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新的半导体制造技术掺杂多晶硅工艺 在? !年国际电子器件会议上 , 日本富士 通 公司发表 了一种 新 的半导体制造技术 掺杂多 晶硅工 艺 , 该工艺可 应用于超高速集成电路和微波晶体管制作 。 在电流型逻辑超高速集成电路及微波晶体管中 , 由于 电极条很窄 例如莫托洛拉 公 司的# % , ? / 6 益民摘译
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