镀膜的膜系结构和性能汇编

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1、镀膜的膜系结构和性能 光学薄膜 n光学薄膜有改变电磁波的路径的特性 n光学薄膜很薄时就会产生干涉,当光 学薄膜很厚时就产生不了干涉 n当我们把很薄的膜组合起来就有很多 新的特性产生 光学薄膜的作用 反射 吸收 镀膜玻璃的一些参数解释 nE值:辐射率。辐射率是指透过玻璃的远红外线与 入射远红外线之比。辐射率越小,通过膜层反射 回去的热量越多,隔热效果越好。 ( E=0.0129R- 6.7-5R2) nK值(U值):是指在稳定传热条件下,玻璃两侧 空气温度差为1时,单位时间内通过1平方米中 空玻璃的传热量,以W/m2K表示。K值越低,说 明中空玻璃的保温隔热性能越好,节能效果越显 著。 nG值:

2、G值是太阳能获得值(遮荫系数)。它是用 来衡量太阳能总透过率的量。南方地区要求G值 越低越好,北方地区要求G值越高越好。 八种膜系 阳光控制膜/TS、TE系列 TiN GLASS 特点: 1、容易生产,色差难 控制,化学稳定性差 ; 2、颜色:银白色、蓝 色和棕色; 3、透光度:1040%; 4、g值:0.20.5。 阳光控制膜/SS系列 TiN SS GLASS 特点: 1、容易生产,色差难 控制,化学稳定性 差; 2、颜色:银白色; 3、透光度:820%; 4、g值:0.20.3。 阳光控制膜(目前欧洲市场流行的膜系) CrNx/NiCrNx Si3N4 SnO2 GLASS 特点: 1、

3、造价高,抗磨损; 2、颜色:银白色、蓝 色、金色和棕色; 3、透光度:820%; 4、g值:0.20.3。 阳光控制膜/可热处理的膜系 TiO2 CrNx/NiCrNx Si3N4 GLASS Si3N4 特点: 1、造价高,抗磨损; 2、颜色:银白色、灰 色、蓝色、绿色和棕色; 3、透光度:840%; 4、可钢化,且颜色不会 变化 。 标准Low-E膜 ZnO Ag TiO2 GLASS NiCrOx Si3N4 特点: 1、透光度:83%; 2、E值:0.06; 3、g值:0.550.6。 阳光Low-E膜 NiCrOx Ag TiO2 GLASS NiCrOx Si3N4 特点: 1、透

4、光度:48%; 2、E值:0.1; 3、g值:0.50.55 可钢化Low-E膜 TiO2 GLASS Ag NiCrOx Si3N4 NiCrOx TiO2 特点: 1、透光度:82%; 2、颜色:银白色 、灰色、棕色、蓝 色和绿色; 3、E值:0.06; 4、g值:0.550.6。 双银Low-E膜 GLASS ZnO Ag TiO2 NiCrOx Si3N4 ZnO Ag TiO2 NiCrOx 特点: 1、透光度:75%; 2、E值:0.04; 3、g值:0.40.5。 小结:从以上8种膜系我们可以看 到它们的各个性能是不同的 ,每 一种膜系的性能是取决于它内部 每一层膜的性能、厚度及

5、排布决 定的。 从膜层的功能来描述 n底层电介质层: 1、决定银层的增长情况 2、用于降低银层的反射率 3、阻挡钠在钢化过程中从玻璃扩散到膜层中 4、通常材料为ZnO、SnO、TiO以及其混合物 n n 银层:银层: 1 1、着床形式决定银层的质量、着床形式决定银层的质量 2 2、厚薄及质量决定了辐射率、厚薄及质量决定了辐射率 3 3、较薄的连续性结构的膜层可在相同的、较薄的连续性结构的膜层可在相同的 辐射率情况下具有更高的透过率辐射率情况下具有更高的透过率 n阻挡层(保护层) 1、保护银层免受沉积过程中等离子体的 破坏 2、保护银层免受钢化过程中氧气和其它 污染物的侵袭 3、通过影响银层与顶

6、层电介质层之间的 附着力来改善膜层的耐磨性 n顶层电介质层 1、与最后的银层间的附着力对耐磨性的 影响非常大 2、决定膜系的耐刮伤性、耐磨性和耐化 学侵袭性 单层膜的性能 nZnO膜:是银膜的种子膜层。这是由于ZnO 膜具有光滑的特性,能使上面的银膜更均 匀,提高银膜的性能,增强膜系的透过率 与辐射率。 缺点: 1、抗酸/碱能力有限 2、由于增长结构的原因,材料容易扩散 3、抗刮伤能力有限 nSnO膜: 1、耐酸/碱性好 2、扩散层得到改善,尤其是与锌混合使用时 3、与镀有镍铬阻挡层的银层之间有足够的附 着力 4、抗划伤性能力有限(但合格) nSi3N4膜: 1、在所有材料中,它的耐酸/碱性最

7、好 2、最好的扩散层,通常用于半导体行业 3、与镀有镍铬的银层之间有足够的附着力 4、抗划伤性最好 5、可直接镀于玻璃面上作钠离子阻挡层 6、与银层的亲和性非常差 nTiO膜: 1、具有足够的耐酸/碱性 2、能够用作扩散层 3、与镀有钛阻挡层的银层之间有良好的附着力 4、高折光指数意味着因刮擦而引起的膜层厚度 微小变化会显示较大的光学影响(不太适宜 做顶层电介质层) 5、具有好的折射率,能改善透光率(适宜做低 层电介质层) nNb2O5膜: 1、具有好的折射率,能改善透光率(适宜做 低层电介质层) 2、沉积速度较快,但价格太贵,一般不用 nBi2O3膜: 1、具有好的折射率,能改善透光率(适宜

8、做 低层电介质层) 2、沉积速度较快,但靶材的加工制造非常难 3、可靠性存在问题 4、沉积工艺难 5、仅用于Interpane的专利工艺 nNiCr膜: 1、是银层和SnO或Si3N4层之间具有良好附着 力的必须 2、可作钠离子的阻挡层,是银层很好的保护 层 缺点:吸收性太强 nITO膜: 1、既能导电,透明性又好,是最好的玻璃镀 膜材料,但价钱太贵 2、是优良的阻挡层 3、皮尔金顿采用 4、一般用做显示器镀膜材料 其它 nAl2O3、HfO2、Pr2O3、MgO膜:一般应用 于光学镀膜,少用于玻璃镀膜 nSiO2膜:一般应用于反反射膜,少用于玻 璃镀膜(反反射膜是指镀上膜后,不会反 光,看不清楚) nZrO2、Ta2O5、CeO2膜:一般少用于玻璃 镀膜

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