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1、先进制造技术课程大作业 2011 年 11 月ELID 超精密内圆磨削试验研究李远辰天津大学机械学院机械制造及其自动化专业 2011 级硕士生摘要：在线电解修整(ELID)磨削技术是一种高效率的超精密镜面磨削加工技术，而且其成本较低，因此被广泛地应用在现代超精密加工领域中。结合我们课题组的研究方向，本文主要阐述将 ELID 镜面磨削技术应用到轴承钢的内圆磨削的实验研究。并简述此项技术的加工机理和研究现状，讨论了砂轮的修整和在线电解修锐，以及内圆磨削表面参数等的研究结果。关键词：在线电解修整(ELID) ELID 原理 精密内圆磨削 0 前言随着微电子、光学、计算机等技术的发展，对于玻璃陶瓷、工
2、程陶瓷、硬质合金、单晶硅等高脆性、高硬度材料低成本高效率的超精密加工技术的研究工作正在全面展开。特别是随着超微细粒度砂轮的使用及砂轮精密修整技术的发展，镜面超精密磨削逐渐受到人们的重视。超精密镜面磨削技术是一种借助高性能的机床、良好的砂轮、完善的辅助技术和稳定的实验环境条件，控制加工精度在 0.1um 级以下、表面粗糙度 Ra0.04um 甚至 Ra0.01um 的磨削方法 1。在线电解修整(Electrolytic In- process Dressing,ELID)镜面磨削技术作为一种高效率低成本的超精密镜面加工技术，能够在线电解修整金属基超硬磨料砂轮，始终保持磨粒在磨削过程中的锋利状态，
3、防止砂轮钝化和堵塞，特别适合硬脆材料的加工，所以其广泛应用在现代超精密加工领域中。1 ELID 磨削的基本原理ELID 磨削是一种在线连续的修整磨削技术，它的磨削系统主要包括：金属结合剂砂轮，直流脉冲电源，修整电极，磨削液（兼做电解液） ，以及机床等设备组成 2。磨削过程中，砂轮与电源正极相接做阳极，工具电极做阴极，砂轮与阴极的间隙在 0.10.3mm 范围内调整。在砂轮和电极的间隙中注入磨削液，在直流脉冲电源的作用下，使整个系统保持电解的状态，由于砂轮是阳极，根据电化学反应，结合剂中的铁离子电离，使电解砂轮表面的金属结合剂溶解，露出掩埋的磨粒，这种修整持续进行，保证在加工过程中砂轮始终有突出
4、的磨粒用以维持砂轮的锋利状态；同时电解出的铁离子氧化在砂轮表面形成氧化膜，抑制砂轮过度电解，从而使砂轮始终以最佳磨削状态连续进行磨削加工。所以该技术将砂轮修整与磨削过程结合在一起，从而实现对硬脆材料的连续超精密镜面磨削，如图 1-1。电解时，在砂轮上发生阳极反应：阳极： 2Fee 阴极： 2HO 电离出的铁离子与氢氧根离子结合形成铁的氢氧化物： 2 2()FeFe 先进制造技术课程大作业 2011 年 11 月2231()()FeOHFeOH电 源-+工 作 台工 件电 解 液电 极砂 轮ELID循 环整 形 后 的 砂 轮 预 修 锐 结 束ELID磨 削 开 始ELID动 态 磨 削结 合
5、 剂 溶 解磨 粒 露 出 氧 化 膜氧 化 膜 脱 落磨 粒 磨 损磨 粒 钝 化结 合 剂 后 退氧 化 膜 减 薄导 电 性 恢 复预 修 锐 开 始图 1-1 ELID 平面磨削基本原理示意图其中氢氧化铁和氢氧化亚铁反应生成铁的氧化物。ELID 镜面磨削过程可分为准备阶段、电解预修锐阶段、在线电解修整动态磨削阶段和光磨阶段。准备阶段主要是对砂轮进行精密整形，减小砂轮的圆度和圆柱度误差；预修锐阶段使砂轮获得适当的出刃高度和合理的容屑空间并形成一层氧化膜；动态磨削阶段是形成加工表面；光磨阶段则进一步提高表面质量。在 ELID 磨削中，砂轮始终被连续进行整形和修锐，对工件进行连续磨削，和普通
