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1、电子且徽李报工 C h i n . E l e c t r . Mi c r o s c . S a c . 1 9 ( 4 ) 6 4 1 - 6 4 2 2 0 0 0年 6 4 1 J E M- 2 0 0 0 E X电 镜消像散电路的 故障分析与检修 ，才今鸳气产，卜声，.龟有J份，万今，、- 可金星 吕 银葱 施同舟 ( 第三军BE大学中.u实脸宜I i庆4 0 0 0 3 8 ) 故一理象 电.在正常工作中， 图像像徽突然增大， 更换钧位光门孔日像像徽无变化， 按下往翻面板上 的O B J S T I G I .成者O B J S T I G 2 健， 调节D E F X , Y圈
2、像0傲也不能被消陈。 且计算机C R T上 1示钧价摘像傲缝.电压值变化范围始终处于正值; 电镜自检, C R T上显示 D E F P B E R R O R , 幼璐分衡 J E M - 2 0 0 0 E X电 子显徽位俏 裸徽电路大致可 分为 扮人电路、 控翻板接口电路、 计算机控翻电 路、 计算机搜口电路、 教据钱存及D / A转换电路、 比 较自 检电 路、 消像傲控翻电路、 润.傲班动电 路和消.傲从.等所组成。 其线.电 流的 交化是通过润节面板上的D E F X , Y来控娜的。 孩二存及D / A转换电路由I C 0 1 A, I C 0 2 A , I C 0 3 A和I
3、 C 0 4 A组成, 1 2 b i t 的控翻盆公送到 I C 0 1 A和I C 0 2 A两个谈存器时， 先送到的l b y t e 数组由I C 0 2 A锁存， 后送到的l b y t e 狡匆中的 低4 位由I C O l A谈存， 共计1 2 b i t , I C 0 3 A和I C 0 4 A构成双极性D / A转换器, D / A转换的 结果俊 T P O .- - T P 9 为直流电压。 比 较自 抢 电 路由I C B , I C ， 和I C 1 3 9 组 虎， 它 由 比 筱 器I C 9 fR f D 触 麦 器I C B 及 非门I C 1 3 9 所 组
4、 成. 正常 工 作时 效据线上的O b i t 商 位效 和 恤 低 位数 相等， 即A = B 时， 比 较游I C 9 的 抽出 脚 钧出 “ I . 电平， 此电平在有时钟脉冲信号的作用下触发D触发器， 使C N 2 的2 0 1 脚为“ 。 ” 电平， 当 C N 2 的2 0 1 脚 为 “ 1 ” 电 平 时 ， 若 按 下 健 盘 上 的C H K 性 ， 月C R T 上 显 示 “ D E F P B E R R O R , 表 示D E F P B的掀宇电路出了故障。 消.傲控创电路主要是控创消像徽放大电路的抽人通道， 计算机通过钱存、 译妈控翻各模扭 开关， 位放大电路
5、在不同状态下接收不同的抽人信号， 以达到控创消像故城.的目的。物价及中 间倪消.徽控创电路由I C 4 1 , I C 2 9 , I C 2 6 , I C 2 7 及徽拟开关电路I C 7 0 , I C 7 1 , I C 7 2 所组成， 计算机 通过选址并将控翻数场锁存在触发器I C 4 1 上， 由它抽出的信号驭动I C 2 9 及I C 2 6 和I C 2 7 , 使其 抽 出 的 O E , L M俪兰 路 俏 号 控 侧 棋 拟 开 关 电 路 的 开 通 与 关 闭 . 当 瓜为 正 信 号 时 ， 模 拟 开 关 I C 7 0 - , I C 7 0 - ., I C
6、 朴 一 、 IC 7 1 - 导通. 这 时来自D / A转 换电 路8 - A的 信号 彼扮人到X箱向 的钧倪摘像傲粗动电路; 来自D / A转换电路9 一 的信号彼.人到Y轴向的钧倪消像傲粗动电 路. 当L M为 正 信 号 时 ， 模 拟 开 关那 7 0 - ), I C 7 0 - Bp, I C 7 1 - p , I C 7 1 - .辱 通 . 这 时 来自 8 一的 信 号彼.人到X抽向的中间镜消像傲软动电路; 来自9 - A的信号被抽人到Y轴向的中间倪消像徽 粗 动 电 璐. 同 时 从电 路图中 .Z可 以 扮 出中 间 悦 消 . 徽 驭 动电 路的 抽人信 号 受电
