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1、上海微电子化学品“十一五”国产化 开发战略研究( 摘要) 电子委李建中 一、二十世纪末，世界信息产业蓬勃发展，二十一世纪全面进入信息化时代。我国政府已把信息产业作为 重要支柱产业，信息产业大发展带动其先导和基石大规模集成电路( U L S I ) 制造业及平板显示器( F P D ) 制造 业在我国的大发展，进而导致这两制造业关键微电子化学品市场的巨大需求。 二、发展微电子化学品的战略意义 我国微电子化品发展现状：我国自产不足市场需求的1 4 ，技术水平只能满足5 英寸3 “电路制造，6 英 寸以上亚微米电路微电子化学品全部依赖进口，1 1 个以微电子化学品成本和质量制约了我国U L S I
2、和F P D 的发展。 “十五”上海华谊集团在十五通过参加国家8 6 3 专项攻关并建立了世界一流水平华谊微电子材料公司， 实现了高端微电子化学品国产化，具有重要战略意义。 在“十一五”，面对U L S I 制造向纳米技术发展，F P D 制造向第七，第八代发展，极大规模集成电路制造已 列入了国家十六项重大专项。所以微电子化学品的国产化的开发的差距不是缩小了而是拉大了，“十一五”比 “十五”开发任务更加艰巨。 三、上海微电子化学品”+ 一五”开发任务。开发战略重点，攻关目标 ( 一) 主要任务：完成好三大开发任务 ( 二) 主要品种的市场，技术发展的状况和要求，开发战略重点和攻关目标 1 湿法
3、工艺用微电子化学品 ( 1 ) 品种，市场状况，技术要求 ( 2 ) “十一五”开发重点，攻关目标： “十五8 6 3 ”攻关已产业化，亚微米高纯超净试剂：硫酸、双氧水、盐酸、硝酸、醋酸、氟化铵、异丙醇，稳定 工艺，做大做强使本地化大宗高纯超净试剂进入主流的6 ”、8 ”、1 2 ”U L S I 高端市场。 持续对难度较大品种进行攻关，补缺高纯超净试剂氢氟酸、磷酸产业化攻关。做好u L s I 配套用的氟系 B O E 系列蚀刻剂国产化工作，做好第五代以上T F T L C D 工艺用的磷酸混酸系列蚀刻剂国产化工作。 “十一五”我国半导体u L S I 制程技术将进入9 0 n m 生产，6
4、 5 n m 设计3 2 n m 研发的水平，T F T r L C D 将开 发第七代、第八代。所以要组织产学研结合，对应需求的超净超纯试剂前沿产品研发有所突破，重点是3 0 双氧水、异丙醇、2 8 氨水以S E M I 鼬a d e 5 为标准进行攻关。 2 光刻胶 ( 1 ) 光刻胶的主要品种，技术要求和市场动向 ( 2 ) “十一五”光刻胶的开发任务和攻关目标 李建中原上海化学试剂研究所 一2 9 A 产业化开发目前在市场还是主流产品i 线紫外光刻胶，争取u L S I 用胶国产化较大份额。 B 产业化开发第五代以上T F T L C D 制作工艺适用的先进正负光刻胶，争取F P D
5、用胶国产化较大份额。 C 重点攻关，A r F 准分子激光( 1 9 3 n m ) 为感光源深紫外光刻胶，产学研联合攻关，争取有较快突破 3 光刻配套的高纯超净有机试剂 ( 1 ) 品种、市场需求状况及技术要求；D L s I 及第七代、第八代T F T r L C D 的F P D 需高纯有机试剂超过3 万吨年 ( 2 ) “十一五”光刻工艺配套的高纯超净有机试剂的开发任务和攻关目标 A 符合s E M IC 8 标准显影剂2 5 T M A H 进行产业化攻关，解决u L s IT F r L c D 工艺用显影剂国产化。 B 研发和产业化符合市场要求，附加值较高有机高纯超净试剂：P G
6、 M E A 、P G M E 、N M P 、D M S O 、M E A 、 H M D S 解决u L S I 和F P D 光刻工艺中使用的稀释剂、洗边剂、剥离剂国产化。 4 化学机械研磨( C M P ) 浆 ( 1 ) C M P 市场现状与动向 ( 2 ) “十一五”C M P 开发任务和攻关目标：重点开发u L S I 电路铜制程工艺用的C M P 。 重点攻关U L s I 铜制程用的低介电膜研磨液。 5 化学气相沉淀( C V D ) 前导化合物与扩散源等超高纯试剂 ( 1 ) C V D 扩散源超高纯试剂市场现状与动向 ( 2 ) “十一五”在C V D ，扩散源方面开发
7、任务：重点开发9 0 n mU L s I 电路工艺铜制程用的C V D 和扩散 源。 四、上海”十一五”微电子化学品开发的政策导向和具体措施的建议 一、政策导向：微电子化学品的开发与发展，要以战略性产业来规划。 如前所述：廿一世纪，世界全面进入了信息时代，世界和中国信息产业以及其先导和基石的集成电路制 造业，现在正蓬勃地发展。由于这是一个高技术，先导性产业，今后几十年都要持续地发展和飞速进步。微电 子化学品是为集成电路配套地紧密关联地产业，也要伴随持续发展，并且要以战略眼光，战略措施，执着地推 动技术进步，不断发展，迎头赶上，否则就要从市场出局。 二、建立微电子化学新产品研究开发平台，与已建
8、华谊微电子材料公司的产业化平台和即将建立微电子 应用平台互相推动，互相补充，互相促进，互相依托，促进微电子化学品产业快速，良性发展。 三、加入投资力度，保证措施到位，夯实基础。按王选十二字经“给足钱，配备人，不干与，少评估。”促进开 发。 高端微电子化学品是要求非常高的技术产品，p p t ( 1 0 1 2 ) 检出限，净化起码1 0 0 级局部1 0 级，；反应和 精制设备均要求高纯石英和氟材料。差一点点，功亏一篑，全功尽弃，所以投入一定要到位。根据研究所现有 条件，需添置和改造必要技术设施，估算需1 0 0 0 万人民币的投资。 四、人才是关键，重点领域如：湿制程化学品，亚微米正性光刻胶，c “L o w K ，C M P ，C V D 超纯扩散源，超 纯分析，净化技术，重点领域都招聘课题带头人，培养领军人才，充实开发队伍，产学研相结合，老中青三结 合。 五、根据规划要求，编排出每年重点开发，攻关的课题和措施计划，年年有成果，年年有进步。根据成果评 价，奖惩。上级对规划计划进行监督检查。 六、在基本建设基础研究和人才培养等积蓄基础上，伺机与国际上想进人中国的高技术公司合作，引进 消化更先进技术，合作进入高端微电子化学品大市场。 一3 0
