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1、12013 微细加工微细加工 1第六章第六章 半导体晶体的半导体晶体的切割及磨削加工切割及磨削加工2013 微细加工微细加工 2硅片加工准备阶段的流程硅片加工准备阶段的流程2013 微细加工微细加工 3单晶硅片加工过程模拟单晶硅片加工过程模拟 (*)2013 微细加工微细加工 4单晶硅片加工步骤单晶硅片加工步骤2013 微细加工微细加工 5一、一、 硅单晶棒的截断硅单晶棒的截断对硅单晶棒首先需要采用外圆切割（对硅单晶棒首先需要采用外圆切割（ OD Saw）、内）、内圆切割（圆切割（ ID Saw）或带锯切割（）或带锯切割（ Band Saw）进行两头截）进行两头截断，其目的主要是：断，其目的主
2、要是： 切除硅单晶棒的头（硅单晶的籽晶和放肩部分）、切除硅单晶棒的头（硅单晶的籽晶和放肩部分）、尾及直径小于规格要求的部分；尾及直径小于规格要求的部分； 将硅单晶棒切割成切片机便于处理长度的晶棒段；将硅单晶棒切割成切片机便于处理长度的晶棒段； 对硅单晶棒切取样片，以检测其电阻率、氧对硅单晶棒切取样片，以检测其电阻率、氧 /碳含量、碳含量、晶体缺陷等质量参数。晶体缺陷等质量参数。第一节第一节 半导体传统切割方法半导体传统切割方法2013 微细加工微细加工 6晶体截断加工时，切割断面应平整并与单晶棒轴线垂晶体截断加工时，切割断面应平整并与单晶棒轴线垂直。由于硅晶体硬（莫氏硬度直。由于硅晶体硬（莫氏
3、硬度 7）而脆，对其进行加工多采）而脆，对其进行加工多采用金刚石刀具。晶体截断的关键问题是如何减少材料损失。用金刚石刀具。晶体截断的关键问题是如何减少材料损失。硅晶体截断加工的主要方式有以下几种：硅晶体截断加工的主要方式有以下几种：(1).外圆切割外圆切割外圆切割采用外圆金刚石刀片对硅晶体进行切割。由于外圆切割采用外圆金刚石刀片对硅晶体进行切割。由于刀片本身强度的限制，其直径不能做得太大刀片本身强度的限制，其直径不能做得太大 (一般不大于一般不大于500mm)，刀片厚度较大，刀片厚度较大 ( 2mm)，硅晶体刀口损失大，硅晶体刀口损失大（ 3mm），该方法不适宜大直径硅晶体截断加工。但由），该
4、方法不适宜大直径硅晶体截断加工。但由于设备简单、价格低，目前产量不大的硅单晶厂仍在使用。于设备简单、价格低，目前产量不大的硅单晶厂仍在使用。22013 微细加工微细加工 7外外 圆圆 切切 割割 机机2013 微细加工微细加工 8外圆锯切是最早开发的锯切硅晶片的工艺。这种方外圆锯切是最早开发的锯切硅晶片的工艺。这种方法与砂轮外圆磨削相似，把薄的金刚石锯片夹持在高速法与砂轮外圆磨削相似，把薄的金刚石锯片夹持在高速旋转的主轴上，用外径上的金刚石磨粒锯切工件。旋转的主轴上，用外径上的金刚石磨粒锯切工件。目前外圆切片还用在单晶硅棒切方方面（俗称开目前外圆切片还用在单晶硅棒切方方面（俗称开方），通常用两
5、片金刚石外圆切割片同时装在单晶硅切方），通常用两片金刚石外圆切割片同时装在单晶硅切方装置上，将单晶硅圆棒加工成硅方棒。加工后的单晶方装置上，将单晶硅圆棒加工成硅方棒。加工后的单晶硅棒成对称矩形。硅棒成对称矩形。对专用于单晶硅棒切方用金刚石外圆切割片的要求是对专用于单晶硅棒切方用金刚石外圆切割片的要求是其刃口越薄越好。金刚石外圆切割锯片在单晶硅棒切方其刃口越薄越好。金刚石外圆切割锯片在单晶硅棒切方装置上是两片同时使用，将硅棒切成对称矩形。装置上是两片同时使用，将硅棒切成对称矩形。2013 微细加工微细加工 9单晶硅棒开方设备单晶硅棒开方设备2013 微细加工微细加工 10单晶硅方棒单晶硅方棒20