7、 位 4M V R 6 9 , V R 7 0 控 气 当 控 翻 信 号 晶为 正 值 时 棋 拟 开 关I C 7 2 接 通 ， 电 位 器 V R 6 9 , V R 7 0 被 短 路 ， 被 小 了 对 ，t少，、1月、J .了J少，、IJI 怡人信号的衰减。 通过开关5 2 3 级 动， 以 拐 份 更 好 地 洲 节 消 像 徽 还可以使来自 方波发生.的方彼加到消像傲班动电路， 位其产生 尹气飞声，1、，1，李、，.、甲，.志!:JJI，、.、-， 一 认 卜 、 肴 一 ; 1. 缝 甲 俪 礴 电子显徽学报 J . C h i n . F J e c t r . Mic
8、r o s c . S o c 1 9 ( 4 ) 6 4 1 - 6 4 22 0 0 0 牟 消 住 徽 妞 动 电 路 由 差 分 放 大 器 ， 采 用 了 典 拟 的 O C L 放 大 电 路 。 有 三 路 信 号 与 放 大 电 路 的 赞 人姗相连， 即来自故形发生器的三角彼形、 来自S H I F T X或者Y和T I L T X或老Y的从电位特 分压后的信号。当波形信号没有加上时， 此放大电路的翰人端只是一个固定的电压信号， 经由 I C I B组成的电路.出一个固定的反相信号， 当加上波形后， 经放大电路输出的信号抽人到由 T R i B , T R 2 B组成的差分放
9、大器进行放大， 经差分放大器放大后的信号输人到由T R 3 B , T R 4 B 组成的推挽放大器再进行放大 同时三路谊号还.人到I C l B ， 经推挽放大器再放大后的信号最终物人到线圈， 那动姚口工作。 的3 端， 经与来自R 1 2 3 的取样电压比较后， 由I C 1 B放大抽人到 A D C O N V接口板以 便计算机检侧及在 提供教据。 故一位目及处. C R T上且示电压的变化范口。 为电子显徽倪的正常工作 很拐电路分析及日 本电 子公司提供的技术资料， 首先在 1 2 o k V的加速电压条件下枪侧了消 即T P 1 0 , T P 1 2 为正5 V, T P 1 1
10、, T P 1 3 为负5 V. 其次对 欲拍.存及D J A转换电路进行了检浦， 其方法是: 旋转控翻面板上的S H I F T X旋钮， 让其由从 时针方向封庄旋转至逆时针方向到底， 在变化的过程中分别对I C O I A, I C 0 2 A, I C 0 3 A进行了侧 f, 发砚 I C O I A 的 4脚, I C 0 2 A 的 1 8脚、 I C 0 3 A 的 4脚和 1 2脚的电压始终不发生空化: 其 中 I C O I A 4 户的电压为0 . 1 8 V, I C 0 2 A 1 8 脚的电 压为。 . 1 8 V, I C 0 3 A 4 脚和1 2 脚的电压各为0
11、 . 1 3 v和0 . I O V I 再往，级对I C 7 及D E F L E N S I T F P B上的I C 3 J 检洲， 当检砚到I C 3 J 时发砚I C 3 J 的8 脚为. 0 ” 电平， 其9 脚也为“ 。 ” 电平r 即S N 7 4 0 7 N出现了故阵。 更换I C 3 J S N 7 4 0 7 N后物愧消像徽电路恢复正常工作， 调节O B J S T I G 1 或O B J S T I G 2 其变 化范口为X : i - 2 . 0 9 一1 . 5 9 , Y: +1 . 8 4 一1 . 8 5 , 消像散 线圈 消像散驱动电路 日目曰 消像散控制
12、电路 数据 锁存 及 D/ A 转换 电路 较检路 比自电 计算机接口电路 日目日 计算机控制电路 日日目 挑然 E M - 2 0 0 0 E X电价消像胜电 路棍圈 .考文味 1 C ir c u i t 2 S e r v i c e D i a g r a m s犯M- 2 0 0 0 E X / F X E l e c t r o n Mi c r o s c o p e N o . E M1 3 3 0 2 1 . Ma n u a l I E M- 2 0 1 0 E le c t r o n Mic r o s c o p e . 3 1 阅石. 狱字电子技术羞抽. 北京: 离停板育出版杜出版. 1 9 9 2 年. - - 才 t re - 0 终 - _
