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1、有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode, OLED）又称为有机电激光显示、有机发光半导体（Organic Electroluminesence Display, OLED）。与液晶显示（Liquid Crystal Display, LCD）是不同类型的发光原理。OLED 由美籍华裔教授 邓青云（Ching W. Tang） 1983 年在实验室中发现，由此展开了对 OLED 的研究。OLED 显示技术具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点。但是，在价格（较大显示面板）、寿命、分辨率暂无法与液晶显示器匹敌。有机发光二极管依色彩可分
2、为单色、多彩及全彩等种类，其中全彩有机发光二极管的制备最为困难；依驱动方式可分为被动式（Passive Matrix, PMOLED）与主动式（Active Matrix, AMOLED）。有机发光二极管 是一种由柯达公司开发并拥有专利的显示技术，这项技术使用有机聚合材料作为发光二极管中的半导体（semiconductor）材料。聚合材料可以是天然的，也可能是人工合成的，可能尺寸很大，也可能尺寸很小。蛋白质和 DNA 就是有机聚合物的例子。OLED 显示技术广泛的运用于手机、数码摄像机、DVD 机、个人数字助理（PDA）、笔记本电脑、汽车音响和电视。OLED 显示器很薄很轻，因为它不使用背光。
3、 OLED 显示器还有一个最大为 160 度的宽屏视角，其工作电压为二到十伏特（ volt，用 V 来表示）。基于 OLED 的新技术有软性有机发光显示技术（FOLED），这项技术有可能在将来使得高度可携带、折叠的显示技术变为可能。 1 OLED 显示技术具有自发光的特性，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且 OLED 显示屏幕可视角度大，并且能够节省电能，从 2003 年开始这种显示设备在 MP3 播放器上得到了应用。以 OLED 使用的有机发光材料来看，一是以染料及颜料为材料的小分子器件系统，另一则以共轭性高分子为材料的高分子器件系统。同时由于有机
4、电致发光器件具有发光二极管整流与发光的特性，因此小分子有机电致发光器件亦被称为 OLED(Organic Light Emitting Diode)，高分子有机电致发光器件则被称为 PLED (Polymer Light-emitting Diode)。小分子及高分子 OLED 在材料特性上可说是各有千秋，但以现有技术发展来看，如作为监视器的信赖性上，及电气特性、生产安定性上来看，小分子 OLED 处于领先地位，当前投入量产的 OLED 组件，全是使用小分子有机发光材料。应用以视频眼镜和随身影院为重要载体的头戴式显示器得到了越来越广泛的应用和发展。其在数字士兵、虚拟现实、虚拟现实游戏、3G 与
5、视频眼镜融合、超便携多媒体设备与视频眼镜融合方面有卓越的优势。与 LCD 和 LCOS 相比，OLED 在头戴显示器的应用有非常大的优势：清晰鲜亮的全彩显示、超低的功耗等，是头戴式显示器发展的一大推动力。率先把 OLED 应用在视频眼镜上的是美国的 eMagin. 无论是对于民用消费领域还是工业应用乃至军事用途都提供了一个极佳的近眼应用解决途径。随之，采用欧洲的超微OLED 显示屏的视频眼镜被推上市场。在国内，iTheater（爱视代）凭雄厚的研发实力率先推出世界首款高分子超微 OLED 显示屏的视频眼镜；凭借其全知识产权的背景顺利打入国内军事领域，为中国数字士兵的建设出一份力。工艺制成1 氧
6、化铟锡(ITO)基板前处理ITO 表面平整度：ITO 已广泛应用在商业化的显示器面板制造，其具有高透射率、低电阻率及高功函数等优点。一般而言，利用射频溅镀法(RF sputtering)所制造的 ITO，易受工艺控制因素不良而导致表面不平整，进而产生表面的尖端物质或突起物。另外高温锻烧及再结晶的过程亦会产生表面约 10 30nm 的突起层。这些不平整层的细粒之间所形成的路径会提供空穴直接射向阴极的机会，而这些错综复杂的路径会使漏电流增加。一般有三个方法可以解决这表面层的影响?U 一是增加空穴注入层及空穴传输层的厚度以降低漏电流，此方法多用于 PLED 及空穴层较厚的 OLED(200nm)。二
7、是将 ITO 玻璃再处理，使表面光滑。三是使用其它镀膜方法使表面平整度更好。(2)ITO 功函数的增加：当空穴由 ITO 注入 HIL 时，过大的位能差会产生萧基能障，使得空穴不易注入，因此如何降低 ITO / HIL 接口的位能差则成为 ITO 前处理的重点。一般我们使用 O2-Plasma 方式增加 ITO 中氧原子的饱和度，以达到增加功函数之目的。ITO 经O2-Plasma 处理后功函数可由原先之 4.8eV 提升至 5.2eV，与 HIL 的功函数已非常接近。加入辅助电极，由于 OLED 为电流驱动组件，当外部线路过长或过细时，于外部电路将会造成严重之电压梯度，使真正落于 OLED
8、组件之电压下降，导致面板发光强度减少。由于 ITO 电阻过大(10 ohm / square)，易造成不必要之外部功率消耗，增加一辅助电极以降低电压梯度成了增加发光效率、减少驱动电压的快捷方式。铬(Cr：Chromium) 金属是最常被用作辅助电极的材料，它具有对环境因子稳定性佳及对蚀刻液有较大的选择性等优点。然而它的电阻值在膜层为 100nm 时为 2 ohm / square，在某些应用时仍属过大，因此在相同厚度时拥有较低电阻值的铝(Al ：Aluminum)金属(0.2 ohm / square)则成为辅助电极另一较佳选择。但是，铝金属的高活性也使其有信赖性方面之问题因此，多叠层之辅助金
9、属则被提出，如：Cr / Al / Cr 或 Mo / Al / Mo，然而此类工艺增加复杂度及成本，故辅助电极材料的选择成为 OLED 工艺中的重点之一。4.阴极工艺在高解析的 OLED 面板中，将细微的阴极与阴极之间隔离，一般所用的方法为蘑菇构型法(Mushroom structure approach)，此工艺类似印刷技术的负光阻显影技术。在负光阻显影过程中，许多工艺上的变异因子会影响阴极的品质及良率。例如，体电阻、介电常数、高分辨率、高 Tg、低临界维度 (CD)的损失以及与 ITO 或其它有机层适当的黏着接口等。1. 封装吸水材料：一般 OLED 的生命周期易受周围水气与氧气所影响而
10、降低。水气来源主要分为两种：一是经由外在环境渗透进入组件内，另一种是在 OLED 工艺中被每一层物质所吸收的水气。为了减少水气进入组件或排除由工艺中所吸附的水气，一般最常使用的物质为吸水材(Desiccant)。Desiccant 可以利用化学吸附或物理吸附的方式捕捉自由移动的水分子，以达到去除组件内水气的目的。工艺及设备开发：封装工艺之流程，为了将 Desiccant 置于盖板及顺利将盖板与基板黏合，需在真空环境或将腔体充入不活泼气体下进行，例如氮气。值得注意的是，如何让盖板与基板这两部分工艺衔接更有效率、减少封装工艺成本以及减少封装时间以达最佳量产速率，已俨然成为封装工艺及设备技术发展的 3 大主要目标。