6、磨削相比，具有以下特点：1砂轮表面始终处于锐利状态，磨削力较小而且在磨削过程中保持稳定；2 在精密磨削阶段，砂轮上生成的氧化膜将代替金属基砂轮真正参与磨削，实现了镜面磨削加工；3砂轮的修整和磨削可以通过电源参数等来控制，可以实现磨削修整过程的最优化。2 CBN 砂轮电火花整形和修锐2.1 CBN 砂轮电火花整形电火花整形砂轮参数的选择主要是根2011 年 11 月 李远辰：ELID 超精密内圆磨削试验研究据加工需要的放电电压、峰值电流和脉冲参数。主要有两个指标来评价电火花整形效果：一个是放电效率，另一个是砂轮的整形精度。放电效率主要由单位时间内砂轮总蚀除量决定；砂轮整形的精度由放电凹坑的大小和
7、放电凹坑相互重叠的情况决定 3。如表 2-1表 2-1 电火花整形装置和条件名称 参数机床 改造的数控 3MZ1410 自动轴承外圈沟磨床工具电极 轴承钢圆盘，尺寸 40mm10mm砂轮 W40 铸铁结合剂 CBN 砂轮放电介质 电解液电源TJCP-型高频脉冲电源，输出电压峰值 60V、90V、120V，脉冲宽度与间隔 1100s 可调方波砂轮转速 720rpm电极转速 150rpm砂轮往复速度 300mm/min整形参数整形：占空比 40s：40s ；电压 90V精整形：占空比 20s：20s ；电压 60V在我们进行实验的过程中的 W40 铸铁基 CBN 砂轮，在装上刀杆后所测的圆度为64
8、m，圆度偏差较大，此时应用较大的电参数进行修整，即 90V、40s 、40s ， 经过 90 分钟的整形之后，砂轮的圆度降低到9.8m。此时可以降低电参数，在进行精修整，即使用 60V、20s、20s，经过 30 分钟的精整之后，砂轮的圆度降低到1.2m。由于 W40 砂轮的磨粒粒径较大，约为 0.04mm，因此此时砂轮的圆度可以满足精密镜面磨削的要求。2.2 CBN 砂轮修锐对金属结合剂 CBN 砂轮来说，在精密整形后必须进行砂轮的预修锐。预修锐的目的就是去除超硬磨料周围的部分金属结合剂，使磨料在结合剂表面上突出一定的高度。经过砂轮预修锐，砂轮就具备了一定的磨削能力，即让砂轮形成细小切削刃并
9、且要产生一定的容穴空间 4。我们采用电解在线修锐法(ELID)对 CBN 砂轮进行电解预修锐。砂轮预修锐的实验参数和条件：电解电压 90V、占空比 5s：5s 、砂轮与电解阴极间隙 0.2mm、砂轮转速 720rpm。图 2-1 为预修锐时的照片，图 2-2 为预修锐时的电解电流、电压变化曲线。砂 轮电解液碳 刷电解阴极图 2-1 预修锐照片0102030405060708000.511.522.533.544.550 102 204 306 408 510 612 714 816 918 1020 1122 电解电压/V电解电流/A时 间 /s电 解 电 流电 解 电 压2011 年 11
10、月 李远辰：ELID 超精密内圆磨削试验研究图 2-2 预修锐时的电解电流、电压变化曲线在预修锐过程中电解电压和电流会出现小幅的波动，这是由于磨削液的冲刷作用使在砂轮表面刚生成的氧化膜保持的并不稳定，发生了少量的破损。而随着修锐时间的延长，氧化物增多，生成的氧化膜变得致密，电解电压升高、电解电流降低，并最终分别稳定在 70V 和 1A 左右。3 轴承套圈 ELID 内圆磨削实验3.1 ELID 内圆磨削方法对于内圆的 ELID 磨削主要有两种方法，如图 3-1 和 3-2 所示。内圆磨削方式采用的是外置电极的方式，在磨削的过程中砂轮要不时地移出工件进行电解修锐，它不但需要一套专门的电解修整阴极
11、装置，而且磨削效率较低；而对于内圆磨削方式直接采用导电的工件作为电解修整阴极，可以有效地提高磨削效率，但工件与机床的绝缘问题很难解决，而且仅限于磨削导电的工件。 +-卡盘工 件砂 轮电 极电 刷电解液图 3-1 ELID 内圆磨削方式+-卡盘砂 轮电 刷电解液工 件绝缘套固定架图 3-2 ELID 内圆磨削方式3.2 外置电极内圆磨削试验通过实验分别得出砂轮转速、磨削深度、进给量、工作台进给速度等参数对轴承套圈 ELID 内圆磨削表面质量和表面精度的影响规律，从而找到磨削轴承钢材料的最优化的磨削参数。在 ELID 内圆磨削过程中，由于采用的是外置电极磨削的方式，砂轮要间隔性的移出工件进行电解修