6、13 微细加工微细加工 11由于单晶硅切割面要求平整，表面要求无滑道、由于单晶硅切割面要求平整，表面要求无滑道、无区域沾污、无崩边、无裂缝、无凹坑等，故成对的无区域沾污、无崩边、无裂缝、无凹坑等，故成对的切割片必须具有相同的机械物理性能。因此，基体材切割片必须具有相同的机械物理性能。因此，基体材质、金刚石选用与处理以及生产工艺都须有严格的特质、金刚石选用与处理以及生产工艺都须有严格的特殊的要求。在单晶硅棒切方过程中，对切割片的效率殊的要求。在单晶硅棒切方过程中，对切割片的效率和使用寿命也有一定的要求。和使用寿命也有一定的要求。2013 微细加工微细加工 12单晶硅具有金刚石晶格，晶体脆而硬，很
7、难用单晶硅具有金刚石晶格，晶体脆而硬，很难用常规工具完成加工。金刚石外圆切割片在切割单晶常规工具完成加工。金刚石外圆切割片在切割单晶硅时，线速度高达硅时，线速度高达 30m/s，锯齿在切割过程中反复，锯齿在切割过程中反复承受脉冲式工作载荷，因此要求胎体要具有高的硬承受脉冲式工作载荷，因此要求胎体要具有高的硬度和耐磨性，使之在切割过程中与金刚石的磨损相度和耐磨性，使之在切割过程中与金刚石的磨损相适应。适应。金刚石外圆切割片的制造工艺金刚石外圆切割片的制造工艺32013 微细加工微细加工 13因此选用低温电沉积法制造金刚石外圆切割锯因此选用低温电沉积法制造金刚石外圆切割锯片。其优点是：片。其优点是
8、：工艺温度低，避免了对金刚石的热损伤；工艺温度低，避免了对金刚石的热损伤；沉积金属镍层本身有较高的硬度（沉积金属镍层本身有较高的硬度（ HRC 40），），加之组织致密，对金刚石具有良好的浸润性，金加之组织致密，对金刚石具有良好的浸润性，金刚石不易脱落；刚石不易脱落；可生产很薄且金刚石浓度很高的切割片；可生产很薄且金刚石浓度很高的切割片；设备简单、操作方便，制造成本低。设备简单、操作方便，制造成本低。2013 微细加工微细加工 14电沉积金刚石切割片电沉积金刚石切割片2013 微细加工微细加工 15用于切割单晶硅切方的外圆切割片，其半径必须大用于切割单晶硅切方的外圆切割片，其半径必须大于单晶硅
9、棒的直径。直径一般约为于单晶硅棒的直径。直径一般约为 100-300mm的单晶硅的单晶硅锭，为满足切割要求，切割片的直径在锭，为满足切割要求，切割片的直径在 300-700mm，锯片刀口的厚度从锯片刀口的厚度从 1.8mm-3.4mm之间。之间。随着外圆锯切技术的发展与工件直径的增大，外圆随着外圆锯切技术的发展与工件直径的增大，外圆锯片的直径也不断增大，因此锯片的刚性降低，刃口摆锯片的直径也不断增大，因此锯片的刚性降低，刃口摆动量难以控制。为了增加锯片的刚度，刀体厚度增加，动量难以控制。为了增加锯片的刚度，刀体厚度增加，导致锯痕变宽、材料损耗增大，锯切质量变差，难以锯导致锯痕变宽、材料损耗增大
10、，锯切质量变差，难以锯切出薄片。因此，外圆锯切方法己很少使用，主要用来切出薄片。因此，外圆锯切方法己很少使用，主要用来加工端面和晶向偏转大、长晶体的定向加工。对于大尺加工端面和晶向偏转大、长晶体的定向加工。对于大尺寸材料，主要用于整形加工。寸材料，主要用于整形加工。金刚石外圆切割片基体的尺寸金刚石外圆切割片基体的尺寸2013 微细加工微细加工 16内圆切割采用内圆金刚石刀片对硅晶体进行切割，设备内圆切割采用内圆金刚石刀片对硅晶体进行切割，设备与内圆切片机类似。采用该方法时，硅晶体刀口损失小（一与内圆切片机类似。采用该方法时，硅晶体刀口损失小（一般小于般小于 0.4mm），除进行正常截断加工之外
11、，还可以切取较），除进行正常截断加工之外，还可以切取较薄的测试样品（薄的测试样品（ 0.6-1.0mm）。目前，）。目前， 8in内圆截断机已有商内圆截断机已有商品供应市场，虽然价格较贵，但对大型硅单晶厂是适用的。品供应市场，虽然价格较贵，但对大型硅单晶厂是适用的。目前，中、小尺寸晶片切割主要采用内圆切割方法。这目前，中、小尺寸晶片切割主要采用内圆切割方法。这种方法是在刀片内径电镀金刚石磨料作为切削刃。种方法是在刀片内径电镀金刚石磨料作为切削刃。(2).内圆切割内圆切割2013 微细加工微细加工 17内圆切割机床按照主轴的方向可以分为立式和卧式两种内圆切割机床按照主轴的方向可以分为立式和卧式两
