及其他元素 供需双方协商 鍺烷 GeH4 供需双方协商 颗粒供需双方协商 5检验规则 5 1抽样 判定 磷化氢产品应逐一检验并验收 当检验结果有任何一项指标不符合本文件技术要求时 则判该产品 不合格 5 2采样 5 2 1磷化氢的采样安全应符合 GB T 3723 中的相关规定 5 3尾气处理 测定磷化氢中的杂质含量时 应有磷化氢尾气处理措施 以防止磷化氢对环境的污染 6试验方法 6 1磷化氢纯度 6 1 1磷化氢含量按 1 式计算 100 1 2 3 4 5
8、6 7 8 9 10 10 4 1 式中 磷化氢纯度 体积分数 10 2 1 氧 氩 含量 体积分数 10 6 2 氮含量 体积分数 10 6 GB T 14601 XXXX 3 3 一氧化碳含量 体积分数 10 6 4 二氧化碳含量 体积分数 10 6 5 甲烷含量 体积分数 10 6 6 其他碳氢化合物含量 体积分数 10 6 7 硅烷含量 体积分数 10 6 8 砷化氢含量 体积分数 10 6 9 硫化氢含量 体积分数 10 6 10 水含量 体积分数 10 6 6 2氧 氩 氮 一氧化碳 二氧化碳 甲烷 其他碳氢化合物 硅烷 砷化氢 硫化氢含量的测定 按GB T 28726规定的切割进
9、样的方法测定磷化氢中的氧 氩 氮 一氧化碳 二氧化碳 甲烷 其 他碳氢化合物 硅烷 砷化氢 硫化氢含量 预分离柱 长约 0 6m 内径约 2 mm 的 316 L 不锈钢管 内装粒径为 0 18 mm 0 25 mm 的 CST 一种改性碳分子筛 或其它等效色谱柱 色谱柱 色谱柱 长约2 m 内径2 mm的不锈钢管 内装粒径为0 18 mm 0 25 mm的5A分子筛 或其他等 效色谱柱 该柱用于测定氧 氩 氮 一氧化碳 甲烷含量 色谱柱 长约4 m 内径约2 mm的不锈钢管 内装粒径为0 18 mm 0 25 mm的Hayesep R 一种 高分子聚合物 或其他等效色谱柱 该柱用于测定二氧化
10、碳 硅烷 砷化氢含量 色谱柱 长约3 m 内径约2 mm的不锈钢管 内装粒径为0 18 mm 0 25 mm的Chromosorb 103 一 种硅藻土型担体 或其他等效色谱柱 该柱用于测定其他碳氢化合物中乙烷 乙烯 乙炔含量 色谱柱 长约 60 m 内径 0 32 mm 内涂聚 GASPRO 一种键合硅胶 的毛细柱 或其他等效色 谱柱 该柱用于测定硫化氢及剩余的其他碳氢化合物含量 标准样品 组分含量的体积分数为 1 5 10 6 平衡气为氦 允许采用其他等效的方法测定磷化氢中的氢 氧 氩 氮 一氧化碳 二氧化碳 甲烷 其他碳氢 化合物 硅烷 砷化氢 硫化氢含量 当测定结果有异议时 以本文件规
11、定的方法为仲裁方法 6 3水含量的测定 按GB T 5832 3的规定执行 允许采用其它等效的方法测定磷化氢中水分含量 当测定结果有异议 时 以GB T 5832 3规定的方法为仲裁方法 6 4金属元素及其他元素含量的测定 按照GB T 34972的规定执行 7标志 包装 运输 储存和安全警示 7 1标志 7 1 1磷化氢出厂时应有产品质量合格证 其内容至少应包括 产品名称 生产厂名称 危险化学品生产许可证编号 生产日期或批号 以及安全使用期或者失效日期 充装质量 kg 本文件号及技术指标 GB T 14601 XXXX 4 7 1 2包装容器上应涂刷 电子级磷化氢 字样 7 1 3磷化氢的包
12、装标志应符合 GB 190 的相关规定 颜色标志应符合 GB T 7144 的规定 标签应符合 GB 15258 GB T 16804 规定的要求 7 2包装 运输和储存 7 2 1包装磷化氢的气瓶应符合 GB T 5099 的规定 7 2 2磷化氢的充装及贮运应符合 TSG R0006 GB T 14193 危险化学品安全管理条例 和 特种 设备安全监察条例 的相关规定 7 2 3磷化氢的最大充装量按式 3 计算 VFm r 3 式中 m 气瓶内磷化氢的质量 单位为千克 kg Fr 磷化氢的充装系数 单位为千克每升 kg L V 气瓶标明的内容积 单位为升 L 7 2 4推荐使用进行内表面处