12、锐，而且砂轮修锐主要是在预修锐的过程中进行，但在磨削过程中电解修锐时间所占的比重比较小。由此可见电解参数对外置电极内圆磨削来说影响较小，而磨削深度和砂轮转速对磨削质量的影响较大，所以本实验通过选取不同的磨削深度1m3m，和不同的砂轮转速10000rpm30000rpm，来进行研究分析。并测出工件表面粗糙度和波纹度曲线。图 3-3 是在不同砂轮转速、相同磨削深度（1m ）下工件表面粗糙度和波纹度的变化曲线（试验中选择三个工件，每个工件分别进行三次加工及测量，得到最大值、最小值和平均值）。从图中我们可以清晰的看出，随着砂轮转速的提高，波纹度会减小，表面粗糙度先是减小然后略有增大。其原因可能是随着砂
13、轮转速的提高，单位时间内参与磨削的磨粒数增多，磨削效率变高。磨削效率的提高使工件表面粗糙度和波纹度降低。而当转速提高到30000rpm 时，表面粗糙度略有上升，这可能是由于砂轮转速提高后产生了高频的振动，而且砂轮要间歇性地移出工件进行在线电解修锐，修锐后再进入工件时都会产2011 年 11 月 李远辰：ELID 超精密内圆磨削试验研究生一定的冲击，并且当转速提高后电解液不能完全充分进入电解阴极与砂轮间的间隙，砂轮的修锐效率会降低，这些都有可能造成工件表面粗糙度的上升。而波纹度恰恰是介于微观和宏观间的几何误差，受到高频振动的影响会很有限，因此波纹度在转速提高到 30000rpm 后降低。图 3-
14、4 是在相同的砂轮转速 30000rpm下、不同的磨削深度时，工件表面粗糙度和波纹度的变化曲线图。从图中我们可以看出，随着磨削深度的加大，工件表面的粗糙度和波纹度都随之上升。这可能是由于随着磨削深度的加大，使磨削更加剧烈，使工件的塑性变形增大，从而造成粗糙度和波纹度的增大。对于外置电极的 ELID 内圆磨削，我们可以根据加工所需的表面精度等要求选择相应的加工参数和条件，得到所需的工件。0 10000 20000 30000 4000000.050.10.150.20.250.300.050.10.150.20.25粗 糙 度/Ra波 纹 度/Wa砂 轮 转 速/rpm粗糙度/m波纹度/m图 3
15、-3 粗糙度波纹度与砂轮转速间关系（磨削深度 1m）0 1 2 3 400.050.10.150.20.250.300.10.20.30.40.50.60.7粗 糙 度/Ra波 纹 度/Wa进 给 量/m粗糙度/m波纹度/m图 3-4 粗糙度波纹度与进给量间的关系（砂轮转速 30000rpm）2011 年 11 月 李远辰：ELID 超精密内圆磨削试验研究3.3 工件电极内圆磨削试验对外置电极的 ELID 内圆磨削时，砂轮要不时地、间隔性地移出工件进行电解修锐，导致磨削效率很低，而且砂轮进入工件时还可能会造成冲击影响磨削精度。因此在实验中提出利用导电工件作为电解电极的磨削方式。对数控磨床进行绝
16、缘改造，并设计了一套绝缘卡具，在此基础上进行ELID 内圆磨削试验。工件电极试验参数的选择：砂轮主轴转速为 15000rpm，工件转速为 250rpm，工作台速度 15 mm/s，磨削深度 5m。采用脉冲直流高频电源，电解电压 60V，占空比为 5s:5s。首先调整砂轮和工件间的间隙到0.2mm 左右，加电解液和脉冲电源，预修锐 30 分钟左右。在预修锐后开始 ELID 磨削，使用普通内圆磨削加工后的轴承套圈（表面粗糙度 Ra 为 0.56m）作为 ELID 磨削工件。由于直接采用导电的金属工件作为电解阴极，所以为了避免短路和电火花的产生，不宜采用太大的电解参数和磨削参数。随着磨削的连续进行，由于砂轮表面的氧化膜和磨粒被不断的去除，使电解电流