12、种结构。卧式切片机便于取片，但是大质量的主轴为悬臂结结构。卧式切片机便于取片，但是大质量的主轴为悬臂结构，在高速旋转的情况下，由于偏心容易产生振动，而立构，在高速旋转的情况下，由于偏心容易产生振动，而立式机床则避免了这个缺点。式机床则避免了这个缺点。晶体典型的特征是各向异性，切割方向对晶片的性质有晶体典型的特征是各向异性，切割方向对晶片的性质有着很大的影响，因此加工机床带有晶向调节机构。晶向调着很大的影响，因此加工机床带有晶向调节机构。晶向调节机构有二维和四维之分。二维调节机构适于加工无晶向节机构有二维和四维之分。二维调节机构适于加工无晶向脆硬材料。四维调节机构可以使工作台垂直转动脆硬材料。四
13、维调节机构可以使工作台垂直转动 (范围范围 20 )，水平转动，水平转动 ( 10 )，实现晶体的精密定向切割。，实现晶体的精密定向切割。内圆切割机床内圆切割机床2013 微细加工微细加工 18内圆切割机示意图内圆切割机示意图42013 微细加工微细加工 19J5010I-1型立式内圆切片机型立式内圆切片机2013 微细加工微细加工 20内圆切割刀片是一个圆环，由刀片基体和内圆磨料工作内圆切割刀片是一个圆环，由刀片基体和内圆磨料工作部分组成。刀片基体通常为不锈钢，厚度通常为部分组成。刀片基体通常为不锈钢，厚度通常为 0.1-0.15mm。随着加工晶体直径的增大，基体厚度也增加。随着加工晶体直径
14、的增大，基体厚度也增加。刀片在靠近外圆处，有用来与主轴连接的螺栓孔。内圆刀片在靠近外圆处，有用来与主轴连接的螺栓孔。内圆用复合电镀的方法镀一层金刚石粉，形成一定厚度的金刚石用复合电镀的方法镀一层金刚石粉，形成一定厚度的金刚石刃口。镀层时，镀液中杂质含量对刀片的工作寿命有着显著刃口。镀层时，镀液中杂质含量对刀片的工作寿命有着显著的影响。镀液中的影响。镀液中 Fe3+、 Cu2+、 Zn2+、 Cr6+和和 NO3-等离子等离子的浓度增加，复合镀层的结合力急剧下降，刀片寿命急剧下的浓度增加，复合镀层的结合力急剧下降，刀片寿命急剧下降，甚至使切出的晶片成为废品。降，甚至使切出的晶片成为废品。内圆切割
15、刀片的结构内圆切割刀片的结构2013 微细加工微细加工 21内圆切割刀片内圆切割刀片2013 微细加工微细加工 22内圆切割时，切割刀片由主轴带动高速旋转，同时相对工内圆切割时，切割刀片由主轴带动高速旋转，同时相对工件径向进给。内圆切割技术的优点在于：件径向进给。内圆切割技术的优点在于：切片精度高，直径为切片精度高，直径为 300mm晶片的厚度差仅为晶片的厚度差仅为 0.01mm；切片成本低，同规格级的内圆切片机价格是线切割机价格切片成本低，同规格级的内圆切片机价格是线切割机价格的的 1/3-1/4；每片都可以进行晶向调整和切片厚度调整；每片都可以进行晶向调整和切片厚度调整；小批量多规格加工时
16、，具有灵活的可调性。小批量多规格加工时，具有灵活的可调性。2013 微细加工微细加工 23其缺点是：其缺点是：晶片表面损伤层较大；晶片表面损伤层较大；刀口宽，材料损失大；刀口宽，材料损失大；生产率低，每次只切割一片；生产率低，每次只切割一片；不适合加工大直径硅晶片。不适合加工大直径硅晶片。2013 微细加工微细加工 24金刚砂线切割是采用嵌有金刚石粉的高强度钢线对硅金刚砂线切割是采用嵌有金刚石粉的高强度钢线对硅晶体进行切割。由于所用钢线直径细晶体进行切割。由于所用钢线直径细 (约约 0.2mm)，硅晶体刀，硅晶体刀口损失较小口损失较小 (约约 0.21mm)，可切割任意直径单晶，可切割任意直径单晶 (1-8in)，可，可对晶体进行截断加工，也可切取薄样品对晶体进行截断加工，也可切取薄样品 (0.3-0.5mm)。有单。有单线和多线（三线或四线）金刚砂线硅段切割机。多线金刚砂线和多线（三线或四线）金刚砂线硅段切割机。多线金刚砂线硅段切割机，可任意调节切割线之间的距离，同时完成
