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1、 静电防护管理规范文件编号：版 本：V3.0生效日期：2013-03-20文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 1 页共 19 页 文件修订履历版次V0V1V1.1V1.2V1.3V2V2.1 1、V2.2V2.3V2.4V2.5V2.6V3.0部门CS部有 份数 1文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 2 页共 19 页 1 目的防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使 ESD 防护工作具有较强的可操作性。2 适用范围从静电敏感器件进货到产品形成的全过程3 定义31 静电放电（ESD）处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。32 静电敏感器件（
2、ESDS）在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。33 静电的发生及带电331 静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒，由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。332 静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关
3、的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。3321 接触起电：当两种物质接触时，其间距小于 2.510-8cm 时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷3322 感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷3323 剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电3324 摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移333 静电的危害333.1 对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲
4、击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 3 页共 19 页 的电击。 333.2 对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。34 绝缘体与导体34.1 绝缘体绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于 1011。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态。如：普通塑料制品、乙烯等342
5、导静电体导体一般表面电阻率10 2 和10 5 范围，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。35 防静电材料定义3.5.1 根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。静电绝缘材料：表面电阻率10 11；静电耗散材料：表面电阻率10 5 和10 11；静电导电材料：表面电阻率10 2 和10 5；静电屏蔽材料：表面电阻率10 2；3.5.2 ESD 防护项目的表面电阻的要求工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子等表面电阻为 104 1010；包装材料（如：胶袋、胶带、胶纸、包装纸、吸
6、塑品等）的表面电阻为：10 5R10 11。36 静电发生源361 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。 362 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。363 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。表 1 常见物体的静电发生序列文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 4 页共 19 页 37 漏电测试工具如电批、电视机、功放、示波器；由于使用 220V 电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏电电压 AC
7、 小于 1V。38 电子元器件的静电耐压表 2 一些器件类型的静电敏感电压值器件类型 耐静电放电电压（V） 器件类型 耐静电放电电压（V）VMOS 30-1800 运算放电器 190-2500MOSSEFT 100-200 JEFT 140-1000PROM 100 STTL 300-2500GaAsFET 100-300 SCL 680-1000CMOS 250-2000 DTL 380-7000HMOS 50-500 肖特基二极管 300-3000E/DMOS 200-1000 双极型晶体管 380-7000ECL 300-2500 石英压电晶体器件 100004 职责4.1 工程部确定静
8、电防护控制点、区域和控制要求；4.2 电子仓负责静电敏感器件出库前的静电防护,IQA 部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产车间负责生产过程中的静电防护；非生产物料仓库管理员负责对修理位和烧录 IC 位等使用工具，如镊子、烧录笔，防静电支架，防静电衣帽，防静电手套，指套等来料进行 ESD 抽检，静电衣帽每次抽检 5%，静电手套/指套每次抽检 1%，工具、支架等每次抽检 10%，抽检结果记录在防静电物料验收记录表中。4.3 工程部动力设备室负责对接地主干线的检测和维护,防静电地板表面电阻，防静电地板接地电阻的序号 材料 序号 材料1 空气 12 棉布2 人手 13 钢3 兔毛 14 木材4 玻
9、璃 15 琥珀5 云母 16 硬橡胶6 头发 17 镍、铜7 尼龙 18 黄铜、银8 羊毛 19 聚脂人造纤维9 丝绸 20 聚乙烯10 铝 21 聚丙烯11 纸 22 聚氯乙烯 文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 5 页共 19 页 检测，每半年一次检测；各部门负责本部门静电地线与设备地线的检验和维护；4.4 工厂各车间日常点检、周点检工作由生产车间指定人员 (一般由各生产线多能工或车间 ESD 专员)进行，生产线月点检由各车间/部门 ESD 专员在每月中旬进行，记录在 生产线 ESD 月点检表中，车间主任/部门长审核确认，工程部、部品部、IQC、 PMC 仓库 ESD 专员由各车间主
10、任/部门长指定；4.5 IQA 部负责制造中心 ESD 防护措施的抽检抽查；4.5.1 对于一级 EPA 区域，需要定期的进行周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查；对于二级EPA 区域，需要定期的进行月度稽查、季度稽查、年度稽查。检查与测量采用合适的仪器和方法、同时记录予以保存（记录保存时间：1 年） ，使之与 ISO9000 的要求相符合。 4.6 静电防护的控制点和区域电子仓库（包含 IC 房） 、工程部分析室、IQA 首件检验房、机芯生产车间、C/SKD 车间、IQC 机芯检验房、IQC 部品检验房、SMT/PCB 车间、总装车间与静电敏感器件相关的工位及修理工位；4.7 工程部动力设
11、备室负责对静电手环、电烙铁、电批等工、治具进行发放、管理、维修；48 防静电手环、防静电鞋、防静电衣帽、防静电手套；48.1 由各生产线指定专人每天进行点检和目视；同时将每个测试结果记录在静电手环点检表 ，静电鞋点检表等日常点检相关表格及目视检查表中；48.2 对点检中发现的不良静电手环要求立即进行更换；同时记录在ESD 测试 NG 处理记录表中；48.3 对点检中个别员工皮肤干臊引起接触电阻高使测试不通过的，可在作业员与静电手环金属片接触的皮肤处涂抹润肤保湿霜，2 小时涂一次；49 电批、螺丝机、电烙铁由各生产线指定专人每天进行点检；同时将每个测试结果记录在工具、仪器设备点检表中；410 防
12、静电衣帽、手套、鞋，防静电胶皮，防静电周转箱由各生产线指定专人每周进行点检；其中防静电衣帽、手套要求在不穿着时测试表面电阻，穿着时测试表面电压，同时将每个测试结果记录在相应周点检表中；411 仪器、设备、机架、治具、工具、周转车，包装袋由各生产线指定专人每月进行点检；同时将每个测试结果记录在生产线 ESD 月点检表中；412 相对湿度由各车间或部门指定专门的人员点检，同时将每个测试结果记录在温度及湿度点检记录表中；文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 6 页共 19 页 4. 13 SMT/PCB 车间 ESD 地板由工程部设备室进行点检，并同时将点检的结果记录在ESD 地板点检表里。41
13、4 目视检查表由生产线指定专员每班完成并做好相应记录；415 以上测试过程中，如发现不良，需要更换或修理的静电损耗品，如静电手环、防静电衣帽，周转车/箱，输送板/带，各类仪器等，需要记录在ESD 测试 NG 处理记录中，ESD 月度审查作为其中一项进行监控。4.16 ESD 培训所有操作或有可能接触 ESD 敏感器件、组件或产品的人员 ESD 敏感器件都必须进行 ESD 培训。同时为确认防静电培训的效果，参加 ESD 培训的员工需要通过防静电知识的考核,为了促进员工防静电知识的不断提升，需要对参加培训的员工进行培训、考核过程。由于产品静电防护涉及的部门很多，人员的级别也相差很大，培训的对象有管理层、操作层，因此，为了保证培训效果应分层次确定培训目标并制定相应培训教材。培训计划应确定静电防护培训类型和频率、方法和具体技巧，培训计划还应包括用于检查学员理解及培训是否合适的检查方法。员工培训记录要求保留至少一年，并规定这些记录存放何处。为了保证培训效果，培训与认证应分为：初级培训和考核、周期性培训和考核、提高培训和考核、特殊培训和考核。 操作层培训和考核：由车间静电管理员每半年对所有在线作业进行一次静电培训和考核。 管理层
