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1、*有限公司 清洗制绒作业指导书 文件编号： 3/03/02清洗制绒作业指导书1.目的规范该岗位的工作流程，确保动作的一致性和连贯性。2.适用范围清洗制绒岗位作业人员3.参考无4.职责清洗间工序长负责监督执行5.术语和定义5.1 制绒：通过化学反应，去除硅片表面机械损伤层和油污，形成起伏不平类似金字塔的绒面5.2 清洗：通过化学反应，使硅片表面氧化物以及金属离子被腐蚀溶解、脱离硅片。6.内容 6.1 穿戴好工作服、工作帽、乳胶手套、防护眼镜及一次性口罩。6.2 依次打开控制柜电源开关；打开氮气、压缩空气和纯水的截止阀门。6.3 将操作界面转为手动操作画面，打开各槽出水阀门，将槽内残液排空，清除槽
2、内碎片和污物，并用纯水冲洗干净。6.4 关闭出水阀门，打开进水阀门，向相应得水槽内注入纯水。6.5 根据工艺要求，设定各槽时间，温度以及相关工艺参数。6.6 制绒6.6.1 制绒槽的纯水液位以及氢氧化钠、异丙醇、硅酸钠的配比必须根据工艺要求进行配液。6.6.2 根据原材料的特性以及工艺参考，确认硅片是否需要预处理，如需预处理地按照工艺要求进行配比，并设定温度和时间。6.6.3 以上条件都符合工艺要求后，根据流程卡的数量拿取相应数量，放入花篮中，并摆放整齐。（注：放入承载盒前必须仔细检查花篮是否有破损，如有破损不可使用）6.6.4 将预处理清洗后的硅片放入制绒槽内，进行制绒。6.6.5 制绒到一
3、定时间后，从中抽取一片观察外观无问题后，用气枪吹干，拿到金相显微镜下观察绒面，符合工艺要求后，即可以将制绒槽中取出至水槽。6.6.6 根据每次制绒后绒面的情况，来确定化学品的补充量。6.6.7 若绒面出现异常后，需及时向工艺人员反映，来确认解决方法。6.6.8 如硅片不需预处理，将超声清洗后的硅片或不需清洗直接制绒的硅片放入制绒槽内进行制绒，按照6.6.5和6.6.7进行操作。6.7 酸洗6.7.1 配液前穿上防酸服，防酸鞋，戴上防酸手套和防毒面具。6.7.2 根据工艺配比要求将适量的氢氟酸、盐酸注入到相应的槽内，并注入适量的纯水做好换液记录。6.7.3 配液完成后，将制绒后的硅片依照工艺要求依次放入各槽内进行清洗。6.8 清洗完成后至下料台待下道进行甩干6.9 注意：每隔一小时检查确认各槽液位，随时关注机械手的运行状态。7.附表7.1 换液记录表 SF-PV/4/03/01 换液记录表日期班次换液时间换液名称换液量换液人下次换液 日期/时间确认人SF-PV/4/003/01实施日期：2008年6月3日 版本号：A 第 3 页 共 3 页