13、理的气瓶 处理后的气瓶应满足本文件的要求 瓶阀出气口连接方式推荐 使用 DISS 632 CGA350 高压气体瓶阀内应装限流孔板 7 2 5应防止泄漏和瓶口被污染 7 2 6用户返回的磷化氢钢瓶的残液量不宜低于充装量的 10 7 2 7磷化氢的保存期限不少于 24 个月 7 2 8磷化氢产品应存放在阴凉 干燥 通风的库房内 不应暴晒 远离热源 7 3安全警示 磷化氢的安全警示参见附录 A GB T 14601 XXXX 5 AA 附录A 资料性附录 安全警示 A 1基本信息 A 1 1名称 化学式 PH3 中文名 磷化氢 英文名 Phosphine A 1 2相对分子质量 33 997 28
14、 按2017年国际相对原子质量计算 A 1 3CAS编号 7803 51 2 A 1 4物理性质 沸点 87 74 熔点 133 78 气体密度1 408Kg m 3 21 1 101 325 kPa A 1 5爆炸极限 1 6 98 A 2毒性说明 A 2 1半数致死浓度 大鼠吸入LC50 4h 为 10 10 6 体积分数 A 2 2最高容许浓度 0 3 mg m 3 注 最高容许浓度是指在一个工作日内 任何时间 任何工作地点的化学有害因素均不能超过的浓度 A 3危险性说明 磷化氢是剧毒气体剧毒气体 暴露在空气中能自燃 无色 有类似大蒜气味的高压液化气体 遇明火 热源 或与氧化剂接触能引起
15、燃烧爆炸 临界不良健康效应 上呼吸道刺激 头痛 胃肠道刺激 中枢神经系 统损害 A 4操作注意事项 A 4 1操作人员应经过专门培训 严格遵守操作规程 熟练掌握操作技能 具备应急处置知识 A 4 2应远离热源 热表面 火花 明火和其他点火源 避免与氧化剂接触 工作场所严禁吸烟 不 应使用易产生火花的机械设备和工具 A 4 3建议操作人员佩戴化学安全防护眼镜 穿防静电服 阻燃服 戴皮手套 工作场所浓度超标时 操作人员应该佩戴过滤式防毒面具或者正压式防护用品 A 4 4装卸和搬运磷化氢气瓶时 应轻装轻卸 防止钢瓶及附件破损 A 5紧急情况应对措施 GB T 14601 XXXX 6 A 5 1发生
16、火灾时 消防人员应佩戴过滤式防毒面具 全面罩 或隔离式呼吸器 穿阻燃服 在上风向 灭火 切断气源 若不能切断气源 则不允许熄灭泄漏处的火焰 喷水冷却容器 尽可能将容器从火场 移至空旷处 A 5 2灭火剂宜用雾状水 泡沫 二氧化碳 干粉 A 5 3如果误吸入磷化氢 迅速脱离现场至空气新鲜处 保持呼吸道通畅 如呼吸困难 给氧 如呼 吸停止 立即进行人工呼吸 就医 A 5 4如果皮肤沾染磷化氢 用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤 如有不适感 就医 A 5 5如果磷化氢进入眼睛 应立即分开眼睑 用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗 如有不适 就 医 A 6泄漏处理处置 A 6 1消除所有点火源 A 6 2根据气体的影响区域划定警戒区 无关人员从侧风 上风向撤离至安全区 A 6 3建议应急处理人员穿内置正压自给式呼吸器的全封闭防静电防化服 A 6 4如果是液化气体泄漏 还应注意防冻伤 A 6 5禁止接触或跨越泄漏物 尽可能切断泄漏源 A 6 6喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向 避免水流接触泄漏物 禁止用水直接冲击泄漏物或泄漏 源 若可能翻转容器 使之逸出气体而非液体 A 6 7防止气体通过下水道 通风系统和
